[發明專利]定位裝置、以及劃線裝置

在審

• 申請號: 202010213746.6
• 申請日: 2020-03-24
• 公開（公告）號: CN111823426A
• 公開（公告）日: 2020-10-27
• 發明（設計）人: 西尾仁孝
• 申請（專利權）人: 三星鉆石工業股份有限公司
• 主分類號: B28D7/04
• 分類號: B28D7/04;B28D7/00;B28D1/22
• 代理公司: 北京路浩知識產權代理有限公司 11002
• 代理人: 張晶;謝順星

定位裝置(1)具備：保持基板(S)的基板保持工作臺(11)、第一棒狀部件(12)、第二棒狀部件(13)、第一軸承部件(11a)、第二軸承部件(11b)、第一驅動機構(14)、第二驅動機構(15)。第一軸承部件在第一棒狀部件與第二棒狀部件交叉的位置固定于基板保持工作臺，并在第一棒狀部件的表面上滑動。第二軸承部件在第一棒狀部件與第二棒狀部件交叉的位置固定于基板保持工作臺，并在第二棒狀部件的表面上滑動。第一驅動機構使第一棒狀部件的端部獨立地沿Y方向移動。第二驅動機構使第二棒狀部件的端部獨立地沿X方向移動。在各驅動機構上設置有使第一棒狀部件及第二棒狀部件繞Z軸轉動的轉動機構(25d)。

技術領域

本發明涉及一種調節加工對象的位置及朝向的定位裝置、以及具備該定位裝置的劃線裝置。

背景技術

以往，已知切出玻璃基板或者陶瓷基板的裝置。例如，有一種裝置，其在貼合的玻璃基板上形成劃分線，并切出該玻璃基板的小片(例如，參照專利文獻1)。另外，對這樣的基板進行加工的裝置具備用于調節作為加工對象的基板的位置及朝向的定位機構。

現有技術文獻

專利文獻

專利文獻1：日本專利第5280442號公報

發明內容

(一)要解決的技術問題

在設置于加工裝置的現有的定位機構中，如所謂的“XYT臺”那樣，作為單獨的機構而設置有使基板移動的機構、和使基板旋轉的機構。另外，現有的定位機構具有如下結構，例如，在使基板移動的機構的工作臺上設置有使基板旋轉的機構。即，現有的定位機構具有多個機構向上方向重疊的結構。由于是這樣的結構，現有的定位機構的定位精度低。

本發明的目的在于，在用于調節部件的位置及朝向的定位機構中提高部件的定位精度。

(二)技術方案

下面說明多個方式作為用于解決問題的手段。這些方式可以根據需要任意組合。

本發明的一個方面的定位裝置是用于調節基板的位置及朝向的裝置。定位裝置具備：基板保持工作臺、一對第一棒狀部件、一對第二棒狀部件、第一軸承部件、第二軸承部件、一對第一驅動機構、一對第二驅動機構。

基板保持工作臺保持基板。一對第一棒狀部件在基板保持工作臺的下部空出規定間隔并列配置。一對第二棒狀部件在基板保持工作臺的下部空出規定間隔并列配置。另外，一對第二棒狀部件與一對第一棒狀部件交叉。

第一軸承部件在第一棒狀部件與第二棒狀部件交叉的位置固定于基板保持工作臺，并于該位置在第一棒狀部件的表面上滑動。第二軸承部件在第一棒狀部件與第二棒狀部件交叉的位置固定于基板保持工作臺，并于該位置在第二棒狀部件的表面上滑動。

一對第一驅動機構分別設置于一對第一棒狀部件的端部，并使一對第一棒狀部件的兩個端部獨立地沿第一方向移動。一對第二驅動機構分別設置于一對第二棒狀部件的端部，并使一對第二棒狀部件的兩個端部獨立地沿第二方向移動。第二方向相對于第一方向垂直。

在上述定位裝置中，固定于基板保持工作臺的第一軸承部件在第一棒狀部件的表面上滑動，從而基板保持工作臺能夠沿第一方向移動。另外，固定于基板保持工作臺的第二軸承部件在第二棒狀部件的表面上滑動，從而基板保持工作臺能夠沿第二方向移動。

第一軸承部件及第二軸承部件在第一棒狀部件與第二棒狀部件交叉的位置固定于基板保持工作臺，因此當基板保持工作臺沿第一方向及第二方向移動時，這些軸承部件不會相互相對移動。由此，定位裝置具有基板保持工作臺的第一方向及第二方向的高定位精度。