[發(fā)明專(zhuān)利]基板固定裝置

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202010165402.2
• 申請(qǐng)日: 2020-03-11
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN111696906A
• 公開(kāi)（公告）日: 2020-09-22
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 古川忠義;齋藤美喜;鈴木貴彥;青木周三
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 新光電氣工業(yè)株式會(huì)社
• 主分類(lèi)號(hào): H01L21/683
• 分類(lèi)號(hào): H01L21/683;H01J37/32
• 代理公司: 隆天知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 72003
• 代理人: 宋曉寶;向勇

1.一種基板固定裝置，其具有:

底板，其內(nèi)部具備氣體供給部；及

靜電卡盤(pán)，其設(shè)置在所述底板上，

所述靜電卡盤(pán)具備:

基體，其一個(gè)表面為吸附對(duì)象物的承載面；及

貫穿所述基體的插入孔，其內(nèi)側(cè)面上形成有內(nèi)螺紋，

其中，

側(cè)面上形成有外螺紋的擰入部件螺接在所述插入孔內(nèi)，

氣體從所述氣體供給部經(jīng)由所述擰入部件被供給至所述承載面。

2.一種基板固定裝置，其具有:

底板，其內(nèi)部具備氣體供給部；及

靜電卡盤(pán)，其設(shè)置在所述底板上，

所述靜電卡盤(pán)具備:

基體，其一個(gè)表面為吸附對(duì)象物的承載面；及

插入孔，其貫穿所述基體，

所述底板具備:

與所述插入孔連通的凹部，其內(nèi)側(cè)面上形成有內(nèi)螺紋，

其中，

所述底板側(cè)的側(cè)面上形成有外螺紋的擰入部件插入所述插入孔內(nèi)和所述凹部?jī)?nèi)，并與所述凹部螺接，

氣體從所述氣體供給部經(jīng)由所述擰入部件被供給至所述承載面。

3.如權(quán)利要求1或2所述的基板固定裝置，其中，

所述擰入部件上形成有一端在所述承載面上進(jìn)行開(kāi)口而另一端與所述氣體供給部連通的直徑為0.1mm以下的貫穿孔，

氣體從所述氣體供給部經(jīng)由所述貫穿孔被供給至所述承載面。

4.如權(quán)利要求1或2所述的基板固定裝置，其中，

所述擰入部件為具備連通的多個(gè)氣孔的多孔質(zhì)體，

氣體從所述氣體供給部經(jīng)由所述連通的多個(gè)氣孔被供給至所述承載面。

5.如權(quán)利要求1或2所述的基板固定裝置，其中，

與所述擰入部件相接的第2擰入部件插入所述擰入部件的所述底板側(cè)，

所述擰入部件上形成有一端在所述承載面上進(jìn)行開(kāi)口而另一端在所述第2擰入部件側(cè)進(jìn)行開(kāi)口的直徑為0.1mm以下的貫穿孔，

所述第2擰入部件為具備連通的多個(gè)氣孔的多孔質(zhì)體，

氣體從所述氣體供給部經(jīng)由所述貫穿孔和所述連通的多個(gè)氣孔被供給至所述承載面。

6.如權(quán)利要求1或2所述的基板固定裝置，其中，

在所述擰入部件的露出于所述承載面的部分上設(shè)置有用于使所述擰入部件旋轉(zhuǎn)的結(jié)構(gòu)。

7.如權(quán)利要求1或2所述的基板固定裝置，其中，

所述擰入部件包含氧化鋁或氮化鋁。