[發(fā)明專利]圖像匹配方法、計算機(jī)裝置及可讀存儲介質(zhì)

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 202010157945.X
• 申請日: 2020-03-09
• 公開（公告）號: CN113450299A
• 公開（公告）日: 2021-09-28
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 陳魯;李艷波;黃有為;佟異;張嵩
• 申請（專利權(quán)）人: 深圳中科飛測科技股份有限公司
• 主分類號: G06T7/00
• 分類號: G06T7/00;G06T7/33;G06K9/32;G06K9/46;G06K9/62
• 代理公司: 深圳市賽恩倍吉知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 44334
• 代理人: 劉麗華;徐麗

本發(fā)明提供一種圖像匹配方法，包括獲取樣品的標(biāo)準(zhǔn)模板圖和所述樣品的測試圖，所述標(biāo)準(zhǔn)模板圖包括模板單位圖，所述測試圖包括測試單位圖；獲取所述標(biāo)準(zhǔn)模板圖的標(biāo)準(zhǔn)輪廓圖，所述標(biāo)準(zhǔn)輪廓圖標(biāo)記出所述模板單位圖的邊界輪廓；獲取所述測試圖的測試輪廓圖，所述標(biāo)準(zhǔn)輪廓圖標(biāo)記出所述測試單位圖的邊界輪廓；基于所述標(biāo)準(zhǔn)輪廓圖以及所述測試輪廓圖獲取所述標(biāo)準(zhǔn)模板圖和測試圖之間的偏差信息。本發(fā)明可以基于圖像的輪廓信息實現(xiàn)圖像匹配。本發(fā)明還提供實現(xiàn)所述圖像匹配方法的計算機(jī)裝置及可讀存儲介質(zhì)。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及圖像處理技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種圖像匹配方法、計算機(jī)裝置及可讀存儲介質(zhì)。

背景技術(shù)

在晶圓芯片檢測中，需要對芯片進(jìn)行精確定位，現(xiàn)在多采用模板匹配進(jìn)行定位。然而，由于色差等原因，經(jīng)常會遇到匹配不準(zhǔn)確的問題。此外，還存在不能求取旋轉(zhuǎn)角問題。諸多問題導(dǎo)致檢測速度達(dá)不到要求。

發(fā)明內(nèi)容

鑒于以上內(nèi)容，有必要提出一種圖像匹配方法、計算機(jī)裝置及可讀存儲介質(zhì)，可以基于輪廓信息的特征匹配，解決色差帶來的匹配不準(zhǔn)確，旋轉(zhuǎn)角不能求取的問題。

本發(fā)明第一方面提供一種圖像匹配方法，包括：獲取樣品的標(biāo)準(zhǔn)模板圖和所述樣品的測試圖，所述標(biāo)準(zhǔn)模板圖包括模板單位圖，所述測試圖包括測試單位圖；獲取所述標(biāo)準(zhǔn)模板圖的標(biāo)準(zhǔn)輪廓圖，所述標(biāo)準(zhǔn)輪廓圖標(biāo)記出所述模板單位圖的邊界輪廓；獲取所述測試圖的測試輪廓圖，所述標(biāo)準(zhǔn)輪廓圖標(biāo)記出所述測試單位圖的邊界輪廓；基于所述標(biāo)準(zhǔn)輪廓圖以及所述測試輪廓圖獲取所述標(biāo)準(zhǔn)模板圖和測試圖之間的偏差信息。

優(yōu)選地，所述偏差信息包括所述標(biāo)準(zhǔn)模板圖和測試圖之間的旋轉(zhuǎn)角度，其中，獲取所述標(biāo)準(zhǔn)模板圖和測試圖之間的偏差信息包括：獲取所述標(biāo)準(zhǔn)模板圖和測試圖之間的旋轉(zhuǎn)角度。

