[發(fā)明專利]一種無需退火可溶液加工的高電導率氧化鉬涂料及薄膜制備方法有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 202010183215.7 | 申請日: | 2020-03-16 |
| 公開(公告)號: | CN111704814B | 公開(公告)日: | 2022-02-22 |
| 發(fā)明(設計)人: | 孫寬;楊可;熊正紅;周永利;李猛;陳珊珊;鄭玉杰 | 申請(專利權(quán))人: | 重慶大學 |
| 主分類號: | H01L51/42 | 分類號: | H01L51/42;H01L51/46;H01L51/48 |
| 代理公司: | 重慶縉云專利代理事務所(特殊普通合伙) 50237 | 代理人: | 王翔 |
| 地址: | 400044 *** | 國省代碼: | 重慶;50 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 一種 無需 退火 溶液 加工 電導率 氧化鉬 涂料 薄膜 制備 方法 | ||
1.一種無需退火可溶液加工的高電導率氧化鉬涂料制備方法,其特征在于:
1)制備鉬氧化物的雙氧水溶液:在鉬氧化物的雙氧水溶液加入溶劑稀釋,使得鉬氧化物的濃度為1 mg/ml~20 mg/ml;所述鉬氧化物選自二氧化鉬或三氧化鉬;
2)將含有聯(lián)硼化合物的配體溶液加入到步驟1)制備的溶液中,獲得配位的鉬氧化物溶液;所述配體溶液選自聯(lián)硼酸頻那醇酯(CAS:73183-34-3)、雙聯(lián)(2-甲基-2,4-戊二醇)硼酸酯(CAS:230299-21-5)、聯(lián)硼酸新戊二醇酯(CAS:201733-56-4)、4,4',5,5'-四甲基-2,2'-聯(lián)-1,3,2-二氧硼雜環(huán)戊烷(CAS:230299-23-7)和雙聯(lián)鄰苯二酚硼酸酯(CAS:13826-27-2)中的一種或多種;所述配體試劑使用量至少為鉬源質(zhì)量的0.01%;
3)步驟2)獲得的配位的鉬氧化物作為涂料的原料。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種無需退火可溶液加工的高電導率氧化鉬涂料制備方法,其特征在于:
步驟1)中,鉬氧化物與雙氧水溶液的配比:40~80,鉬氧化物以mg計,雙氧水溶液以m l計。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的一種無需退火可溶液加工的高電導率氧化鉬涂料制備方法,其特征在于:
步驟3)中,將步驟2)獲得的配位的氧化鉬溶液干燥去除溶劑后再分散于有機溶劑,分散后的產(chǎn)物為高電導率氧化鉬涂料。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種無需退火可溶液加工的高電導率氧化鉬涂料制備方法,其特征在于:
所述機溶劑選自異丙醇、甲醇、乙醇、丁醇、甲苯、N-N-二甲基亞砜和乙二醇甲醚中的一種或多種。
5.一種以權(quán)利要求1~4任意一項所述制備方法得到的涂料為原料制備薄膜的方法,其特征在于:將涂料原料在分散于有機溶劑中分散制得分散液,經(jīng)過濕法制備工藝制得氧化鉬薄膜。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的制備薄膜的方法,其特征在于:
濕法制備工藝至少包含以下一種:旋涂、刮涂、絲網(wǎng)印刷、狹縫涂布、噴涂、噴墨打印或絲棒印刷。
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H01L 半導體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L51-00 使用有機材料作有源部分或使用有機材料與其他材料的組合作有源部分的固態(tài)器件;專門適用于制造或處理這些器件或其部件的工藝方法或設備
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H01L51-50 .專門適用于光發(fā)射的,如有機發(fā)光二極管
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