[發明專利]硅片清洗裝置

在審

• 申請號: 202010213564.9
• 申請日: 2020-03-24
• 公開（公告）號: CN111282908A
• 公開（公告）日: 2020-06-16
• 發明（設計）人: 李世磊;姜濤
• 申請（專利權）人: 無錫市正罡自動化設備有限公司
• 主分類號: B08B3/10
• 分類號: B08B3/10;B08B11/02;B08B13/00;B08B15/00;H01L21/67
• 代理公司: 北京挺立專利事務所(普通合伙) 11265
• 代理人: 沃趙新

1.一種硅片清洗裝置，包括清洗槽，其中設置清洗液，清洗槽上方設置有花籃固定裝置，花籃固定裝置可帶動位于其中的花籃上下移動，其特征在于：所述花籃固定裝置下方設置有罩板，所述花籃固定裝置在豎直方向的投影落在罩板在豎直方向的投影范圍內；所述罩板包括左半部分和右半部分，兩部分均傾斜設置，且兩者之間關于豎直平面對稱設置。

2.根據權利要求1所述的硅片清洗裝置，其特征在于：所述清洗槽頂部兩側設置有風幕機，風幕機形成水平的簾門將清洗槽和其外部隔開。

3.根據權利要求1或者2所述的硅片清洗裝置，其特征在于：所述清洗槽的兩個側邊位于風幕機的下方設置有溢流口。

4.根據權利要求3所述的硅片清洗裝置，其特征在于：所述清洗槽上方還設置有一個新風腔室，花籃固定裝置離開清洗槽后位于新風腔體中，新風腔體頂部設置有風機過濾機組；新風腔體中設置有一個豎直的隔板，隔板上設置有透氣口；隔板與新風腔體側壁之間形成抽氣通道，在抽氣通道頂部設置有抽風機。