[發明專利]電漿裝置在審
| 申請號： | 202010175012.3 | 申請日： | 2020-03-13 |
| 公開（公告）號： | CN111822162A | 公開（公告）日： | 2020-10-27 |
| 發明（設計）人： | 徐逸明;王朝俊;李安仁 | 申請（專利權）人： | 馗鼎奈米科技股份有限公司 |
| 主分類號： | B05B3/10 | 分類號： | B05B3/10;H01J37/32 |
| 代理公司： | 北京律誠同業知識產權代理有限公司 11006 | 代理人： | 徐金國 |
| 地址： | 中國臺灣臺南市永康區亞*** | 國省代碼： | 臺灣;71 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 裝置 | ||
1.一種電漿裝置，其特征在于，該電漿裝置包含：
一外殼，具有一容置空間，其中該容置空間具有彼此相對的一第一開口與一第二開口；
一內電極，設于該容置空間中且鄰近于該第一開口；
一旋轉構件，可旋轉地設于該外殼的一外側面外，其中該旋轉構件具有至少一溝槽沿著該外殼的該外側面延伸，且該旋轉構件包含多個磁性元件；
一延伸管座，與該旋轉構件接合且鄰近該第二開口；
一噴嘴，設于該延伸管座上且與該第二開口相對；以及
一磁浮馬達，設于該外殼上且位于該旋轉構件的該至少一溝槽中，其中該磁浮馬達鄰近所述多個磁性元件。
2.根據權利要求1所述的電漿裝置，其特征在于，該旋轉構件是一環形結構，且該至少一溝槽是一環形溝槽，該旋轉構件與該至少一溝槽均環設于該外殼的該外側面外。
3.根據權利要求1所述的電漿裝置，其特征在于，所述多個磁性元件以相同間隔方式圍設于該外殼的該外側面外。
4.根據權利要求1所述的電漿裝置，其特征在于，該電漿裝置還包含一分氣塊，設于該容置空間中且鄰近該第一開口，其中該內電極穿設于該分氣塊中，且該分氣塊具有多個氣孔。
5.根據權利要求4所述的電漿裝置，其特征在于，每一所述氣孔的延伸方向相對于該外殼的一軸心傾斜。
6.根據權利要求1所述的電漿裝置，其特征在于，該噴嘴的一噴口的延伸方向相對于該外殼的一軸心傾斜。
7.根據權利要求1所述的電漿裝置，其特征在于，該電漿裝置還包含至少一軸承，其中該旋轉構件透過該至少一軸承與該外殼的該外側面連結。
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