[發(fā)明專利]定位裝置、以及劃線裝置在審
| 申請?zhí)枺?/td> | 202010213746.6 | 申請日： | 2020-03-24 |
| 公開（公告）號： | CN111823426A | 公開（公告）日： | 2020-10-27 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 西尾仁孝 | 申請（專利權(quán)）人： | 三星鉆石工業(yè)股份有限公司 |
| 主分類號： | B28D7/04 | 分類號： | B28D7/04;B28D7/00;B28D1/22 |
| 代理公司： | 北京路浩知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11002 | 代理人： | 張晶;謝順星 |
| 地址： | 日本*** | 國省代碼： | 暫無信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 定位 裝置 以及 劃線 | ||
1.一種定位裝置，其用于調(diào)節(jié)基板的位置及朝向，其中，所述定位裝置具備：
基板保持工作臺，其保持所述基板；
一對第一棒狀部件，其在所述基板保持工作臺的下部空出規(guī)定間隔配置；
一對第二棒狀部件，其在所述基板保持工作臺的下部空出規(guī)定間隔配置，并與所述一對第一棒狀部件交叉；
第一軸承部件，其在所述第一棒狀部件與所述第二棒狀部件交叉的位置固定于所述基板保持工作臺，并于該位置在所述第一棒狀部件的表面上滑動；
第二軸承部件，其在所述第一棒狀部件與所述第二棒狀部件交叉的位置固定于所述基板保持工作臺，并于該位置在所述第二棒狀部件的表面上滑動；
一對第一驅(qū)動機構(gòu)，其分別設(shè)置于所述一對第一棒狀部件的端部，并使所述一對第一棒狀部件的兩個端部獨立地沿第一方向移動；
一對第二驅(qū)動機構(gòu)，其分別設(shè)置于所述一對第二棒狀部件的端部，并使所述一對第二棒狀部件的兩個端部獨立地沿相對于所述第一方向垂直的第二方向移動；以及
轉(zhuǎn)動機構(gòu)，其分別設(shè)置于所述一對第一驅(qū)動機構(gòu)及所述一對第二驅(qū)動機構(gòu)，當(dāng)所述基板保持工作臺繞垂直于所述第一方向及所述第二方向的旋轉(zhuǎn)軸旋轉(zhuǎn)時，使所述一對第一棒狀部件的端部及所述一對第二棒狀部件的端部繞與所述旋轉(zhuǎn)軸平行的軸轉(zhuǎn)動。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的定位裝置，其特征在于，
所述定位裝置還具備平臺，所述平臺在包含所述第一方向及所述第二方向的共通的水平面上保持所述一對第一驅(qū)動機構(gòu)及所述一對第二驅(qū)動機構(gòu)。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的定位裝置，其特征在于，
所述定位裝置還具備支撐部件，所述支撐部件設(shè)置于所述基板保持工作臺，并抵接于所述平臺的所述水平面而支撐所述基板保持工作臺。
4.根據(jù)權(quán)利要求1～3中任一項所述的定位裝置，其特征在于，
通過使所述一對第一驅(qū)動機構(gòu)分別向相互相反的方向移動且使所述一對第二驅(qū)動機構(gòu)分別向相互相反的方向移動，從而使所述基板保持工作臺旋轉(zhuǎn)。
5.根據(jù)權(quán)利要求1～4中任一項所述的定位裝置，其特征在于，
通過使所述一對第一驅(qū)動機構(gòu)分別向相同的方向移動，從而使所述基板保持工作臺沿所述第一方向移動。
6.根據(jù)權(quán)利要求1～5中任一項所述的定位裝置，其特征在于，
通過使所述一對第二驅(qū)動機構(gòu)分別向相同的方向移動，從而使所述基板保持工作臺沿所述第二方向移動。
7.一種劃線裝置，其具備：定位裝置以及劃線機構(gòu)，
所述定位裝置用于調(diào)節(jié)基板的位置及朝向，并具備：
基板保持工作臺，其保持所述基板；
一對第一棒狀部件，其在所述基板保持工作臺的下部空出規(guī)定間隔配置；
一對第二棒狀部件，其在所述基板保持工作臺的下部空出規(guī)定間隔配置，并與所述一對第一棒狀部件交叉；
第一軸承部件，其在所述第一棒狀部件與所述第二棒狀部件交叉的位置固定于所述基板保持工作臺，并于該位置在所述第一棒狀部件的表面上滑動；
第二軸承部件，其在所述第一棒狀部件與所述第二棒狀部件交叉的位置固定于所述基板保持工作臺，并于該位置在所述第二棒狀部件的表面上滑動；
一對第一驅(qū)動機構(gòu)，其分別設(shè)置于所述一對第一棒狀部件的端部，并使所述一對第一棒狀部件的兩個端部獨立地沿第一方向移動；
一對第二驅(qū)動機構(gòu)，其分別設(shè)置于所述一對第二棒狀部件的端部，并使所述一對第二棒狀部件的兩個端部獨立地沿相對于所述第一方向垂直的第二方向移動；以及
轉(zhuǎn)動機構(gòu)，其分別設(shè)置于所述一對第一驅(qū)動機構(gòu)及所述一對第二驅(qū)動機構(gòu)，當(dāng)所述基板保持工作臺繞垂直于所述第一方向及所述第二方向的旋轉(zhuǎn)軸旋轉(zhuǎn)時，使所述一對第一棒狀部件的端部及所述一對第二棒狀部件的端部繞與所述旋轉(zhuǎn)軸平行的軸轉(zhuǎn)動，
所述劃線機構(gòu)在保持于所述定位裝置的基板保持工作臺的所述基板上形成劃分線。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的劃線裝置，其特征在于，
所述基板保持工作臺具有使所述基板的下表面暴露的工作臺開口。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的劃線裝置，其特征在于，
所述劃線機構(gòu)分別設(shè)置于所述基板的上表面?zhèn)群拖卤砻鎮(zhèn)取?/p>
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