[發(fā)明專利]一種擾動力生成裝置及方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 202010199517.3
• 申請日: 2020-03-20
• 公開（公告）號: CN113495010B
• 公開（公告）日: 2023-04-07
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 游繼光
• 申請（專利權(quán)）人: 上海微電子裝備(集團)股份有限公司
• 主分類號: G01M99/00
• 分類號: G01M99/00
• 代理公司: 北京品源專利代理有限公司 11332
• 代理人: 孟金喆

1.一種擾動力生成裝置，其特征在于，所述擾動力生成裝置用于產(chǎn)生模擬光刻系統(tǒng)的浸沒頭或工件臺受到的擾動力，所述擾動力生成裝置應(yīng)用于浸沒頭垂向伺服控制調(diào)試和工件臺運動控制調(diào)試；所述擾動力生成裝置，包括：

流體源；

至少一個擾動力調(diào)節(jié)單元，任一所述擾動力調(diào)節(jié)單元的入口與所述流體源的出口連通，任一所述擾動力調(diào)節(jié)單元包括：擾動力波動值生成支路，所述擾動力波動值生成支路的入口與所述擾動力調(diào)節(jié)單元的入口連通，所述擾動力波動值生成支路的出口與所述擾動力調(diào)節(jié)單元的出口連通；

所述擾動力波動值生成支路包括：高頻開關(guān)閥和第一流量調(diào)節(jié)模塊，所述高頻開關(guān)閥與所述第一流量調(diào)節(jié)模塊串聯(lián)連通；

所述高頻開關(guān)閥用于調(diào)節(jié)所述擾動力波動值生成支路生成的擾動力的波動的頻率；所述第一流量調(diào)節(jié)模塊用于調(diào)節(jié)所述擾動力波動值生成支路生成的擾動力的波動的幅度。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的擾動力生成裝置，其特征在于，所述第一流量調(diào)節(jié)模塊包括：單向節(jié)流閥或電控兩通調(diào)節(jié)閥。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的擾動力生成裝置，其特征在于，所述擾動力波動值生成支路還包括第一開關(guān)閥和第一流量檢測模塊，所述第一開關(guān)閥、所述高頻開關(guān)閥、所述第一流量調(diào)節(jié)模塊和所述第一流量檢測模塊串聯(lián)連通。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的擾動力生成裝置，其特征在于，所述第一開關(guān)閥包括隔膜閥，所述擾動力生成裝置還包括與所述隔膜閥對應(yīng)設(shè)置的第一調(diào)壓閥和電磁閥，所述流體源經(jīng)所述第一調(diào)壓閥、所述電磁閥與所述隔膜閥的控制腔連通。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的擾動力生成裝置，其特征在于，任一所述擾動力調(diào)節(jié)單元還包括：擾動力均值生成支路，所述擾動力均值生成支路的入口與所述擾動力調(diào)節(jié)單元的入口連通，所述擾動力均值生成支路的出口與所述擾動力波動值生成支路的出口匯合連通至所述擾動力調(diào)節(jié)單元的出口；

所述擾動力均值生成支路包括第二流量調(diào)節(jié)模塊。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的擾動力生成裝置，其特征在于，所述第二流量調(diào)節(jié)模塊包括：單向節(jié)流閥，或者，所述第二流量調(diào)節(jié)模塊包括：串聯(lián)連通的質(zhì)量流量控制器和單向閥。

7.根據(jù)權(quán)利要求5所述的擾動力生成裝置，其特征在于，所述擾動力均值生成支路還包括第二開關(guān)閥和第二流量檢測模塊，所述第二開關(guān)閥、所述第二流量調(diào)節(jié)模塊和第二流量檢測模塊串聯(lián)連通。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的擾動力生成裝置，其特征在于，還包括流體源處理單元，所述流體源處理單元的入口與所述流體源的出口連通，所述流體源處理單元的出口與所述至少一個擾動力調(diào)節(jié)單元的入口連通，所述流體源處理單元包括：串聯(lián)連通的第三開關(guān)閥、第二調(diào)壓閥、壓力檢測模塊和流體過濾器。

9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的擾動力生成裝置，其特征在于，所述擾動力調(diào)節(jié)單元的數(shù)量為至少兩個，所述流體源包括氣源。

10.一種基于權(quán)利要求1-9任一所述的擾動力生成裝置的擾動力生成方法，其特征在于，包括：

控制所述高頻開關(guān)閥開啟；

調(diào)節(jié)所述第一流量調(diào)節(jié)模塊的流量為第一流量值；

控制所述高頻開關(guān)閥的開關(guān)頻率為第一頻率；其中，所述高頻開關(guān)閥用于調(diào)節(jié)擾動力波動值生成支路生成的擾動力的波動的頻率；所述第一流量調(diào)節(jié)模塊用于調(diào)節(jié)所述擾動力波動值生成支路生成的擾動力的波動的幅度。

11.根據(jù)權(quán)利要求10所述的擾動力生成方法，其特征在于，當任一所述擾動力調(diào)節(jié)單元還包括：擾動力均值生成支路時，

在調(diào)節(jié)所述第一流量調(diào)節(jié)模塊的流量為第一流量值之前，還包括：

調(diào)節(jié)第二流量調(diào)節(jié)模塊的流量為第二流量值。

12.根據(jù)權(quán)利要求11所述的擾動力生成方法，其特征在于，在控制所述高頻開關(guān)閥的開關(guān)頻率為第一頻率之后，還包括：

增大所述第一流量調(diào)節(jié)模塊和所述第二流量調(diào)節(jié)模塊的流量調(diào)節(jié)精度；

調(diào)節(jié)所述第一流量調(diào)節(jié)模塊的流量和所述第二流量調(diào)節(jié)模塊的流量，直至所述擾動力生成裝置產(chǎn)生的擾動力達到所需的擾動力。