[發(fā)明專利]一種LED陣列擴(kuò)張檢測(cè)裝置及擴(kuò)張方法在審
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 202010198082.0 | 申請(qǐng)日: | 2020-03-19 |
| 公開(公告)號(hào): | CN113496907A | 公開(公告)日: | 2021-10-12 |
| 發(fā)明(設(shè)計(jì))人: | 江仁杰;鐘光韋;伍凱義;楊然翔;沈佳輝 | 申請(qǐng)(專利權(quán))人: | 重慶康佳光電技術(shù)研究院有限公司 |
| 主分類號(hào): | H01L21/66 | 分類號(hào): | H01L21/66;H01L27/15;H01L23/544;H01L33/48;G09F9/33 |
| 代理公司: | 深圳鼎合誠(chéng)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 44281 | 代理人: | 李發(fā)兵 |
| 地址: | 402760 重慶市璧*** | 國(guó)省代碼: | 重慶;50 |
| 權(quán)利要求書: | 查看更多 | 說明書: | 查看更多 |
| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 一種 led 陣列 擴(kuò)張 檢測(cè) 裝置 方法 | ||
本發(fā)明涉及LED顯示器制造領(lǐng)域,具體一種LED陣列檢測(cè)裝置,其包括:承載膜,呈陣列排布的LED芯片粘附于所述承載膜上;拉伸設(shè)備,設(shè)置于所述承載膜的邊緣,用于拉伸所述承載膜;金屬薄片設(shè)置于LED陣列中同一行或列相鄰的LED芯片側(cè)面,相鄰所述LED芯片相對(duì)應(yīng)的側(cè)面設(shè)置的兩片所述金屬薄片為一對(duì);電壓施加器,用于向相鄰金屬薄片施加電壓;電容檢測(cè)單元,分別連接成對(duì)的金屬薄片,用于檢測(cè)相鄰金屬薄片間的電容值;控制器,與所述電容檢測(cè)器電連接,用于根據(jù)所述電容值計(jì)算對(duì)應(yīng)LED芯片間距,LED芯片間距達(dá)到閾值時(shí)向拉伸設(shè)備發(fā)出拉伸或停止拉伸的信號(hào)。該裝置可以準(zhǔn)確測(cè)量LED芯片之間的間距。
技術(shù)領(lǐng)域
本發(fā)明涉及LED顯示器制造技術(shù)領(lǐng)域,尤其涉及一種LED陣列擴(kuò)張檢測(cè)裝置及檢測(cè)方法。
背景技術(shù)
Micro-LED顯示器具有良好的穩(wěn)定性、壽命以及運(yùn)行溫度上的優(yōu)勢(shì),同時(shí)也承繼了LED低功耗、色彩飽和度、反應(yīng)速度快、對(duì)比度強(qiáng)等優(yōu)點(diǎn),具有極大的應(yīng)用前景。在現(xiàn)有Micro-LED顯示器的制作過程中,其均需要將LED芯片從各自的生長(zhǎng)基板轉(zhuǎn)移到顯示器的顯示背板上;當(dāng)將LED芯片轉(zhuǎn)移到不同尺寸的顯示背板上時(shí),由于LED芯片原本排列的間距與所要應(yīng)用的顯示背板的尺寸間距不同,因而需要將LED芯片的原始排列間距進(jìn)行調(diào)整,以適用具體使用需求。將LED芯片逐個(gè)轉(zhuǎn)移到顯示背板上也是一種實(shí)現(xiàn)方式,隨著LED技術(shù)的日新月異,用于LED顯示屏的LED芯片的尺寸越來越小,LED芯片中LED芯粒的間距也越來越小。LED芯片中LED芯粒的轉(zhuǎn)移難度大大提高,如何提供一種簡(jiǎn)單快捷的LED芯粒的分選轉(zhuǎn)移方法,是LED領(lǐng)域一個(gè)亟待解決的問題。
發(fā)明內(nèi)容
基于以上問題,本發(fā)明設(shè)計(jì)LED陣列檢測(cè)裝置,其能精確方便的檢測(cè)擴(kuò)晶過程中LED芯片的間距,其具體結(jié)構(gòu)如下。
一種LED陣列檢測(cè)裝置,其包括:
承載膜,呈陣列排布的LED芯片粘附于所述承載膜上,所述承載膜具有可延伸性;
拉伸設(shè)備,設(shè)置于所述承載膜的邊緣,用于拉伸所述承載膜;
金屬薄片,設(shè)置于同一行或列相鄰的LED芯片側(cè)面,所述相鄰的LED芯片相對(duì)應(yīng)的側(cè)面設(shè)置的兩片金屬薄片為一對(duì);
