[發明專利]一種擇優取向的鉭靶材及其制備方法

有效

• 申請號: 202010191434.X
• 申請日: 2020-03-18
• 公開（公告）號: CN111519147B
• 公開（公告）日: 2022-03-11
• 發明（設計）人: 陳燕飛;賴華生;張金祥;文小強;袁德林;王玉香;郭春平;普建;劉雯雯;周有池
• 申請（專利權）人: 贛州有色冶金研究所有限公司
• 主分類號: C23C14/34
• 分類號: C23C14/34;C22F1/18
• 代理公司: 北京高沃律師事務所 11569
• 代理人: 劉瀟

1.一種擇優取向的鉭靶材的制備方法，其特征在于，包括以下步驟：

(1)將鉭錠依次進行酸洗、退火熱處理和冷卻，得到預處理后的鉭錠；所述鉭錠為圓柱形鉭錠；

(2)將預處理后的鉭錠進行扭轉變形，所述扭轉變形具體為將鉭錠兩端進行反向旋轉或差速旋轉，或將鉭錠一端固定不動，另一端進行旋轉；所述扭轉變形的扭轉角度大于等于180°；

(3)將扭轉變形后的鉭錠依次進行退火熱處理和冷卻；

(4)重復步驟(2)～(3)2～3次，得到擇優取向鉭靶材坯體；

(5)將所述擇優取向鉭靶材坯體兩端切除，將剩余部分切割成片狀，得到擇優取向的鉭靶材。

2.根據權利要求1所述的制備方法，其特征在于，所述鉭錠的長度和直徑的比值不小于2；所述鉭錠的雜質總含量不高于5wt％。

3.根據權利要求1所述的制備方法，其特征在于，所述酸洗用酸包括氫氟酸、硫酸和硝酸中的一種或幾種。

4.根據權利要求1所述的制備方法，其特征在于，所述步驟(1)中退火熱處理的溫度為800～1300℃，保溫時間為30～360min；所述步驟(1)中冷卻的方式為隨爐冷卻。

5.根據權利要求1所述的制備方法，其特征在于，所述扭轉變形在扭轉裝置中進行，所述扭轉裝置包括機床和安裝在機床上的第一夾持端和第二夾持端，所述第一夾持端和第二夾持端能夠將鉭錠的兩端固定，并能在機床帶動下進行轉動。

6.根據權利要求1所述的制備方法，其特征在于，所述步驟(3)中退火熱處理的溫度為800～1300℃，保溫時間為30～360min；所述步驟(3)中冷卻的方式為隨爐冷卻。

7.權利要求1～6任意一項所述制備方法制備得到的擇優取向的鉭靶材，其特征在于，所述鉭靶材中占優的織構為(111)和(100)。