[發(fā)明專利]一種涂層遮蔽制電極的方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202010196506.X
• 申請(qǐng)日: 2020-03-19
• 公開（公告）號(hào): CN111253173B
• 公開（公告）日: 2022-11-22
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 孫暉;周陳歡
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 南京以太通信技術(shù)有限公司
• 主分類號(hào): H01L41/02
• 分類號(hào): H01L41/02
• 代理公司: 南京禾易知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 32320
• 代理人: 王彩君

1.一種涂層遮蔽制電極的方法，其特征在于，包括以下步驟：

步驟1：通過絲印模版的方式，將涂層漿料絲印到陶瓷基底的兩個(gè)孔面，形成涂層圓環(huán)；

步驟2：將印有涂層圓環(huán)的陶瓷基底放入烘干爐，以160-220℃烘干15min，使涂層圓環(huán)固化；

步驟3：將涂層固化后的陶瓷基底安裝在甩盤上，并將甩盤浸入銀漿中，時(shí)間為60-200秒，提起后順時(shí)針旋轉(zhuǎn)甩干陶瓷基底上多余的銀漿，甩銀機(jī)設(shè)定參數(shù)為1000r/min，甩銀時(shí)間為1min；

步驟4：將浸銀后的陶瓷介質(zhì)波導(dǎo)放進(jìn)燒銀網(wǎng)框，以160-220℃/15min放進(jìn)鏈條紅外烘銀爐烘干；

步驟5：將烘銀后的陶瓷介質(zhì)波導(dǎo)放進(jìn)燒銀網(wǎng)框，以820-880℃/15min放進(jìn)鏈條燒銀爐燒結(jié)銀層；

步驟6：烘干燒結(jié)完成后，涂層分解僅剩余少量殘留物，利用酒精擦除干凈，使涂層覆蓋位置只剩下陶瓷基底，完成制電極；

所述步驟1中的絲印工作由全自動(dòng)絲印機(jī)完成，以達(dá)到高效量產(chǎn)的目的。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種涂層遮蔽制電極的方法，其特征在于：所述步驟1中的涂層漿料需要能承受兩百多攝氏度高溫不分解，并在八百多攝氏度下分解徹底，且涂層材料常溫呈膏狀不固化，不與銀漿中的化學(xué)物質(zhì)產(chǎn)生化學(xué)反應(yīng)及物理反應(yīng)，以滿足絲印和浸銀需求。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種涂層遮蔽制電極的方法，其特征在于：所述步驟3中的銀漿配比為銀粉60~85%、玻璃粉0.5~5%、有機(jī)載體10~30%、無機(jī)添加劑0.3~3%。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種涂層遮蔽制電極的方法，其特征在于：所述步驟3中動(dòng)作結(jié)束后，需反向安裝陶瓷基底，重復(fù)該步驟一次。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種涂層遮蔽制電極的方法，其特征在于：所述步驟5中，燒結(jié)后的銀層若厚度小于10μm，需重復(fù)步驟1-5，直至厚度大于10μm為止。