[發明專利]一種用于光刻膠剝離的水性剝離液

在審

• 申請號: 202010197575.2
• 申請日: 2020-03-19
• 公開（公告）號: CN111352315A
• 公開（公告）日: 2020-06-30
• 發明（設計）人: 莊英毅;王雪剛;其他發明人請求不公開姓名
• 申請（專利權）人: 廈門思美科新材料有限公司
• 主分類號: G03F7/32
• 分類號: G03F7/32
• 代理公司: 北京科億知識產權代理事務所(普通合伙) 11350
• 代理人: 湯東鳳

本發明公開了一種用于光刻膠剝離的水性剝離液，所述的水性剝離液由重量份5?18％的有機胺化合物、重量份55?75％的有機溶劑、重量份0.2?10％的添加劑、重量份0.1?3％的金屬抗蝕劑以及余量的水組成；本申請的水性剝離液通過增加有機胺化合物比例的同時加入一定量的金屬抗蝕劑，減少剝離時間的同時防止腐蝕，能夠同時實現液晶面板及AMOLED行業生產中ITO/Ag/ITO及Mo/Al/Mo結構層中光刻膠的快速剝離、剝離后無光刻膠殘留、對環境污染小、使用安全，剝離效果良好。

技術領域

本發明涉及光刻膠領域，尤其涉及一種用于光刻膠剝離的水性剝離液。

背景技術

光刻膠又稱光致抗蝕劑，主要由感光樹脂、增感劑和溶劑三種成分組成。感光樹脂經光照后，在曝光區能很快地發生光固化反應，使得這種材料的物理性能，特別是溶解性、親合性等發生明顯變化。經曝光、顯影、刻蝕、擴散、離子注入、金屬沉積等工藝將所需的微細圖形從掩模版轉移至加工的基板上、最后通過去膠剝離液將未曝光部分余下的光刻膠清洗掉，從而完成整個圖形轉移過程。在液晶面板和AMOLED生產中廣泛使用。現有的剝離液主要有兩種，分別是水性剝離液和有機剝離液，由于有機剝離液只能用于具有Mo/Al/Mo結構的制程中，無法用于ITO/Ag/ITO；且乙醇胺的含量高達60％以上，有很強的腐蝕性，因此，常用的剝離液是水性剝離液，現有的水性剝離液主要成分為有機胺化合物、極性有機溶劑以及水，但現有的水性剝離液大都存在腐蝕金屬配線、光刻膠殘留、環境污染大、影響操作人員的安全性、剝離效果差等問題。

發明內容

本發明所要解決的技術問題在于提供一種能同時實現ITO/Ag/ITO及Mo/Al/Mo結構層中光刻膠的快速剝離、無光刻膠殘留、對環境污染小、使用安全，剝離效果良好的用于光刻膠剝離的水性剝離液。

為解決上述技術問題，本發明的技術解決方案是：

一種用于光刻膠剝離的水性剝離液，所述的水性剝離液由重量份5-18％的有機胺化合物、重量份55-75％的有機溶劑、重量份0.2-10％的添加劑、重量份0.1-3％的金屬抗蝕劑以及余量的水組成；

所述的有機胺化合物選自乙醇胺、二乙醇胺、三乙醇胺、N-甲基單乙醇胺和N-甲基二乙醇胺中的至少一種；

所述的有機溶劑由二乙醇類溶劑和酰胺類溶劑混合而成，二乙醇類溶劑選自二乙二醇單丁醚、二乙二醇甲醚、二乙二醇叔丁基醚和二乙二醇乙醚；酰胺類溶劑選自N-甲基甲酰胺、N-二甲基甲酰胺和二甲基乙酰胺；

所述的金屬抗蝕劑是2-氨基環乙醇或2-氨基環丙醇。

進一步的，所述的添加劑選自環己醇六磷酸脂、氨基酸的堿鹽、苯并三氮唑、1-羥基苯并三氮唑、3-羥基甲酯-1、3-羥基甲酯-2、4-三氮唑、二巰基噻二唑二鈉鹽和油酸三乙醇胺脂中的至少一種。

進一步的，所述的有機溶劑中二乙醇類溶劑和酰胺類溶劑的含量是，二乙醇類溶劑重量占比30％-80％，酰胺類溶劑重量占比10％-60％。

本發明的有益效果是：

1.本發明通過提高有機胺化合物比例的同時降低有機溶劑比例，利用特定比例的有機胺化合物和有機溶劑的結合，再配合特定比例的添加劑，由于有機溶劑具有較好的溶解性和較強的親水性，因此，增加有機胺化合物比例可以有效的提高剝離的速度，在工藝上可以避免光刻膠的再附著，避免了光刻膠殘留；

2.本發明提高有機胺化合物比例的同時加入了金屬抗蝕劑，利用金屬抗蝕劑和添加劑結合，起到很好的緩蝕作用，能有效的防止金屬配線腐蝕；

3.本申請的剝離液中有機溶劑和添加劑都是屬于水溶性成份，不會造成殘留，對環境污染小，使用安全；