[發明專利]一種半導體芯片字符表面缺陷管腳缺陷檢測光源有效
| 申請號: | 202010192687.9 | 申請日: | 2020-03-18 |
| 公開(公告)號: | CN111366588B | 公開(公告)日: | 2023-04-18 |
| 發明(設計)人: | 張祥明 | 申請(專利權)人: | 合肥圖迅電子科技有限公司 |
| 主分類號: | G01N21/95 | 分類號: | G01N21/95;G01N21/01 |
| 代理公司: | 北京知聯天下知識產權代理事務所(普通合伙) 11594 | 代理人: | 張陸軍;張迎新 |
| 地址: | 230031 安徽省合肥市高*** | 國省代碼: | 安徽;34 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 一種 半導體 芯片 字符 表面 缺陷 管腳 檢測 光源 | ||
1.一種半導體芯片字符表面缺陷管腳缺陷檢測光源,其特征在于,
包括第一光學組件(1)、第二光學組件(2)和散光板(3),所述第一光學組件(1)后端安裝有所述散光板(3),所述第一光學組件(1)的前端和所述第二光學組件(2)連接;
所述第一光學組件(1)包括方形光源殼(11)和貼片LED燈(12),
所述方形光源殼(11)內側兩側分別安裝有一個所述貼片LED燈(12),且兩組所述貼片LED燈(12)相互對稱;
所述第二光學組件(2)包括第一雙排LED光源蓋(21)、第一雙排LED光源(22)、偏光膜(23)、雙排LED光源蓋偏光夾緊圈(24)、第二雙排LED光源蓋(25)、轉接頭(26)和第二雙排LED光源(27),
所述轉接頭(26)前端與所述第二雙排LED光源蓋(25)后端連接,所述轉接頭(26)內部嵌有所述第二雙排LED光源(27),所述第二雙排LED光源蓋(25)前端與所述第一雙排LED光源蓋(21)連接,所述第一雙排LED光源蓋(21)內部安裝有所述第一雙排LED光源(22)、所述偏光膜(23)和所述雙排LED光源蓋偏光夾緊圈(24)。
2.根據權利要求1所述的半導體芯片字符表面缺陷管腳缺陷檢測光源,其特征在于,所述方形光源殼(11)包括方形光源殼殼體(111)、固定裝置(112)、第一螺絲孔(113)、第二螺絲孔(114)、第一線孔(115)、第三螺絲孔(116)、第一圓形通孔(117);
所述方形光源殼殼體(111)內部四角均開設有所述第三螺絲孔(116),頂部設置所述第一線孔(115),所述方形光源殼殼體(111)中央設置所述第一圓形通孔(117),所述第一圓形通孔(117)直徑與所述轉接頭(26)一端外徑相同,使得所述轉接頭(26)能夠緊密地插入到所述第一圓形通孔(117)中;
所述方形光源殼殼體(111)外側圓孔兩側分別安裝有一個所述固定裝置(112),兩個所述固定裝置(112)相對平行且垂直突出于所述方形光源殼殼體(111)外表面;所述固定裝置(112)設置兩個所述第二螺絲孔(114),所述第二螺絲孔(114)與所述方形光源殼殼體(111)外表面平行;所述固定裝置(112)的外側分別設置有所述第一螺絲孔(113),所述第一螺絲孔(113)貫穿方形光源殼殼體(111)。
3.根據權利要求2所述的半導體芯片字符表面缺陷管腳缺陷檢測光源,其特征在于,
所述轉接頭(26)包括第四螺絲孔(261)和第二線孔(262);
所述轉接頭(26)中央設置圓形通孔,所述轉接頭(26)圓形通孔兩側相對設置所述第四螺絲孔(261),所述轉接頭(26)兩端外徑不同,其中外徑較大一端與所述方形光源殼殼體(111)圓形通孔直徑相同,所述轉接頭(26)外徑較大一端外壁設置所述第二線孔(262);另一端外徑與所述第二雙排LED光源蓋(25)一端外徑相同。
4.根據權利要求1所述的半導體芯片字符表面缺陷管腳缺陷檢測光源,其特征在于,所述第二雙排LED光源蓋(25)包括第五螺絲孔(251)、第六螺絲孔(252)、第七螺絲孔(253)、第三線孔(254)、第一環形固定側殼(257)、第一環形固定底殼(258)、第二圓形通孔(256)、第一環形安裝槽(255);
所述第一環形固定底殼(258)前端固定有所述第一環形固定側殼(257),所述第一環形固定底殼(258)和所述第一環形固定側殼(257)中部均開設有所述第二圓形通孔(256);所述第一環形固定底殼(258)外環均勻設置四個所述第五螺絲孔(251),內環均勻設置四個所述第六螺絲孔(252);所述第一環形固定側殼(257)內部開設有所述第一環形安裝槽(255);所述第一環形固定側殼(257)設置有一個第三線孔(254)和三個第七螺絲孔(253),其中三個第七螺絲孔(253)均勻分布在第一環形固定側殼(257)上。
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