[發明專利]一種激光裝置及其制備方法及應用

有效

• 申請號: 202010159587.6
• 申請日: 2020-03-10
• 公開（公告）號: CN111009820B
• 公開（公告）日: 2020-06-30
• 發明（設計）人: 張成;梁棟
• 申請（專利權）人: 常州縱慧芯光半導體科技有限公司
• 主分類號: H01S5/00
• 分類號: H01S5/00;H01S5/187
• 代理公司: 上海光華專利事務所(普通合伙) 31219
• 代理人: 王華英

本發明公開一種激光裝置，屬于半導體技術領域。本發明的激光裝置包括：激光芯片，其上設有出光區域；耦合光柵，其設置在所述激光芯片上，且位于所述出光區域的至少一側；出射光柵，其設置在所述出光區域中，用于調整入射光波的出射角度。本發明解決了現有的激光裝置掃描光源難以覆蓋所需的視場范圍的問題。

技術領域

本發明屬于半導體技術領域，特別是涉及一種激光裝置及其制備方法及應用。

背景技術

在激光雷達（Lidar）和三維傳感（3D sensing）的應用場景中，均需通過發射激光束探測目標的位置、速度等特征量。其中激光芯片向目標發射探測信號(激光束)，然后將接收到的從目標反射回來的信號(目標回波)與發射信號進行比較,作適當處理后，就可獲得目標的有關信息，如目標距離、方位、高度、速度、姿態、甚至形狀等參數，從而對目標物體進行探測、跟蹤和識別。在一些使用場景中，希望激光芯片的發射場可以通過掃描的方式覆蓋整個視場（FOV）。在現有的技術中，為了實現掃描的目的，可以使用機械旋轉器或微機電系統（MEMS）鏡，但是機械旋轉器通常受到旋轉速度的限制，且容易損壞，而微機電系統（MEMS）鏡的掃描范圍小，難以覆蓋所需的視場范圍，且可靠性低，所以需要提供一種更好的掃描方式，達到覆蓋整個視場（FOV）的目的。

發明內容

本發明的目的在于提供一種激光裝置及其制備方法及應用，解決了現有的激光裝置掃描光源難以覆蓋所需的視場范圍的問題。

為解決上述技術問題，本發明是通過以下技術方案實現的：

本發明提供了一種激光裝置，其包括：

激光芯片，其上設有出光區域；

耦合光柵，其設置在所述激光芯片上，且位于所述出光區域的至少一側；

出射光柵，其設置在所述出光區域中，用于調整入射光波的出射角度。

在本發明的一個實施例中，所述激光芯片具有脊形波導結構。

在本發明的一個實施例中，當所述激光芯片具有所述脊形波導結構時，所述出射光柵形成于所述脊形波導結構上。

在本發明的一個實施例中，當所述激光芯片具有所述脊形波導結構時，所述出射光柵形成于所述激光芯片內。

在本發明的一個實施例中，所述耦合光柵與所述出射光柵并排設置。

在本發明的一個實施例中，所述激光芯片具有臺面結構。

在本發明的一個實施例中，當所述激光芯片具有臺面結構時，出射光柵形成于所述臺面結構上。

在本發明的一個實施例中，所述出射光柵的間距周期為0.1μm-10μm。

本發明還提供了一種激光裝置的制備方法，其包括：

制備激光芯片，在所述激光芯片上形成出光區域；

在所述出光區域形成出射光柵，用于調整入射光波的出射角度。

本發明還提供了一種電子設備，其包括：

殼體，其上設有一敞口；

透光屏，其安裝在所述殼體的敞口上，與所述殼體形成一容納腔；

多個激光裝置，設置在所述容納腔內且并排放置，每個所述激光裝置上設有開關，每個所述激光裝置包括：

激光芯片，其上設有出光區域，所述出光區域面向所述透光屏；

耦合光柵，其設置在所述激光芯片上，且位于所述出光區域的至少一側；

出射光柵，其設置在所述出光區域中，用于調整出射光線的出射角度；