電壓施加器,分別連接成對(duì)的所述金屬薄片,用于向成對(duì)的所述金屬薄片施加電壓;
電容檢測(cè)單元,分別連接所述成對(duì)的所述金屬薄片,用于檢測(cè)每對(duì)所述金屬薄片間的電容值;
控制器,與所述電容檢測(cè)單元電連接,用于根據(jù)所述電容值計(jì)算對(duì)應(yīng)LED芯片間距,在所述LED芯片間距達(dá)到閾值的情況下,向所述拉伸設(shè)備發(fā)出拉伸或停止拉伸的信號(hào)。
進(jìn)一步的,所述控制器,具體根據(jù)以下公式計(jì)算對(duì)應(yīng)LED芯片間距,
其中,真空介電常數(shù)ε0=1;k為靜電力常量;S為成對(duì)的所述金屬薄片正對(duì)面積;L為兩金屬薄片間距。
進(jìn)一步的,所述承載膜上設(shè)置有多個(gè)穿孔,所述穿孔設(shè)置于相鄰4個(gè)所述LED芯片頂點(diǎn)連線的交匯處。
進(jìn)一步的,所述金屬薄片通過光刻膠、熱敏膠或光敏膠粘附于所述LED芯片的側(cè)面。
進(jìn)一步的,所述電容檢測(cè)單元為電容檢測(cè)器或電容檢測(cè)電路。
本發(fā)明還包括一種LED陣列擴(kuò)張方法,包括如下步驟:
S10將多個(gè)LED芯片呈陣列式粘附于承載膜上,所述承載膜具有延伸性,在LED陣列中同一行或列中至少兩個(gè)相鄰的LED芯片側(cè)面設(shè)置有金屬薄片,所述金屬薄片通過膠粘附于所述LED芯片上,相鄰所述LED芯片相對(duì)應(yīng)的側(cè)面設(shè)置的兩片所述金屬薄片為一對(duì),每對(duì)所述金屬薄片上連接有與一控制器相連接的電壓施加器及電容檢測(cè)單元;
該專利技術(shù)資料僅供研究查看技術(shù)是否侵權(quán)等信息,商用須獲得專利權(quán)人授權(quán)。該專利全部權(quán)利屬于重慶康佳光電技術(shù)研究院有限公司,未經(jīng)重慶康佳光電技術(shù)研究院有限公司許可,擅自商用是侵權(quán)行為。如果您想購(gòu)買此專利、獲得商業(yè)授權(quán)和技術(shù)合作,請(qǐng)聯(lián)系【客服】
本文鏈接:http://www.szxzyx.cn/pat/books/202010198082.0/2.html,轉(zhuǎn)載請(qǐng)聲明來源鉆瓜專利網(wǎng)。
- 同類專利
- 專利分類
H01L 半導(dǎo)體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導(dǎo)體或固體器件或其部件的方法或設(shè)備
H01L21-02 .半導(dǎo)體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個(gè)器件所使用的除半導(dǎo)體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測(cè)試或測(cè)量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導(dǎo)體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導(dǎo)體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內(nèi)或其上形成的多個(gè)固態(tài)組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造
- 檢測(cè)裝置、檢測(cè)方法和檢測(cè)組件
- 檢測(cè)方法、檢測(cè)裝置和檢測(cè)系統(tǒng)
- 檢測(cè)裝置、檢測(cè)方法以及記錄介質(zhì)
- 檢測(cè)設(shè)備、檢測(cè)系統(tǒng)和檢測(cè)方法
- 檢測(cè)芯片、檢測(cè)設(shè)備、檢測(cè)系統(tǒng)和檢測(cè)方法
- 檢測(cè)裝置、檢測(cè)設(shè)備及檢測(cè)方法
- 檢測(cè)芯片、檢測(cè)設(shè)備、檢測(cè)系統(tǒng)
- 檢測(cè)組件、檢測(cè)裝置以及檢測(cè)系統(tǒng)
- 檢測(cè)裝置、檢測(cè)方法及檢測(cè)程序
- 檢測(cè)電路、檢測(cè)裝置及檢測(cè)系統(tǒng)





