[發明專利]一種頁巖樣品掃描電鏡和原子力顯微鏡原位觀察的方法

在審

• 申請號: 202010172817.2
• 申請日: 2020-03-12
• 公開（公告）號: CN111289778A
• 公開（公告）日: 2020-06-16
• 發明（設計）人: 蔡瀟;何希鵬;高玉巧;高和群;李輝;靳雅夕;夏威;程偉
• 申請（專利權）人: 中國石油化工股份有限公司;中國石油化工股份有限公司華東油氣分公司
• 主分類號: G01Q60/24
• 分類號: G01Q60/24;G01Q30/20;G01Q30/02;G01N15/08;G01N1/32
• 代理公司: 南京正聯知識產權代理有限公司 32243
• 代理人: 王素琴

1.一種頁巖樣品掃描電鏡和原子力顯微鏡原位觀察的方法，其特征在于：包括樣品拋光、掃描電鏡成像、圖像定位和原子力顯微鏡成像步驟。

2.根據權利要求1所述的一種頁巖樣品掃描電鏡和原子力顯微鏡原位觀察的方法，其特征在于：

步驟(1)樣品拋光為根據測試視域的要求，選擇適配的平面拋光或截面拋光模式；

步驟(2)掃描電鏡成像為對拋光后的樣品進行掃描電鏡測試，確定目標區域或對象，獲取高分辨率的掃描電鏡圖像；

步驟(3)圖像定位為使用測距工具對掃描電鏡圖像中目標區域或對象的目標方位進行定位測量，并拍照記錄確定掃描電鏡圖像中目標區域或對象的目標平面位置信息；

步驟(4)原子力顯微鏡成像為對上述頁巖樣品進行原子力顯微鏡測試，對照掃描電鏡圖像中記錄的目標平面位置信息，確定目標位置，獲取高分辨率的原子力顯微鏡圖像。

3.根據權利要求2所述的一種頁巖樣品掃描電鏡和原子力顯微鏡原位觀察的方法，其特征在于：所采用的拋光模式為截面拋光。

4.根據權利要求2所述的一種頁巖樣品掃描電鏡和原子力顯微鏡原位觀察的方法，其特征在于：掃描電鏡條件下，確定目標平面位置信息方法為確定目標區域位置后，尋找目標周圍的局部構造和/或不同礦物為標志物，選擇標志物數量大于或等于2個，測量目標到標志物的距離并建立二維坐標系，獲取目標準確的目標平面位置信息。

5.根據權利要求4所述的一種頁巖樣品掃描電鏡和原子力顯微鏡原位觀察的方法，其特征在于：局部構造包括樣品邊緣、拋光面邊界或微裂縫，不同礦物為黃鐵礦。

6.根據權利要求2所述的一種頁巖樣品掃描電鏡和原子力顯微鏡原位觀察的方法，其特征在于：原子力顯微鏡條件下，確定目標位置方法為通過原子力顯微鏡配置的光學鏡頭及上面的CCD探頭，在電腦顯示器中呈現樣品表面放大100倍的圖像，圖像中心十字絲單側的長度為100μm，以此為度量單位，通過對照掃描電鏡圖像下拍攝的目標平面位置信息，移動探針至目標上方。