[發(fā)明專利]PECVD射頻饋入電極系統(tǒng)及PECVD裝置

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 202010157431.4
• 申請日: 2020-03-09
• 公開（公告）號: CN111218674A
• 公開（公告）日: 2020-06-02
• 發(fā)明（設計）人: 鄧必龍;鄭利勇
• 申請（專利權）人: 龍鱗（深圳）新材料科技有限公司
• 主分類號: C23C16/505
• 分類號: C23C16/505
• 代理公司: 北京品源專利代理有限公司 11332
• 代理人: 胡彬;潘登

本發(fā)明涉及化學氣相沉積技術領域，具體公開了一種PECVD射頻饋入電極系統(tǒng)及PECVD裝置，該PECVD射頻饋入電極系統(tǒng)包括射頻電極片、第一電極、第二電極和兩個通斷控制組件，第一電極與第二電極的沿延伸方向呈夾角設置；通斷控制組件包括靜觸端、動觸端和驅動件，兩個靜觸端均與射頻電極片連接，且兩個動觸端分別與第一電極和第二電極連接，驅動件驅動動觸端在第一位置和第二位置之間切換，可實現(xiàn)動觸端與靜觸端連接或分離，因此通過對兩個通斷控制組件的動觸端與靜觸端進行控制，無需拆裝，即可使射頻電極片與不同延伸方向第一電極或第二電極的單獨連通，可有效提高工作效率。

技術領域

本發(fā)明涉及化學氣相沉積技術領域，尤其涉及一種PECVD射頻饋入電極系統(tǒng)。

背景技術

目前PECVD(Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition，等離子體增強化學氣相沉積)射頻饋入電極系統(tǒng)采用的工作電極的延伸方向通常為同一方向，較為常見的是處為水平方向或垂直方向。如若需要使PECVD射頻饋入電極系統(tǒng)的工作電極在不同角度之間切換，需要將當前的工作電極拆卸，并更換為相應的的另一工作電極，步驟比較繁瑣，且生產(chǎn)效率低下。

發(fā)明內容

本發(fā)明的目的在于：提供一種PECVD射頻饋入電極系統(tǒng)及PECVD裝置，以解決相關技術中的PECVD射頻饋入電極系統(tǒng)的工作電極在不同角度之間切換時拆裝步驟繁瑣，且效率低下的問題。

一方面，本發(fā)明提供一種PECVD射頻饋入電極系統(tǒng)，該PECVD射頻饋入電極系統(tǒng)包括射頻電極片、第一電極、第二電極和兩個通斷控制組件，所述第一電極的延伸方向與所述第二電極的延伸方向呈夾角設置；

所述通斷控制組件包括靜觸端、動觸端和驅動件，兩個所述靜觸端均與所述射頻電極片連接，且兩個所述動觸端分別與所述第一電極和所述第二電極連接，或者兩個所述動觸端均能與所述射頻電極片連接，且兩個所述靜觸端分別與所述第一電極和第二電極連接；

所述動觸端具有第一位置和第二位置，所述驅動件與所述動觸端連接，以驅動所述動觸端在所述第一位置和所述第二位置之間切換，當所述動觸端位于所述第一位置時，所述動觸端與所述靜觸端連接，當所述動觸端位于所述第二位置時，所述動觸端與所述靜觸端分離。

作為PECVD射頻饋入電極系統(tǒng)的優(yōu)選技術方案，所述通斷控制組件還包括與所述靜觸端連接的饋入電極，兩個所述饋入電極分別與所述第一電極和所述第二電極連接，兩個所述動觸端均與所述射頻電極片連接。

作為PECVD射頻饋入電極系統(tǒng)的優(yōu)選技術方案，所述PECVD射頻饋入電極系統(tǒng)還包括絕緣材質制成的底座，各個所述饋入電極均固定于所述底座。

作為PECVD射頻饋入電極系統(tǒng)的優(yōu)選技術方案，所述動觸端與所述靜觸端面接觸。

作為PECVD射頻饋入電極系統(tǒng)的優(yōu)選技術方案，所述動觸端和所述靜觸端中的一個包括插片，另一個包括插槽，當所述動觸端位于所述第一位置時，所述插片與所述插槽插接，且所述插片與所述插槽的槽壁貼合。

作為PECVD射頻饋入電極系統(tǒng)的優(yōu)選技術方案，所述插槽由間隔且相對設置的兩個彈性片形成，當所述動觸端位于所述第一位置時，兩個所述彈性片均能夠抵緊所述插片。

作為PECVD射頻饋入電極系統(tǒng)的優(yōu)選技術方案，所述彈性片包括支撐片，以及連接于所述支撐片的弧形片，兩個所述彈性片的所述弧形片之間形成所述插槽，當所述動觸端位于所述第一位置時，兩個所述弧形片均能夠抵緊所述插片。

作為PECVD射頻饋入電極系統(tǒng)的優(yōu)選技術方案，兩個所述動觸端均能與所述射頻電極片連接，且兩個所述靜觸端分別與所述第一電極和第二電極連接，所述通斷控制組件還包括彈性連接件，所述彈性連接件分別與所述動觸端連接和所述射頻電極片連接。