[發明專利]一種超高純度鎢薄板的制備方法

在審

• 申請號: 202010214286.9
• 申請日: 2020-03-24
• 公開（公告）號: CN111286714A
• 公開（公告）日: 2020-06-16
• 發明（設計）人: 檀校;聶志華;胡勁;譚成文;王玉天;于曉東;趙修臣;王開軍
• 申請（專利權）人: 昆明理工大學
• 主分類號: C23C16/14
• 分類號: C23C16/14;C23C16/56;C23C16/01;C22F1/18
• 代理公司: 濟南知來知識產權代理事務所(普通合伙) 37276
• 代理人: 曹麗

1.一種超高純度鎢薄板的制備方法，其特征在于：具體包括以下步驟：

（1）化學氣相沉積制備鎢板坯：在密閉反應室中，以氫氣和六氟化鎢為原料，在紫銅基體表面沉積獲得鎢板坯；

（2）熱軋：將步驟（1）獲得的鎢板坯在1773-1823 K溫度下，軋制4道次獲得熱軋板，每道次壓下率為20-30%；

（3）退火：將步驟（2）獲得的鎢板在1073-1273 K溫度下進行去應力退火，退火時間為30-60 min；

（4）冷軋：將步驟（3）獲得的鎢板，在1073-1273 K溫度下，經7-10道次冷軋獲得鎢薄板，每道次壓下率為10-15%。

2.根據權利要求1所述的超高純度鎢薄板的制備方法，其特征在于：所述步驟（1）化學氣相沉積原料氫氣和六氟化鎢的純度均大于99.999 wt.%。

3.根據權利要求1所述的超高純度鎢薄板的制備方法，其特征在于：所述步驟（1）沉積溫度為823-923K。

4.根據權利要求1所述的超高純度鎢薄板的制備方法，其特征在于：所述步驟（1）沉積過程在常壓下進行。

5.根據權利要求1所述的超高純度鎢薄板的制備方法，其特征在于：所述步驟（1）所獲鎢板坯的厚度為7.5-10mm，純度大于99.999999%。

6.根據權利要求1~5任一項所述的超高純度鎢薄板的制備方法，其特征在于：所述步驟（2）道次間隙須進行回火，回火時間為60-90 min。

7.根據權利要求6所述的超高純度鎢薄板的制備方法，其特征在于：所述步驟（2）通過熱軋步驟所獲得的鎢板厚度為2.4-2.6mm。

8.根據權利要求1~5或7任一項所述的超高純度鎢薄板的制備方法，其特征在于：所述步驟（4）冷軋道次間須進行回火，回火時間為20-30 min。

9.根據權利要求8所述的超高純度鎢薄板的制備方法，其特征在于：所述步驟（4）最終所獲得的鎢薄板厚度為0.5-1.0 mm。