[發明專利]蒸鍍裝置

在審

• 申請號: 202010183889.7
• 申請日: 2020-03-16
• 公開（公告）號: CN113403586A
• 公開（公告）日: 2021-09-17
• 發明（設計）人: 林文晶;軒景泉;錢海濤;趙軍;劉萍
• 申請（專利權）人: 上海升翕光電科技有限公司
• 主分類號: C23C14/24
• 分類號: C23C14/24;C23C14/04;C23C14/12
• 代理公司: 北京匯思誠業知識產權代理有限公司 11444
• 代理人: 馮偉

本申請涉及蒸鍍技術領域，尤其涉及一種蒸鍍裝置。該蒸鍍裝置包括坩堝和蓋板，所述坩堝的內部具有多個用于收容蒸鍍材料的收容槽，相鄰兩個所述收容槽之間設置有加熱槽，所述加熱槽設置于所述坩堝的外部，所述收容槽的外表面和所述加熱槽均設置有加熱件；蓋板，所述蓋板蓋設于所述坩堝上，所述蓋板設置有多個用于噴出蒸鍍材料的蒸發口部。本申請提供的蒸鍍裝置通過在坩堝的外部設置加熱槽，加熱槽設置于相鄰兩個收容槽之間，且收容槽的外表面和加熱槽均設置有加熱件，如此可以提高每個收容槽內蒸鍍材料的加熱效率，從而可以提高蒸鍍效率和蒸鍍質量。

技術領域

本申請涉及蒸鍍技術領域，尤其涉及一種蒸鍍裝置。

背景技術

在OLED面板制備過程中，蒸鍍工藝其是其中的關鍵工序。在蒸鍍過程中，采用蒸鍍掩膜遮擋基材，蒸鍍材料從蒸鍍掩膜開口蒸鍍到對應的基材上，但目前通常采用點源和線源的方式，如此需要點源或線源與基材發生相對移動才能使得基材被蒸鍍，從而不僅會導致蒸鍍效率的下降，還會因點源或線源存在移動而導致蒸發口部在不同位置噴出的蒸鍍材料相互影響，最終會導致有機膜的成型厚度不均勻。也就是說，現有的點源和線源的蒸鍍效率和蒸鍍質量較低。

因此，目前亟待需要一種蒸鍍裝置來解決上述問題。

發明內容

本申請提供了一種蒸鍍裝置，以提高蒸鍍效率和蒸鍍質量。

本申請實施例提供了一種蒸鍍裝置，包括：

坩堝，所述坩堝的內部具有多個用于收容蒸鍍材料的收容槽，相鄰兩個所述收容槽之間設置有加熱槽，所述加熱槽設置于所述坩堝的外部，所述收容槽的外表面和所述加熱槽均設置有加熱件；

蓋板，所述蓋板蓋設于所述坩堝上，所述蓋板設置有多個用于噴出蒸鍍材料的蒸發口部。

在一種可能的設計中，所述坩堝的內部還設置有擴散腔，所述擴散腔設置于所述收容槽和所述蓋板之間。

在一種可能的設計中，所述坩堝的內部還設置有分隔板，所述分隔板設置于所述收容槽和所述擴散腔之間，所述分隔板均勻地設置有多個用于連通所述收容槽和所述擴散腔的第一通孔。

在一種可能的設計中，所述坩堝的內部設置有多個隔層部，所述坩堝的底壁設置有多個第二通孔，所述隔層部設置于所述第二通孔的兩側，以在所述坩堝的內部形成多個所述收容槽和在所述坩堝的外部形成多個所述加熱槽；

相鄰兩個所述收容槽之間設置有所述隔層部，所述加熱槽形成于所述隔層部的內部。

在一種可能的設計中，所述加熱槽設置有用于固定所述加熱件的安裝部。

在一種可能的設計中，所述收容槽沿水平方向的截面積由下至上逐漸增大。

在一種可能的設計中，所述坩堝的頂部沿水平方向的截面為長方形，所述蓋板沿水平方向的截面為長方形；

所述蓋板設置有多個與所述坩堝的長度方向平行設置的線源，每個所述線源設置有多個所述蒸發口部，每個線源的所述蒸發口部沿所述坩堝的長度方向成鋸齒狀排列。

在一種可能的設計中，多個所述線源之間相鄰的所述蒸發口部沿所述坩堝的寬度方向成鋸齒狀排列。

可見，本申請提供的蒸鍍裝置通過在坩堝的外部設置加熱槽，加熱槽設置于相鄰兩個收容槽之間，且收容槽的外表面和加熱槽均設置有加熱件，如此可以提高每個收容槽內蒸鍍材料的加熱效率，從而可以提高蒸鍍效率和蒸鍍質量。

附圖說明

圖1為本申請實施例提供的蒸鍍裝置的正視圖；

圖2為本申請實施例提供的蓋板的俯視圖；

圖3為本申請實施例提供的坩堝的俯視圖；

圖4為圖3所示坩堝沿A-A的剖面示意圖。