[發明專利]一種表面劃痕檢測方法及裝置

在審

• 申請號: 202010166733.8
• 申請日: 2020-03-10
• 公開（公告）號: CN113376164A
• 公開（公告）日: 2021-09-10
• 發明（設計）人: 馬宏
• 申請（專利權）人: 覺芯電子（無錫）有限公司
• 主分類號: G01N21/88
• 分類號: G01N21/88;H05B45/30
• 代理公司: 廣州三環專利商標代理有限公司 44202
• 代理人: 郝傳鑫;賈允

1.一種表面劃痕檢測方法，其特征在于，包括以下步驟：

生成時序控制信號；

根據所述時序控制信號，向待測件表面發射準直的照明光束；

接收所述待測件表面的反射光，并對所述待測件表面成像；

根據所述待測件表面成像信息，得到所述待測件表面的劃痕信息。

2.根據權利要求1所述的一種表面劃痕檢測方法，其特征在于，所述根據所述時序控制信號，向待測件表面發射準直的照明光束包括：

根據所述時序控制信號，控制或改變所述照明光束的狀態。

3.根據權利要求2所述的一種表面劃痕檢測方法，其特征在于，所述表面成像幀頻大于等于所述時序控制信號的頻率。

4.一種表面劃痕檢測裝置，用于執行權利要求1至4任一項所述的方法，其特征在于，所述裝置包括：

照明控制模塊，用于生成時序控制信號，并控制照明模塊的工作狀態；

照明模塊，用于根據所述時序控制信號，向待測件表面發射準直的照明光束；

成像模塊，用于接收所述待測件表面的反射光，并對所述待測件表面成像；

數據處理模塊，用于根據所述待測件表面成像信息，得到所述待測件表面的劃痕信息。

5.根據權利要求4所述的一種表面劃痕檢測裝置，其特征在于，還包括固定模塊，用于固定所述照明模塊和所述成像模塊，所述照明模塊和所述成像模塊按照預設的空間相對關系設置，以使所述照明模塊發射的照明光束經所述待測件反射后被所述成像模塊接收。

6.根據權利要求4所述的一種表面劃痕檢測裝置，其特征在于，所述成像模塊的響應譜段與所述照明模塊發出的光波譜段相匹配。

7.根據權利要求4所述的一種表面劃痕檢測裝置，其特征在于，所述照明模塊包括多個照明單元，所述多個照明單元按照預設布局固定在所述固定模塊上，其中每個所述照明單元包括：

發光器件；

準直器件，用于將所述發光器件發出的光準直成近平行光束。

8.根據權利要求7所述的一種表面劃痕檢測裝置，其特征在于，所述預設布局為環形布局，所述成像模塊設置在所述環形布局的中間位置。

9.根據權利要求8所述的一種表面劃痕檢測裝置，其特征在于，所述環形布局為圓環排列、橢圓環排列和矩形環排列中的一種。

10.根據權利要求4所述的一種表面劃痕檢測裝置，其特征在于，所述成像模塊的成像范圍大于等于所述待測件的尺寸。