[發(fā)明專利]光照射裝置以及閃光燈

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202010198812.7
• 申請(qǐng)日: 2020-03-20
• 公開（公告）號(hào): CN111725048A
• 公開（公告）日: 2020-09-29
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 森和之;加瀨征彥
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 優(yōu)志旺電機(jī)株式會(huì)社
• 主分類號(hào): H01J61/32
• 分類號(hào): H01J61/32;H01J61/04;H01J61/36
• 代理公司: 永新專利商標(biāo)代理有限公司 72002
• 代理人: 任玉敏

1.一種光照射裝置，其特征在于，具備多個(gè)閃光燈，該閃光燈具有：縱長的發(fā)光管，封入有發(fā)光氣體；第一電極導(dǎo)入部，設(shè)于該發(fā)光管的一端部側(cè)；第二電極導(dǎo)入部，設(shè)于所述發(fā)光管的另一端部側(cè)；以及第一電極及第二電極，設(shè)于各電極導(dǎo)入部?jī)?nèi)，

在所述閃光燈的發(fā)光管的所述第二電極導(dǎo)入部側(cè)的前端部設(shè)有光出射面，所述閃光燈以所述光出射面面向處理腔室內(nèi)的方式在該處理腔室的頂板鄰接地立設(shè)有多個(gè)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光照射裝置，其特征在于，

所述閃光燈的至少所述第二電極導(dǎo)入部配置為相對(duì)于該發(fā)光管的長度方向軸交叉，

鄰接的所述各閃光燈的發(fā)光管以所述第一電極導(dǎo)入部側(cè)的間隔大于所述光出射面?zhèn)鹊拈g隔的方式使所述長度方向軸相互傾斜地配置。

3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的光照射裝置，其特征在于，

所述閃光燈被配置為向所述處理室內(nèi)的被處理物無間隙地照射光。

4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的光照射裝置，其特征在于，

所述處理腔室的頂板呈圓頂形狀。

5.根據(jù)權(quán)利要求2所述的光照射裝置，其特征在于，

所述第二電極導(dǎo)入部配置為位于鄰接的各閃光燈的各發(fā)光管之間。

6.根據(jù)權(quán)利要求2所述的光照射裝置，其特征在于，

所述閃光燈以從所述頂板的中央?yún)^(qū)域向周邊區(qū)域擴(kuò)散的方式配置為同心圓狀，并配置為燈數(shù)從所述中央?yún)^(qū)域朝向所述周邊區(qū)域變多。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的光照射裝置，其特征在于，

所述閃光燈構(gòu)成為能夠在所述中央?yún)^(qū)域與所述周邊區(qū)域按照各個(gè)區(qū)域的每一個(gè)進(jìn)行電力控制。

8.根據(jù)權(quán)利要求1至6中任一項(xiàng)所述的光照射裝置，其特征在于，

所述閃光燈構(gòu)成為能夠分別獨(dú)立地進(jìn)行電力控制。

9.根據(jù)權(quán)利要求1至6中任一項(xiàng)所述的光照射裝置，其特征在于，

在配置所述閃光燈的所述頂板上與所述各光出射面對(duì)應(yīng)地設(shè)有光照射窗。

10.一種閃光燈，其特征在于，具備：縱長的發(fā)光管，封入有發(fā)光氣體；第一電極導(dǎo)入部，設(shè)于該發(fā)光管的一端部側(cè)；第二電極導(dǎo)入部，設(shè)于所述發(fā)光管的另一端部側(cè)；以及第一電極及第二電極，設(shè)于各電極導(dǎo)入部?jī)?nèi)，

在所述閃光燈的發(fā)光管的所述第二電極導(dǎo)入部側(cè)的前端部設(shè)有光出射面，

至少所述第二電極導(dǎo)入部配置為相對(duì)于所述發(fā)光管的長度方向軸交叉，

所述第二電極的前端配置為向所述發(fā)光管內(nèi)突出。

11.根據(jù)權(quán)利要求10所述的閃光燈，其特征在于，

所述第二電極是陽極。

12.根據(jù)權(quán)利要求10所述的閃光燈，其特征在于，

所述第一電極導(dǎo)入部形成為與所述發(fā)光管沿同一軸向延伸。

13.根據(jù)權(quán)利要求10至12中任一項(xiàng)所述的閃光燈，其特征在于，

所述發(fā)光管的長度方向上的所述第二電極的投影面積形成為小于與所述發(fā)光管的長度方向正交的方向上的所述第二電極的最大投影面積。

14.根據(jù)權(quán)利要求13所述的閃光燈，其特征在于，

所述第二電極沿所述發(fā)光管的長度方向呈扁平的形狀。

15.根據(jù)權(quán)利要求13所述的閃光燈，其特征在于，

在所述第二電極設(shè)有沿著所述發(fā)光管的長度方向那樣的貫通孔。

16.根據(jù)權(quán)利要求10至12中任一項(xiàng)所述的閃光燈，其特征在于，

在所述發(fā)光管的外表面形成有端頭部，

所述端頭部配置為與所述第二電極導(dǎo)入部對(duì)置。