[發(fā)明專利]蒸鍍裝置

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 202010183889.7
• 申請日: 2020-03-16
• 公開（公告）號: CN113403586A
• 公開（公告）日: 2021-09-17
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 林文晶;軒景泉;錢海濤;趙軍;劉萍
• 申請（專利權(quán)）人: 上海升翕光電科技有限公司
• 主分類號: C23C14/24
• 分類號: C23C14/24;C23C14/04;C23C14/12
• 代理公司: 北京匯思誠業(yè)知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11444
• 代理人: 馮偉

1.一種蒸鍍裝置，其特征在于，包括：

坩堝(1)，所述坩堝(1)的內(nèi)部具有多個用于收容蒸鍍材料的收容槽(11)，相鄰兩個所述收容槽(11)之間設(shè)置有加熱槽(3)，所述加熱槽(3)設(shè)置于所述坩堝(1)的外部，所述收容槽(11)的外表面和所述加熱槽(3)均設(shè)置有加熱件(4)；

蓋板(2)，所述蓋板(2)蓋設(shè)于所述坩堝(1)上，所述蓋板(2)設(shè)置有多個用于噴出蒸鍍材料的蒸發(fā)口部(211)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的蒸鍍裝置，其特征在于，所述坩堝(1)的內(nèi)部還設(shè)置有擴散腔(12)，所述擴散腔(12)設(shè)置于所述收容槽(11)和所述蓋板(2)之間。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的蒸鍍裝置，其特征在于，所述坩堝(1)的內(nèi)部還設(shè)置有分隔板(13)，所述分隔板(13)設(shè)置于所述收容槽(11)和所述擴散腔(12)之間，所述分隔板(13)均勻地設(shè)置有多個用于連通所述收容槽(11)和所述擴散腔(12)的第一通孔(131)。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的蒸鍍裝置，其特征在于，所述坩堝(1)的內(nèi)部設(shè)置有多個隔層部(14)，所述坩堝(1)的底壁(15)設(shè)置有多個第二通孔(151)，所述隔層部(14)設(shè)置于所述第二通孔(151)的兩側(cè)，以在所述坩堝(1)的內(nèi)部形成多個所述收容槽(11)和在所述坩堝(1)的外部形成多個所述加熱槽(3)；

相鄰兩個所述收容槽(11)之間設(shè)置有所述隔層部(14)，所述加熱槽(3)形成于所述隔層部(14)的內(nèi)部。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的蒸鍍裝置，其特征在于，所述加熱槽(3)設(shè)置有用于固定所述加熱件(4)的安裝部(31)。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的蒸鍍裝置，其特征在于，所述收容槽(11)沿水平方向(X)的截面積由下至上逐漸增大。

7.根據(jù)權(quán)利要求1-6中任一項所述的蒸鍍裝置，其特征在于，所述坩堝(1)的頂部沿水平方向(X)的截面為長方形，所述蓋板(2)沿水平方向(X)的截面為長方形；

所述蓋板(2)設(shè)置有多個與所述坩堝(1)的長度方向(L)平行設(shè)置的線源(21)，每個所述線源(21)設(shè)置有多個所述蒸發(fā)口部(211)，每個線源(21)的所述蒸發(fā)口部(211)沿所述坩堝(1)的長度方向(L)成鋸齒狀排列。

8.根據(jù)權(quán)利要求7中任一項所述的蒸鍍裝置，其特征在于，多個所述線源(21)之間相鄰的所述蒸發(fā)口部(211)沿所述坩堝(1)的寬度方向(W)成鋸齒狀排列。