[發明專利]電觸頭及探針卡

在審

• 申請號: 202010216399.2
• 申請日: 2020-03-25
• 公開（公告）號: CN111751584A
• 公開（公告）日: 2020-10-09
• 發明（設計）人: 水谷正吾
• 申請（專利權）人: 日本麥可羅尼克斯股份有限公司
• 主分類號: G01R1/073
• 分類號: G01R1/073;G01R1/067;G01R31/28
• 代理公司: 上海華誠知識產權代理有限公司 31300
• 代理人: 湯國華

1.一種電觸頭，其特征在于，具有：

接觸部，其與第一接觸對象和第二接觸對象電接觸，由導電性材料形成；以及

基部，其安裝在基板上，并且彈性地支承所述接觸部，由合成樹脂材料形成。

2.根據權利要求1所述的電觸頭，其特征在于，

所述基部在與長度方向垂直的方向上支承所述接觸部的姿勢，

所述接觸部具有與所述第一接觸對象電接觸的第一端部和與所述第二接觸對象電接觸的第二端部。

3.根據權利要求1或2所述的電觸頭，其特征在于，

所述基部具有：

安裝部；

臂部，其與所述安裝部相連并沿長度方向延伸；以及

支承部，其設置在所述臂部的頂端側，支承所述接觸部。

4.根據權利要求3所述的電觸頭，其特征在于，

所述接觸部在所述長度方向上形成得較寬，

通過設置在所述支承部的一個表面側的一個或多個固定部來支承所述接觸部，所述支承部在所述長度方向上形成得較寬。

5.根據權利要求4所述的電氣觸頭，其特征在于，

在所述支承部具有多個所述固定部的情況下，所述多個固定部在所述支承部的一個表面上沿著與所述長度方向垂直的方向設置。

6.根據權利要求3所述的電觸頭，其特征在于，

所述基部的所述支承部具有刮擦校正部，該刮擦校正部對與所述第一接觸對象接觸的所述接觸部的位置偏移進行校正。

7.根據權利要求6所述的電觸頭，其特征在于，

所述支承部的所述刮擦校正部是向與所述長度方向垂直的方向彎曲延伸的臂構件。

8.一種探針卡，其將檢查裝置和被檢查體的電極端子之間電連接，所述探針卡的特征在于，具有：

探針基板，其具有與所述檢查裝置電連接的布線電路，在一個表面上具有與所述布線電路連接的多個基板電極；以及

權利要求1至7中任一項所述的多個電觸頭。

9.根據權利要求8所述的探針卡，其特征在于，

在所述探針基板的所述一個表面上的非電極區域接合有各所述電觸頭，

在所述探針基板的所述一個表面上，在與所述被檢查體的所述電極端子的位置相對的位置上，配置有各所述基板電極，

接合在所述探針基板的所述一個表面上的各所述電觸頭的所述接觸部與對應的所述基板電極和所述被檢查體的所述電極端子電接觸。

10.根據權利要求8或9所述的探針卡，其特征在于，

所述基板電極與所述被檢查體的所述電極端子之間的通電路徑經由所述電觸頭中的所述通電部。