[發(fā)明專利]一種用于光刻膠剝離的水性剝離液在審
| 申請?zhí)枺?/td> | 202010197575.2 | 申請日： | 2020-03-19 |
| 公開（公告）號： | CN111352315A | 公開（公告）日： | 2020-06-30 |
| 發(fā)明（設計）人： | 莊英毅;王雪剛;其他發(fā)明人請求不公開姓名 | 申請（專利權）人： | 廈門思美科新材料有限公司 |
| 主分類號： | G03F7/32 | 分類號： | G03F7/32 |
| 代理公司： | 北京科億知識產權代理事務所(普通合伙) 11350 | 代理人： | 湯東鳳 |
| 地址： | 361000 福建省廈門市中國(福建)*** | 國省代碼： | 福建;35 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 用于 光刻 剝離 水性 | ||
【權利要求書】：
1.一種用于光刻膠剝離的水性剝離液，其特征在于：所述的水性剝離液由重量份5-18％的有機胺化合物、重量份55-75％的有機溶劑、重量份0.2-10％的添加劑、重量份0.1-3％的金屬抗蝕劑以及余量的水組成；
所述的有機胺化合物選自乙醇胺、二乙醇胺、三乙醇胺、N-甲基單乙醇胺和N-甲基二乙醇胺中的至少一種；
所述的有機溶劑由二乙醇類溶劑和酰胺類溶劑混合而成，二乙醇類溶劑選自二乙二醇單丁醚、二乙二醇甲醚、二乙二醇叔丁基醚和二乙二醇乙醚；酰胺類溶劑選自N-甲基甲酰胺、N-二甲基甲酰胺和二甲基乙酰胺；
所述的金屬抗蝕劑是2-氨基環(huán)乙醇或2-氨基環(huán)丙醇。
2.根據(jù)權利要求1所述的一種用于光刻膠剝離的水性剝離液，其特征在于：所述的添加劑選自環(huán)己醇六磷酸脂、氨基酸的堿鹽、苯并三氮唑、1-羥基苯并三氮唑、3-羥基甲酯-1、3-羥基甲酯-2、4-三氮唑、二巰基噻二唑二鈉鹽和油酸三乙醇胺脂中的至少一種。
3.根據(jù)權利要求1所述的一種用于光刻膠剝離的水性剝離液，其特征在于：所述的有機溶劑中二乙醇類溶劑和酰胺類溶劑的含量是，二乙醇類溶劑重量占比30％-80％，酰胺類溶劑重量占比10％-60％。
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