[發明專利]一種避免晶圓鍍膜時中間變形的支架工裝及工作方法

有效

• 申請號: 202010187763.7
• 申請日: 2020-03-17
• 公開（公告）號: CN111267017B
• 公開（公告）日: 2022-05-13
• 發明（設計）人: 王林;李菲
• 申請（專利權）人: 華天慧創科技(西安)有限公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67;H01L21/683;B25B11/00
• 代理公司: 西安通大專利代理有限責任公司 61200
• 代理人: 郭瑤

1.一種避免晶圓鍍膜時中間變形的支架工裝，其特征在于，包括鍍膜支架(1)，鍍膜支架(1)上設置有晶圓放置臺(2)，晶圓放置臺(2)的上方設置有上吸盤(3)，上吸盤(3)上固定有若干吸盤柱(4)，至少一個吸盤柱(4)內設置有上吸盤真空通道(5)，上吸盤(3)通過上吸盤真空通道(5)連接真空泵，吸盤柱(4)上套設有側吸盤(6)，側吸盤(6)上設置有側吸盤真空通道(7)，側吸盤真空通道(7)連接真空泵；

側吸盤(6)工作時，能夠使吸盤柱(4)產生橫向拉力；

所有側吸盤(6)環形設置在鍍膜支架(1)的外圍上；

吸盤柱(4)連接橫桿(10)，橫桿(10)固定在旋轉軸(8)上，旋轉軸(8)鉸接在固定座(9)上，旋轉軸(8)能夠在固定座(9)內轉動；

橫桿(10)與旋轉軸(8)通過螺釘(11)連接鎖緊，螺釘(11)的端部設置有彈簧嵌套(12)；

鍍膜支架(1)的側壁上開設有用于使晶圓移出的缺口(13)。

2.根據權利要求1所述的一種避免晶圓鍍膜時中間變形的支架工裝，其特征在于，晶圓放置臺(2)與鍍膜支架(1)組成環形臺階結構。

3.權利要求1所述的一種避免晶圓鍍膜時中間變形的支架工裝的工作方法，其特征在于，包括以下步驟：

步驟一，將晶圓放置在晶圓放置臺(2)上；

步驟二，上吸盤(3)與晶圓上表面接觸，真空泵通過上吸盤真空通道(5)對晶圓產生吸力，將晶圓吸起；

步驟三，真空泵通過側吸盤真空通道(7)產生吸力，使側吸盤(6)的側吸盤真空通道(7)緊密貼合在鍍膜支架(1)的側面，從而拉動吸盤柱(4)，使吸盤柱(4)帶動上吸盤(3)產生橫向力，將晶圓拉平。

4.根據權利要求3所述的一種避免晶圓鍍膜時中間變形的支架工裝的工作方法，其特征在于，吸盤柱(4)連接橫桿(10)，橫桿(10)固定在旋轉軸(8)上，旋轉軸(8)鉸接在固定座(9)上，橫桿(10)與旋轉軸(8)通過螺釘(11)連接鎖緊，螺釘(11)的端部設置有彈簧嵌套(12)；

在放置不同厚度的晶圓時，旋轉螺釘(11)，在螺釘(11)與旋轉軸(8)間的彈簧嵌套(12)的作用下，使橫桿(10)上下移動。