[發明專利]研磨墊及其制備方法和應用

在審

• 申請號: 202010173542.4
• 申請日: 2020-03-13
• 公開（公告）號: CN111251175A
• 公開（公告）日: 2020-06-09
• 發明（設計）人: 于洋
• 申請（專利權）人: 于洋
• 主分類號: B24B37/22
• 分類號: B24B37/22;B24B37/24;B24D3/32;B24D3/34;B24D18/00
• 代理公司: 北京思元知識產權代理事務所(普通合伙) 11598
• 代理人: 余光軍;霍雪梅

1.一種研磨墊，包括研磨層、透明基板、第一粘結劑層、彈性層和第二粘結劑層；其中，從上至下依次為研磨層、透明基板、第一粘結劑層、彈性層和第二粘結劑層；其特征在于，所述的研磨層由以下原料制成：金剛石磨料、結合劑和輔料；所述的結合劑由uv固化樹脂及其引發劑組成的混合物；所述的輔料由石墨粉、氯化鈉顆粒粉末和偶聯劑組成。

2.按照權利要求1所述的研磨墊，其特征在于，所述的研磨層由以下質量百分比的原料制成：金剛石磨料80～85％、結合劑5～10％、輔料5～10％。

3.按照權利要求1或2所述的研磨墊，其特征在于，所述金剛石磨料的粒徑為5um～10um。

4.按照權利要求1所述的研磨墊，其特征在于，所述結合劑由uv固化樹脂及其引發劑按照98:2的質量比例組成；所述Uv固化樹脂為丙烯酸酯化環氧樹脂類；所述引發劑為過氧化氫異丙苯；所述的輔料由氯化鈉顆粒，石墨粉和偶聯劑按照3：2：1的質量比例組成；所述的偶聯劑為y-丙基三甲氧基硅烷。

5.按照權利要求1所述的研磨墊，其特征在于，所述的透明基板是PC基板；所述的彈性層是硅膠板；所述的第一粘結劑層或第二粘結劑層是雙面膠組成的粘結劑層。

6.一種制備權利要求1所述研磨墊的方法，其特征在于，包括：

(1)制備研磨層：

(a)將結合劑的各成分混合在一起攪拌使各成分充分分散，制備得到結合劑；

(b)將輔料放入器皿后密閉，使輔料充分分散，制備得到輔料；

(c)將金剛石磨料與結合劑以及輔料共同再次攪拌得到混合物；

(2)將所得到混合物注入模具中的小坑后覆蓋透明基板，使用涂覆工具將透明基板下的混合物壓入模具的小坑中，涂覆均勻后將模具置于紫外光固化設備中開始固化研磨墊；固化結束后取出模具冷卻；

(3)將步驟(2)得到的產品通過吸盤拔模脫出，在透明基板依次貼附第一粘結劑層、彈性層和第二粘結劑層，即得。

7.按照權利要求6所述的方法，其特征在于，步驟(a)中結合劑放入器皿中，保持器皿為35℃并使用攪拌棒攪拌，使結合劑充分分散，開排風排出uv樹脂及引發劑攪拌時產生的異味。

8.按照權利要求6所述的方法，其特征在于，步驟(b)中將輔料放入器皿后密閉，用振動器使輔料振動20分鐘充分分散，完成輔料制備。

9.按照權利要求6所述的方法，其特征在于，步驟(c)中將金剛石磨料裝入缸體中,連同結合劑和輔料共同再次攪拌并加保持35℃。

10.按照權利要求6所述的方法，其特征在于，步驟(2)中固化60分鐘后取出模具冷卻30分鐘。