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[發(fā)明專利]傳感器制作方法和傳感器有效

專利信息
申請?zhí)枺?/td> 202010215690.8 申請日: 2020-03-24
公開(公告)號: CN111383999B 公開(公告)日: 2022-11-22
發(fā)明(設(shè)計)人: 邱文瑞;王德信;劉兵 申請(專利權(quán))人: 青島歌爾智能傳感器有限公司
主分類號: H01L21/98 分類號: H01L21/98;H01L25/16;H01L23/00;B81B7/00;B81B7/02;B81C1/00
代理公司: 深圳市世紀(jì)恒程知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所 44287 代理人: 張志江
地址: 266100 山東省*** 國省代碼: 山東;37
權(quán)利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關(guān)鍵詞: 傳感器 制作方法
【權(quán)利要求書】:

1.一種傳感器制作方法,其特征在于,所述制作方法包括:

在基板的上表面設(shè)置第一介質(zhì)層,在所述基板的下表面設(shè)置第二介質(zhì)層;

設(shè)置貫穿所述基板、所述第一介質(zhì)層和所述第二介質(zhì)層的通孔;

所述基板為導(dǎo)電基板;設(shè)置分割結(jié)構(gòu),將所述基板分割為若干導(dǎo)電區(qū);

去除所述第一介質(zhì)層,在所述基板的上表面對應(yīng)所述通孔的位置設(shè)置防水透氣膜;

在所述基板的上表面設(shè)置第三介質(zhì)層,去除所述通孔位置對應(yīng)的所述第三介質(zhì)層;

所述分割結(jié)構(gòu)包括第一分割結(jié)構(gòu)和第二分割結(jié)構(gòu),所述若干導(dǎo)電區(qū)包括第一導(dǎo)電區(qū)和第二導(dǎo)電區(qū);

所述設(shè)置分割結(jié)構(gòu),將所述基板分割為若干導(dǎo)電區(qū)的步驟,包括:

選定第二位置和第三位置,采用光刻定位曝光去除所述第二位置和所述第三位置對應(yīng)的所述第一介質(zhì)層;

采用化學(xué)濕法腐蝕去除所述第二位置處和所述第三位置處的所述基板,形成所述第一分割結(jié)構(gòu)和所述第二分割結(jié)構(gòu),所述第一分割結(jié)構(gòu)和所述第二分割結(jié)構(gòu)將所述基板分割為所述第一導(dǎo)電區(qū)和所述第二導(dǎo)電區(qū)。

2.如權(quán)利要求1所述的傳感器制作方法,其特征在于,所述設(shè)置貫穿所述基板、所述第一介質(zhì)層和所述第二介質(zhì)層的通孔的步驟,包括:

選定第一位置,去除所述第一位置在所述基板的上表面對應(yīng)的所述第一介質(zhì)層,并光刻定位曝光去除所述第一位置在所述基板的下表面對應(yīng)的所述第二介質(zhì)層;

去除所述第一位置對應(yīng)的所述基板,形成貫穿所述基板、所述第一介質(zhì)層和所述第二介質(zhì)層的通孔。

3.如權(quán)利要求1項所述的傳感器制作方法,其特征在于,所述“在所述基板的上表面設(shè)置第三介質(zhì)層”的步驟之后,包括:

在所述基板的所述第三介質(zhì)層一側(cè)對應(yīng)所述第一導(dǎo)電區(qū)設(shè)選定第一接線位,對應(yīng)所述第二導(dǎo)電區(qū)設(shè)選定第二接線位,去除所述第一接線位和所述第二接線位處的第三介質(zhì)層;

在所述基板的所述第二介質(zhì)層一側(cè)對應(yīng)所述第一導(dǎo)電區(qū)選定第一導(dǎo)通位,對應(yīng)所述第二導(dǎo)電區(qū)選定第二導(dǎo)通位,去除所述第一導(dǎo)通位和所述第二導(dǎo)通位對應(yīng)的所述第二介質(zhì)層。

4.如權(quán)利要求3所述的傳感器制作方法,其特征在于,所述“在所述基板的上表面設(shè)置第三介質(zhì)層,去除所述通孔位置對應(yīng)的所述第三介質(zhì)層”的步驟之后,包括:

在所述第三介質(zhì)層的上表面,對應(yīng)所述第一導(dǎo)電區(qū)設(shè)置第一集成電路,對應(yīng)所述第二導(dǎo)電區(qū)設(shè)置第二集成電路;

通過所述第一接線位將所述第一集成電路和所述第一導(dǎo)電區(qū)電性連接,通過所述第二接線位將所述第二集成電路和所述第二導(dǎo)電區(qū)電性連接。

5.如權(quán)利要求4所述的傳感器制作方法,其特征在于,所述“通過所述第一接線位將所述第一集成電路和所述第一導(dǎo)電區(qū)電性連接,通過所述第二接線位將所述第二集成電路和所述第二導(dǎo)電區(qū)電性連接”的步驟之后,還包括:

在所述第二集成電路上設(shè)置有氣壓傳感器或慣性傳感器,所述氣壓傳感器或所述慣性傳感器與所述第二集成電路電性連接。

6.如權(quán)利要求1至5任一項所述的傳感器制作方法,其特征在于,所述“在所述基板的上表面設(shè)置第三介質(zhì)層,去除所述通孔位置對應(yīng)的所述第三介質(zhì)層”的步驟之后,還包括:

在所述第三介質(zhì)層一側(cè)設(shè)有氣體傳感器,所述氣體傳感器對應(yīng)所述防水透氣膜設(shè)置。

7.如權(quán)利要求1至5任一項所述的傳感器制作方法,其特征在于,所述“在所述基板的上表面設(shè)置第三介質(zhì)層”的步驟之后,還包括:

在所述基板的所述第三介質(zhì)層一側(cè)邊緣位置選定第一貼殼區(qū)位和第二貼殼區(qū)位,去除所述第一貼殼區(qū)位和所述第二貼殼區(qū)位對應(yīng)的所述第三介質(zhì)層;

所述“在所述基板的上表面設(shè)置第三介質(zhì)層,去除所述通孔位置對應(yīng)的所述第三介質(zhì)層”的步驟之后,還包括:

在所述基板的所述第三介質(zhì)層一側(cè)扣設(shè)外殼,所述外殼的端口壁插設(shè)于所述第一貼殼區(qū)位和所述第二貼殼區(qū)位。

8.一種傳感器,其特征在于,所述傳感器包括:

基板;

第二介質(zhì)層,所述第二介質(zhì)層設(shè)置于所述基板的下表面;

第三介質(zhì)層,所述第三介質(zhì)層設(shè)置于所述基板的上表面,所述基板設(shè)置有通孔,且所述通孔貫穿所述第二介質(zhì)層和所述第三介質(zhì)層;和

防水透氣膜,所述防水透氣膜蓋設(shè)于所述通孔,且所述防水透氣膜設(shè)置于所述第三介質(zhì)層和所述基板之間;

所述基板上還設(shè)置有分割結(jié)構(gòu),將所述基板分割為若干導(dǎo)電區(qū);所述分割結(jié)構(gòu)包括第一分割結(jié)構(gòu)和第二分割結(jié)構(gòu),所述若干導(dǎo)電區(qū)包括第一導(dǎo)電區(qū)和第二導(dǎo)電區(qū)。

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