[發(fā)明專利]一種用于涂膠顯影設(shè)備的廢液收集系統(tǒng)

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• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202010158378.X
• 申請(qǐng)日: 2020-03-09
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN111208715A
• 公開(kāi)（公告）日: 2020-05-29
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 鐘敏
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 上海圖雙精密裝備有限公司
• 主分類號(hào): G03F7/30
• 分類號(hào): G03F7/30
• 代理公司: 上海匯齊專利代理事務(wù)所(普通合伙) 31364
• 代理人: 朱明福

1.一種用于涂膠顯影設(shè)備的廢液收集系統(tǒng)，其特征在于，包括：廢液收集箱、儲(chǔ)液柜；

所述廢液收集箱頂部設(shè)有第一進(jìn)液口，所述廢液收集箱下部設(shè)有第一出液口，所述廢液收集箱外壁上設(shè)有第一液位計(jì)；

所述儲(chǔ)液柜內(nèi)固定連接有水平隔板，所述水平隔板將儲(chǔ)液柜分隔為第一隔層、第二隔層，所述第二隔層位于第一隔層下方；

所述第二隔層內(nèi)設(shè)有儲(chǔ)液箱，所述儲(chǔ)液箱外壁上設(shè)有第二液位計(jì)；所述儲(chǔ)液箱的下部設(shè)有第二出液口，所述第二出液口處設(shè)有閥門；所述儲(chǔ)液箱頂部設(shè)有第二進(jìn)液口，所述第二進(jìn)液口通過(guò)第一管道連通有氣動(dòng)泵，所述氣動(dòng)泵通過(guò)第二管道與第一出液口連通；

所述第一隔層內(nèi)設(shè)有控制裝置，所述控制裝置分別與第一液位計(jì)、第二液位計(jì)、氣動(dòng)泵電連接，所述控制裝置還電連接有液位警報(bào)裝置，所述液位警報(bào)裝置設(shè)在儲(chǔ)液柜的外壁上。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于涂膠顯影設(shè)備的廢液收集系統(tǒng)，其特征在于，所述第二隔層兩側(cè)內(nèi)壁上均設(shè)有滑軌，所述儲(chǔ)液箱兩側(cè)外壁上設(shè)有與滑軌相配合的第一滑槽。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的用于涂膠顯影設(shè)備的廢液收集系統(tǒng)，其特征在于，所述第二隔層底部開(kāi)口，所述儲(chǔ)液箱底部設(shè)有若干個(gè)滾輪。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于涂膠顯影設(shè)備的廢液收集系統(tǒng)，其特征在于，所述廢液收集箱底部固定連接有開(kāi)口朝上的托盤，所述托盤的底部?jī)?nèi)壁上固定連接有漏液傳感器，所述漏液傳感器與控制裝置電連接，所述控制裝置電連接有漏液警報(bào)裝置，所述漏液警報(bào)裝置設(shè)在儲(chǔ)液柜的外壁上。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的用于涂膠顯影設(shè)備的廢液收集系統(tǒng)，其特征在于，所述液位警報(bào)裝置、漏液警報(bào)裝置均為警報(bào)燈。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于涂膠顯影設(shè)備的廢液收集系統(tǒng)，其特征在于，所述水平隔板上固定連接有氣缸，所述氣缸與控制裝置電連接，所述控制裝置電連接有調(diào)節(jié)按鈕，所述調(diào)節(jié)按鈕設(shè)在儲(chǔ)液柜的外壁上；

所述第一管道包括硬管、軟管，所述軟管的兩端分別與氣動(dòng)泵、硬管連通，所述硬管外部固定套接有固定環(huán)，所述固定環(huán)通過(guò)第一連接桿與氣缸的伸縮桿頂部連接；所述硬管的出口端活動(dòng)貫穿水平隔板伸入到第二隔層內(nèi)部，所述硬管在氣缸的驅(qū)動(dòng)下穿過(guò)第二進(jìn)液口伸入到儲(chǔ)液箱內(nèi)或上升至儲(chǔ)液箱的上方。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的用于涂膠顯影設(shè)備的廢液收集系統(tǒng)，其特征在于，所述固定環(huán)遠(yuǎn)離氣缸的一側(cè)設(shè)有限位板，所述限位板固定連接在水平隔板上，所述限位板與固定環(huán)相對(duì)的一側(cè)設(shè)有第二滑槽，所述固定環(huán)通過(guò)第二連接桿連接有滑塊，所述滑塊與第二滑槽滑動(dòng)配合。

8.根據(jù)權(quán)利要求1-7任一所述的用于涂膠顯影設(shè)備的廢液收集系統(tǒng)，其特征在于，所述控制裝置為PLC控制器。

9.根據(jù)權(quán)利要求1-7任一所述的用于涂膠顯影設(shè)備的廢液收集系統(tǒng)，其特征在于，所述儲(chǔ)液箱的前側(cè)外壁上固定連接有把手。

10.根據(jù)權(quán)利要求6任一所述的用于涂膠顯影設(shè)備的廢液收集系統(tǒng)，其特征在于，所述水平隔板上設(shè)有第一通孔，所述第一通孔用于穿過(guò)軟管，所述儲(chǔ)液柜側(cè)壁上設(shè)有第二通孔，所述第二通孔用于穿過(guò)第二管道。