[發明專利]一種易機械加工高純鎢板材制備方法在審
| 申請號: | 202010214277.X | 申請日: | 2020-03-24 |
| 公開(公告)號: | CN111155069A | 公開(公告)日: | 2020-05-15 |
| 發明(設計)人: | 檀校;聶志華;譚成文;胡勁;王玉天;于曉東;王開軍;趙修臣 | 申請(專利權)人: | 昆明理工大學 |
| 主分類號: | C23C16/14 | 分類號: | C23C16/14;C23C16/56;C22F1/18;C22F1/02 |
| 代理公司: | 濟南知來知識產權代理事務所(普通合伙) 37276 | 代理人: | 曹麗 |
| 地址: | 650000 云南*** | 國省代碼: | 云南;53 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 一種 機械 加工 高純 板材 制備 方法 | ||
1.一種易機械加工高純鎢板材制備方法,其特征在于:具體包括以下步驟:
(1)化學氣相沉積制備鎢板坯:在密閉反應室中,以氫氣和六氟化鎢為原料,在紫銅基體表面沉積獲得厚度為10~40 mm的鎢板;
(2)軋制:將步驟(1)獲得的鎢板坯加熱至1500~1550℃,經過多道次降溫軋制,獲得厚度為2.0~10.0 mm的鎢板;
(3)退火:將步驟(2)獲得的鎢板在1200~1300℃下進行去應力退火,退火時間為30~60min。
2.根據權利要求1所述的易機械加工高純鎢板材制備方法,其特征在于:所述步驟(1)中氫氣和六氟化鎢的純度均大于99.99 wt.%。
3.根據權利要求1所述的易機械加工高純鎢板材制備方法,其特征在于:所述步驟(1)沉積溫度為500~600℃。
4.根據權利要求1所述的易機械加工高純鎢板材制備方法,其特征在于:所述步驟(1)沉積過程在常壓下進行。
5.根據權利要求1所述的易機械加工高純鎢板材制備方法,其特征在于:所述步驟(2)鎢板坯加熱過程在氫氣氣氛中進行。
6.根據權利要求1所述的易機械加工高純鎢板材制備方法,其特征在于:所述步驟(2)中每道次軋制降溫30~50℃。
7.根據權利要求1所述的易機械加工高純鎢板材制備方法,其特征在于:所述步驟(2)中第一道次軋制加工率為30~40%,其余道次加工率為20~25%。
8.根據權利要求1所述的易機械加工高純鎢板材制備方法,其特征在于:所述步驟(2)中道次間隙須進行回火,回火時間為30-60 min。
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C23C 對金屬材料的鍍覆;用金屬材料對材料的鍍覆;表面擴散法,化學轉化或置換法的金屬材料表面處理;真空蒸發法、濺射法、離子注入法或化學氣相沉積法的一般鍍覆
C23C16-00 通過氣態化合物分解且表面材料的反應產物不留存于鍍層中的化學鍍覆,例如化學氣相沉積
C23C16-01 .在臨時基體上,例如在隨后通過浸蝕除去的基體上
C23C16-02 .待鍍材料的預處理
C23C16-04 .局部表面上的鍍覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金屬材料的沉積為特征的
C23C16-22 .以沉積金屬材料以外之無機材料為特征的





