[發(fā)明專(zhuān)利]一種避免晶圓鍍膜時(shí)中間變形的支架工裝及工作方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202010187763.7
• 申請(qǐng)日: 2020-03-17
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN111267017B
• 公開(kāi)（公告）日: 2022-05-13
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 王林;李菲
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 華天慧創(chuàng)科技(西安)有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): H01L21/67
• 分類(lèi)號(hào): H01L21/67;H01L21/683;B25B11/00
• 代理公司: 西安通大專(zhuān)利代理有限責(zé)任公司 61200
• 代理人: 郭瑤

本發(fā)明公開(kāi)了一種避免晶圓鍍膜時(shí)中間變形的支架工裝及工作方法，本發(fā)明將上吸盤(pán)吸附在晶圓的上表面，通過(guò)側(cè)吸盤(pán)對(duì)上吸盤(pán)施加水平拉力，使晶圓將被拉平，在鍍膜時(shí)晶圓將不會(huì)再下沉，由此可以消除晶圓下沉帶來(lái)的一系列不良狀況。本發(fā)明能夠解決晶圓鍍膜時(shí)因重力造成的下沉問(wèn)題，能夠減小或消除晶圓鍍膜后的翹曲，翹曲減小或消除為后續(xù)工藝的順利進(jìn)行提供方便。重力造成的下沉解決，能夠增強(qiáng)鍍膜質(zhì)量。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明屬于鍍膜工裝領(lǐng)域，具體涉及一種避免晶圓鍍膜時(shí)中間變形的支架工裝及工作方法。

背景技術(shù)

現(xiàn)用的晶圓鍍膜支架僅是一個(gè)具有臺(tái)階的環(huán)形。鍍膜時(shí)，晶圓置于其上，因?yàn)橹亓Φ淖饔茫A玻璃會(huì)自由下沉。晶圓下沉的情況會(huì)導(dǎo)致鍍膜質(zhì)量問(wèn)題，鍍膜后形成無(wú)法消除的翹曲，影響后段工藝制作。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明的目的在于克服上述不足，提供一種避免晶圓鍍膜時(shí)中間變形的支架工裝及工作方法，能夠防止晶圓中部下沉，能夠消除晶圓下沉帶來(lái)的一系列不良狀況。

為了達(dá)到上述目的，本發(fā)明包括鍍膜支架，鍍膜支架上設(shè)置有晶圓放置臺(tái)，晶圓放置臺(tái)的上方設(shè)置有上吸盤(pán)，上吸盤(pán)上固定有若干吸盤(pán)柱，至少一個(gè)吸盤(pán)柱內(nèi)設(shè)置有上吸盤(pán)真空通道，上吸盤(pán)通過(guò)上吸盤(pán)真空通道連接真空泵，吸盤(pán)柱上套設(shè)有側(cè)吸盤(pán)，側(cè)吸盤(pán)上設(shè)置有側(cè)吸盤(pán)真空通道，側(cè)吸盤(pán)真空通道連接真空泵；

側(cè)吸盤(pán)工作時(shí)，能夠使吸盤(pán)柱產(chǎn)生橫向拉力。

所有側(cè)吸盤(pán)環(huán)形設(shè)置在鍍膜支架的外圍上。

吸盤(pán)柱連接橫桿，橫桿固定在旋轉(zhuǎn)軸上，旋轉(zhuǎn)軸鉸接在固定座上，旋轉(zhuǎn)軸能夠在固定座內(nèi)轉(zhuǎn)動(dòng)。

橫桿與旋轉(zhuǎn)軸通過(guò)螺釘連接鎖緊，螺釘?shù)亩瞬吭O(shè)置有彈簧嵌套。

鍍膜支架的側(cè)壁上開(kāi)設(shè)有用于使晶圓移出的缺口。

晶圓放置臺(tái)與鍍膜支架組成環(huán)形臺(tái)階結(jié)構(gòu)。

一種避免晶圓鍍膜時(shí)中間變形的支架工裝的工作方法，包括以下步驟：

步驟一，將晶圓放置在晶圓放置臺(tái)上；

步驟二，上吸盤(pán)與晶圓上表面接觸，真空泵通過(guò)上吸盤(pán)真空通道對(duì)晶圓產(chǎn)生吸力，將晶圓吸起；

步驟三，真空泵通過(guò)側(cè)吸盤(pán)真空通道產(chǎn)生吸力，使側(cè)吸盤(pán)的側(cè)吸盤(pán)真空通道緊密貼合在鍍膜支架的側(cè)面，從而拉動(dòng)吸盤(pán)柱，使吸盤(pán)柱帶動(dòng)上吸盤(pán)產(chǎn)生橫向力，將晶圓拉平。

吸盤(pán)柱連接橫桿，橫桿固定在旋轉(zhuǎn)軸上，旋轉(zhuǎn)軸鉸接在固定座上，橫桿與旋轉(zhuǎn)軸通過(guò)螺釘連接鎖緊，螺釘?shù)亩瞬吭O(shè)置有彈簧嵌套；

在放置不同厚度的晶圓時(shí)，旋轉(zhuǎn)螺釘，在螺釘與旋轉(zhuǎn)軸間的彈簧嵌套的作用下，使橫桿上下移動(dòng)。

與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明將上吸盤(pán)吸附在晶圓的上表面，通過(guò)側(cè)吸盤(pán)對(duì)上吸盤(pán)施加水平拉力，使晶圓將被拉平，在鍍膜時(shí)晶圓將不會(huì)再下沉，由此可以消除晶圓下沉帶來(lái)的一系列不良狀況。本發(fā)明能夠解決晶圓鍍膜時(shí)因重力造成的下沉問(wèn)題，能夠減小或消除晶圓鍍膜后的翹曲，翹曲減小或消除為后續(xù)工藝的順利進(jìn)行提供方便。重力造成的下沉解決，能夠增強(qiáng)鍍膜質(zhì)量。

進(jìn)一步的，本發(fā)明設(shè)置有旋轉(zhuǎn)軸，能夠使上吸盤(pán)從晶圓上方移動(dòng)到晶圓鍍膜支架主體以外，便于使用者移動(dòng)晶圓。

進(jìn)一步的，本發(fā)明的橫桿與旋轉(zhuǎn)軸通過(guò)螺釘連接鎖緊，螺釘?shù)亩瞬吭O(shè)置有彈簧嵌套，能夠通過(guò)螺紋和彈簧結(jié)構(gòu)根據(jù)晶圓厚度來(lái)調(diào)節(jié)上吸盤(pán)高度。

本發(fā)明的方法是在上環(huán)形吸盤(pán)及測(cè)吸盤(pán)都開(kāi)始工作時(shí)，上吸盤(pán)與晶圓接觸的表面吸附住晶圓上表面，側(cè)吸盤(pán)水平桿套在上吸盤(pán)真空通道或無(wú)真空通道的柱子上，側(cè)吸盤(pán)吸附環(huán)形支架主體外側(cè)面，產(chǎn)生一定拉力。基于此過(guò)程，晶圓將被拉平。鍍膜時(shí)，晶圓將不會(huì)再下沉，由此可以消除晶圓下沉帶來(lái)的一系列不良狀況。

附圖說(shuō)明