[發(fā)明專利]一種半導(dǎo)體芯片字符表面缺陷管腳缺陷檢測光源

有效

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• 申請日: 2020-03-18
• 公開（公告）號: CN111366588B
• 公開（公告）日: 2023-04-18
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 張祥明
• 申請（專利權(quán)）人: 合肥圖迅電子科技有限公司
• 主分類號: G01N21/95
• 分類號: G01N21/95;G01N21/01
• 代理公司: 北京知聯(lián)天下知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 11594
• 代理人: 張陸軍;張迎新

本發(fā)明提出一種半導(dǎo)體芯片字符表面缺陷管腳缺陷檢測光源，包括第一光學(xué)組件、第二光學(xué)組件和散光板；第一光學(xué)組件后端安裝有散光板，前端和第二光學(xué)組件連接；第一光學(xué)組件包括方形光源殼和貼片LED燈，方形光源殼內(nèi)側(cè)安裝有貼片LED燈；第二光學(xué)組件包括第一雙排LED光源蓋、第一雙排LED光源、偏光膜、雙排LED光源蓋偏光夾緊圈、第二雙排LED光源蓋、轉(zhuǎn)接頭和第二雙排LED光源；轉(zhuǎn)接頭、第二雙排LED光源蓋、第一雙排LED光源蓋依次連接；轉(zhuǎn)接頭內(nèi)部嵌有第二雙排LED光源；第一雙排LED光源蓋內(nèi)部安裝有第一雙排LED光源、偏光膜和雙排LED光源蓋偏光夾緊圈。這種光源解決了舊版本三個(gè)光源在同軌道疊加問題，在兼容其他多種檢測產(chǎn)品情況下達(dá)到理想效果，滿足檢測標(biāo)準(zhǔn)。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明屬于檢測用組合光源領(lǐng)域，特別涉及一種半導(dǎo)體芯片字符表面缺陷管腳缺陷檢測光源。

背景技術(shù)

框架產(chǎn)品的外觀檢測要求為塑封體表面質(zhì)量檢測。塑封體表面有無破損、劃傷、氣孔等表面質(zhì)量缺陷。使用機(jī)器視覺檢測系統(tǒng)是最有效、最快速的檢測方式。相機(jī)、鏡頭、光源為主要組成部分。使用光源照射到框架產(chǎn)品的表面，使塑封體部分呈相近的灰度，從而用軟件提取出塑封體上的黑色和白色的部分，檢測塑封體的缺陷。傳統(tǒng)的檢測裝置由面陣相機(jī)、工業(yè)變焦鏡頭、方形光源組成。但是單獨(dú)光源只能配合相機(jī)檢測一個(gè)工位，在同一軌道上放置三個(gè)相同的光源來分別檢測表面、管腳、漏銅，在兼容不同產(chǎn)品情況下，不能同時(shí)達(dá)到全部理想的效果。

發(fā)明內(nèi)容

針對上述問題，本發(fā)明設(shè)計(jì)一種半導(dǎo)體芯片字符表面缺陷管腳缺陷檢測光源，包括：

第一光學(xué)組件、第二光學(xué)組件和散光板，所述第一光學(xué)組件后端安裝有所述散光板，所述第一光學(xué)組件的前端和所述第二光學(xué)組件連接；

所述第一光學(xué)組件包括方形光源殼和貼片LED燈，

所述方形光源殼內(nèi)側(cè)兩側(cè)分別安裝有一個(gè)所述貼片LED燈，且兩組所述貼片LED燈相互對稱；

所述第二光學(xué)組件包括第一雙排LED光源蓋、第一雙排LED光源、偏光膜、雙排LED光源蓋偏光夾緊圈、第二雙排LED光源蓋、轉(zhuǎn)接頭和第二雙排LED光源，

所述轉(zhuǎn)接頭前端與所述第二雙排LED光源蓋后端連接，所述轉(zhuǎn)接頭內(nèi)部嵌有所述第二雙排LED光源，所述第二雙排LED光源蓋前端與所述第一雙排LED光源蓋連接，所述第一雙排LED光源蓋內(nèi)部安裝有所述第一雙排LED光源、所述偏光膜和所述雙排LED光源蓋偏光夾緊圈。

進(jìn)一步的，所述方形光源殼包括方形光源殼殼體、固定裝置、第一螺絲孔、第二螺絲孔、第一線孔、第三螺絲孔、第一圓形通孔；

所述方形光源殼殼體內(nèi)部四角均開設(shè)有所述第三螺絲孔，頂部設(shè)置所述第一線孔，所述方形光源殼殼體中央設(shè)置所述第一圓形通孔，所述第一圓形通孔直徑與所述轉(zhuǎn)接頭一端外徑相同，使得所述轉(zhuǎn)接頭能夠緊密地插入到所述第一圓形通孔中；

所述方形光源殼殼體外側(cè)圓孔兩側(cè)分別安裝有一個(gè)所述固定裝置，兩個(gè)所述固定裝置相對平行且垂直突出于所述光源殼殼體外表面；所述固定裝置設(shè)置兩個(gè)所述第二螺絲孔，所述第二螺絲孔與所述方形光源殼殼體外表面平行；所述固定裝置的外側(cè)分別設(shè)置有所述第一螺絲孔，所述第一螺絲孔貫穿光源殼殼體。

進(jìn)一步地，所述轉(zhuǎn)接頭包括第四螺絲孔和第二線孔；

所述轉(zhuǎn)接頭中央設(shè)置圓形通孔，所述轉(zhuǎn)接頭圓形通孔兩側(cè)相對設(shè)置所述第四螺絲孔，所述轉(zhuǎn)接頭兩端外徑不同，其中外徑較大一端與所述方形光源殼殼體圓形通孔直徑相同，所述轉(zhuǎn)接頭外徑較大一端外壁設(shè)置所述第二線孔；另一端外徑與所述第二雙排LED光源蓋一端外徑相同。

進(jìn)一步地，所述第二雙排LED光源蓋包括第五螺絲孔、第六螺絲孔、第七螺絲孔、第三線孔、第一環(huán)形固定側(cè)殼、第一環(huán)形固定底殼、第二圓形通孔、第一環(huán)形安裝槽；