[發明專利]一種用于涂膠顯影設備的廢液收集系統

在審

• 申請號: 202010158378.X
• 申請日: 2020-03-09
• 公開（公告）號: CN111208715A
• 公開（公告）日: 2020-05-29
• 發明（設計）人: 鐘敏
• 申請（專利權）人: 上海圖雙精密裝備有限公司
• 主分類號: G03F7/30
• 分類號: G03F7/30
• 代理公司: 上海匯齊專利代理事務所(普通合伙) 31364
• 代理人: 朱明福

本發明公開了一種用于涂膠顯影設備的廢液收集系統，包括：廢液收集箱、儲液柜；廢液收集箱頂部設有第一進液口，廢液收集箱下部設有第一出液口，廢液收集箱外壁上設有第一液位計；儲液柜內固定連接水平隔板，水平隔板將儲液柜分隔為第一隔層、第二隔層；第二隔層內設有儲液箱，儲液箱外壁上設有第二液位計；儲液箱的下部設有第二出液口，第二出液口處設有閥門；儲液箱頂部設有第二進液口，第二進液口通過第一管道連通有氣動泵，氣動泵通過第二管道與第一出液口連通；第一隔層內設有控制裝置，控制裝置分別與第一液位計、第二液位計、氣動泵電連接，控制裝置還電連接有液位警報裝置。本發明能夠及時提示工作人員對廢液進行處理。

技術領域

本發明涉及廢液收集裝置領域，尤其涉及一種用于涂膠顯影設備的廢液收集系統。

背景技術

目前，半導體設備的廢液收集與排放分為人工參與收集以及系統自動收集。人工收集時，由于設備運作時產生的廢液不集中，處理繁雜，且廢液有較強的腐蝕性、黏著性，人工進行收集很大難度。另一方面，現有的設備具有自動收集系統但也只是籠統的將廢液收集，在廢液存儲到一定程度時不能及時提示工作人員進行處理。

發明內容

為了解決上述背景技術中所提到的問題，本發明提供了一種用于涂膠顯影設備的廢液收集系統，能夠收集涂膠顯影設備的廢液，且能夠及時提示工作人員對廢液進行處理。

一種用于涂膠顯影設備的廢液收集系統，包括：廢液收集箱、儲液柜；

所述廢液收集箱頂部設有第一進液口，所述廢液收集箱下部設有第一出液口，所述廢液收集箱外壁上設有第一液位計；

所述儲液柜內固定連接有水平隔板，所述水平隔板將儲液柜分隔為第一隔層、第二隔層，所述第二隔層位于第一隔層下方；

所述第二隔層內設有儲液箱，所述儲液箱外壁上設有第二液位計；所述儲液箱的下部設有第二出液口，所述第二出液口處設有閥門；所述儲液箱頂部設有第二進液口，所述第二進液口通過第一管道連通有氣動泵，所述氣動泵通過第二管道與第一出液口連通；

所述第一隔層內設有控制裝置，所述控制裝置分別與第一液位計、第二液位計、氣動泵電連接，所述控制裝置還電連接有液位警報裝置，所述液位警報裝置設在儲液柜的外壁上。

進一步地，所述第二隔層兩側內壁上均設有滑軌，所述儲液箱兩側外壁上設有與滑軌相配合的第一滑槽。

進一步地，所述第二隔層底部開口，所述儲液箱底部設有若干個滾輪。

進一步地，所述廢液收集箱底部固定連接有開口朝上的托盤，所述托盤的底部內壁上固定連接有漏液傳感器，所述漏液傳感器與控制裝置電連接，所述控制裝置電連接有漏液警報裝置，所述漏液警報裝置設在儲液柜的外壁上。

進一步地，所述液位警報裝置、漏液警報裝置均為警報燈。

進一步地，所述水平隔板上固定連接有氣缸，所述氣缸與控制裝置電連接，所述控制裝置電連接有調節按鈕，所述調節按鈕設在儲液柜的外壁上；

所述第一管道包括硬管、軟管，所述軟管的兩端分別與氣動泵、硬管連通，所述硬管外部固定套接有固定環，所述固定環通過第一連接桿與氣缸的伸縮桿頂部連接；所述硬管的出口端活動貫穿水平隔板伸入到第二隔層內部，所述硬管在氣缸的驅動下穿過第二進液口伸入到儲液箱內或上升至儲液箱的上方。

進一步地，所述固定環遠離氣缸的一側設有限位板，所述限位板固定連接在水平隔板上，所述限位板與固定環相對的一側設有第二滑槽，所述固定環通過第二連接桿連接有滑塊，所述滑塊與第二滑槽滑動配合。

進一步地，所述控制裝置為PLC控制器。

進一步地，所述儲液箱的前側外壁上固定連接有把手。