[發明專利]一種工件架及鍍膜系統

有效

• 申請號: 202010195762.7
• 申請日: 2020-03-19
• 公開（公告）號: CN111235534B
• 公開（公告）日: 2022-06-17
• 發明（設計）人: 鄧必龍;鄭利勇
• 申請（專利權）人: 龍鱗（深圳）新材料科技有限公司
• 主分類號: C23C14/32
• 分類號: C23C14/32;C23C14/56
• 代理公司: 北京品源專利代理有限公司 11332
• 代理人: 胡彬;潘登

1.一種鍍膜系統，其特征在于，包括反應室(20)，所述反應室(20)內設置有工件架，且所述反應室(20)的相對兩側開設有單體進氣口(201)和泵抽口(202)；

所述工件架包括：

框體，包括分別位于所述框體相對兩側的兩個隔板(2)和位于所述框體另一側且連接于兩個所述隔板(2)間的前擋板(3)，兩個所述隔板(2)和所述前擋板(3)合圍形成開口背離所述前擋板(3)的容納腔，所述前擋板(3)上開設有與所述容納腔連通的第一通孔(31)，所述框體還包括位于其頂部的頂板(4)，所述頂板(4)上開設有與所述容納腔連通的第二通孔(41)；

托盤(6)，用于放置鍍膜工件，所述托盤(6)設置在所述容納腔內，且所述托盤(6)與所述框體連接；

所述前擋板(3)正對所述單體進氣口(201)設置，所述容納腔的開口朝向所述泵抽口(202)設置，兩個所述隔板(2)的兩外側設置有正電極(50)，所述反應室(20)的腔壁接地。

2.根據權利要求1所述的鍍膜系統，其特征在于，所述框體還包括具有容納空間的主架體(1)，兩個所述隔板(2)分別設置在所述主架體(1)的相對兩側，且所述前擋板(3)設置在所述主架體(1)的另一側，所述隔板(2)及所述前擋板(3)均與所述主架體(1)可拆卸連接。

3.根據權利要求2所述的鍍膜系統，其特征在于，所述前擋板(3)為門結構，所述門結構的一側與所述主架體(1)樞接，所述門結構另一側通過鎖扣組件(7)與所述主架體(1)鎖合或解鎖。

4.根據權利要求2所述的鍍膜系統，其特征在于，所述主架體(1)的上端和下端均設置有滑槽(124)，所述隔板(2)的上下兩端與對應的所述滑槽(124)滑動連接。

5.根據權利要求1-4任一項所述的鍍膜系統，其特征在于，所述容納腔內沿高度方向間隔設置有至少兩個所述托盤(6)，且所述托盤(6)在所述容納腔內的高度位置能夠調節。

6.根據權利要求1-4任一項所述的鍍膜系統，其特征在于，所述托盤(6)靠近所述前擋板(3)的一端與所述前擋板(3)有一定預設距離；和/或所述托盤(6)靠近所述前擋板(3)的一端開設有開口朝向所述前擋板(3)的通口(611)。

7.根據權利要求1-4任一項所述的鍍膜系統，其特征在于，所述托盤(6)上間隔設置有多個隔口(612)。

8.根據權利要求1-4任一項所述的鍍膜系統，其特征在于，所述工件架遠離所述前擋板(3)的一側設置有絕緣限位件(9)，所述絕緣限位件(9)凸出所述框體設置；和/或

所述工件架的底部設置有絕緣墊(8)，所述絕緣墊(8)凸出所述框體底端設置。