優(yōu)選地，所述偏差信息包括所述標(biāo)準(zhǔn)模板圖和測試圖之間的偏移量，其中，獲取所述標(biāo)準(zhǔn)模板圖和測試圖之間的偏差信息包括：獲取所述標(biāo)準(zhǔn)模板圖和測試圖之間的偏移量；獲取所述標(biāo)準(zhǔn)模板圖和測試圖之間的偏移量之前，獲取所述標(biāo)準(zhǔn)模板圖和測試圖之間的偏差信息的步驟還包括：根據(jù)所述標(biāo)準(zhǔn)輪廓圖以及所述測試輪廓圖獲取所述標(biāo)準(zhǔn)模板圖和測試圖之間的旋轉(zhuǎn)角度；基于所述旋轉(zhuǎn)角度對所述測試輪廓圖和/或所述標(biāo)準(zhǔn)輪廓圖進(jìn)行旋轉(zhuǎn)，減小所述測試輪廓圖和標(biāo)準(zhǔn)輪廓圖之間的角度偏差；獲取所述標(biāo)準(zhǔn)模板圖和測試圖之間的偏移量包括：根據(jù)旋轉(zhuǎn)之后的所述測試輪廓圖和標(biāo)準(zhǔn)輪廓圖，獲取所述標(biāo)準(zhǔn)模板圖和測試圖之間的偏移量。

優(yōu)選地，獲取所述標(biāo)準(zhǔn)模板圖和測試圖之間的旋轉(zhuǎn)角度包括：以所述標(biāo)準(zhǔn)輪廓圖所在的平面建立第一極坐標(biāo)系，其中，以所述標(biāo)準(zhǔn)輪廓圖的中心作為所述第一極坐標(biāo)系的極點o，將自第一極坐標(biāo)系o點發(fā)出的一條射線作為第一極坐標(biāo)系的極軸；從所述極點o向所述標(biāo)準(zhǔn)輪廓圖的邊緣拋出多根第一射線；獲取每根第一射線在所述標(biāo)準(zhǔn)輪廓圖的所述模板單位圖的邊界輪廓所占的像素點總數(shù)；獲取每根第一射線的像素點總數(shù)與該每根第一射線在第一極坐標(biāo)系中的角度值之間的第一對應(yīng)關(guān)系；以所述測試輪廓圖所在的平面建立第二極坐標(biāo)系，其中，以所述測試輪廓圖的中心作為所述第二極坐標(biāo)系的極點o’，將自第二極坐標(biāo)系的極點o’發(fā)出的一條射線作為第二極坐標(biāo)系的極軸，所述第一極坐標(biāo)系的極軸與第二極坐標(biāo)系的極軸之間的夾角為預(yù)設(shè)值；從所述極點o’向所述測試輪廓圖的邊緣拋出多根第二射線；獲取每根第二射線在所述測試輪廓圖的所述測試單位圖的邊界輪廓所占的像素點總數(shù)，獲取每根第二射線的像素點總數(shù)與該每根第二射線在第二極坐標(biāo)系中的角度值之間的第二對應(yīng)關(guān)系；基于所述第一對應(yīng)關(guān)系和所述第二對應(yīng)關(guān)系獲取所述標(biāo)準(zhǔn)模板圖和測試圖之間的旋轉(zhuǎn)角度。

優(yōu)選地，基于所述第一對應(yīng)關(guān)系和所述第二對應(yīng)關(guān)系獲取所述標(biāo)準(zhǔn)模板圖和測試圖之間的旋轉(zhuǎn)角度包括：通過所述預(yù)定的夾角對第一對應(yīng)關(guān)系和第二對應(yīng)關(guān)系進(jìn)行補(bǔ)償處理，將第一對應(yīng)關(guān)系和第二對應(yīng)關(guān)系統(tǒng)一至同一角度標(biāo)準(zhǔn)下；所述補(bǔ)償處理之后，分別對所述第一對應(yīng)關(guān)系和第二對應(yīng)關(guān)系進(jìn)行模擬，獲取同一坐標(biāo)系下第一曲線和第二曲線；根據(jù)所述第一曲線和第二曲線的角度偏差，獲取所述旋轉(zhuǎn)角。