[發(fā)明專利]光照射裝置以及閃光燈

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202010198812.7
• 申請(qǐng)日: 2020-03-20
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN111725048A
• 公開(kāi)（公告）日: 2020-09-29
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 森和之;加瀨征彥
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 優(yōu)志旺電機(jī)株式會(huì)社
• 主分類號(hào): H01J61/32
• 分類號(hào): H01J61/32;H01J61/04;H01J61/36
• 代理公司: 永新專利商標(biāo)代理有限公司 72002
• 代理人: 任玉敏

在使用了多個(gè)閃光燈的光照射裝置中，提供一種不增大向各個(gè)燈的輸入電流就能夠整體出射高強(qiáng)度光、且能夠以實(shí)用的壽命時(shí)間使用閃光燈的構(gòu)造。其特征在于，在具有第一電極導(dǎo)入部與第二電極導(dǎo)入部的閃光燈的發(fā)光管的所述第二電極導(dǎo)入部側(cè)的前端部設(shè)有光出射面，所述閃光燈以該光出射面面向處理室內(nèi)的方式在該處理腔室的頂板上鄰接地立設(shè)有多個(gè)。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及具備多個(gè)閃光燈的光照射裝置以及用于該光照射裝置的閃光燈。

背景技術(shù)

半導(dǎo)體通過(guò)在硅晶圓中對(duì)雜質(zhì)進(jìn)行離子摻雜之后退火而作為雜質(zhì)被活性化了的半導(dǎo)體發(fā)揮功能。作為該加熱方法，要求只對(duì)摻雜有雜質(zhì)的半導(dǎo)體表面以微秒(ms)以下這樣較短的時(shí)間進(jìn)行加熱，在該加熱工序中，例如如日本特開(kāi)2009-164201號(hào)公報(bào)(專利文獻(xiàn)1)所公開(kāi)那樣，使用了閃光燈的退火非常有效。

近年來(lái)，在功率半導(dǎo)體領(lǐng)域中，除了以往以來(lái)使用的硅晶圓之外，還開(kāi)始使用由碳化硅(SiC)、氮化鎵(GaN)構(gòu)成的半導(dǎo)體晶圓，它們具有高耐壓、高耐熱性、損耗(日文：損出)小等很多優(yōu)點(diǎn)而在近年來(lái)備受期待。

然而，SiC、GaN與硅相比具有較大的熱傳導(dǎo)率，因此產(chǎn)生了如下課題：若以與以往相同的能量進(jìn)行閃光燈退火，則熱量傳遞到比表面更深的區(qū)域，不能將半導(dǎo)體晶圓表面加熱至所希望的溫度。因此，需要以比以往大的能量進(jìn)行閃光燈退火，或?yàn)榱吮苊鈴谋砻嫒肷涞臒崃吭诰A內(nèi)部擴(kuò)散而以更短的時(shí)間進(jìn)行閃光燈退火。

然而，如果使向閃光燈輸入的能量增加、或者雖然是相同的輸入能量但欲在短時(shí)間內(nèi)輸入，則結(jié)果必須增大燈電流的峰值。這存在引起燈內(nèi)表面的溫度上升、發(fā)光管提前惡化、不能保全規(guī)定的壽命時(shí)間的問(wèn)題。

現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)

專利文獻(xiàn)

專利文獻(xiàn)1：日本特開(kāi)2009-164201號(hào)公報(bào)

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明將要解決的課題在于，鑒于上述現(xiàn)有技術(shù)的問(wèn)題，提供能夠出射高強(qiáng)度的光的光照射裝置以及閃光燈。

用于解決課題的手段

為了解決上述課題，在本發(fā)明的光照射裝置中，其特征在于，具備多個(gè)閃光燈，該閃光燈具有：縱長(zhǎng)的發(fā)光管，封入有發(fā)光氣體；第一電極導(dǎo)入部，設(shè)于該發(fā)光管的一端部側(cè)；第二電極導(dǎo)入部，設(shè)于所述發(fā)光管的另一端部側(cè)；以及第一電極及第二電極，設(shè)于各電極導(dǎo)入部?jī)?nèi)，在所述閃光燈的發(fā)光管的所述第二電極導(dǎo)入部側(cè)的前端部設(shè)有光出射面，所述閃光燈以所述光出射面面向處理室內(nèi)的方式在該處理腔室的頂板鄰接地立設(shè)有多個(gè)。

另外，其特征在于，所述閃光燈的至少所述第二電極導(dǎo)入部配置為相對(duì)于該發(fā)光管的長(zhǎng)度方向軸交叉，鄰接的所述各閃光燈的發(fā)光管以所述第一電極導(dǎo)入部側(cè)的間隔大于所述光出射面?zhèn)鹊拈g隔的方式使所述長(zhǎng)度方向軸相互傾斜地配置。

另外，其特征在于，所述閃光燈被配置為向所述處理室內(nèi)的被照射物無(wú)間隙地照射光。

另外，優(yōu)選的是，所述處理腔室的頂板呈圓頂形狀。

另外，優(yōu)選的是，所述第二電極導(dǎo)入部配置為位于鄰接的各閃光燈的各發(fā)光管之間。

另外，也可以是，所述閃光燈以從所述頂板的中央?yún)^(qū)域向周邊區(qū)域擴(kuò)散的方式配置為同心圓狀，并配置為燈數(shù)從所述中央?yún)^(qū)域朝向所述周邊區(qū)域變多。

另外，也可以是，所述閃光燈構(gòu)成為能夠在所述中央?yún)^(qū)域與所述周邊區(qū)域按照各個(gè)區(qū)域的每一個(gè)進(jìn)行電力控制。

另外，也可以是，所述閃光燈構(gòu)成為能夠分別獨(dú)立地進(jìn)行電力控制。

另外，優(yōu)選的是，在配置所述閃光燈的所述頂板上與所述各光出射面對(duì)應(yīng)地設(shè)有光照射窗。