[發明專利]PECVD射頻饋入電極系統及PECVD裝置

在審

• 申請號: 202010157431.4
• 申請日: 2020-03-09
• 公開（公告）號: CN111218674A
• 公開（公告）日: 2020-06-02
• 發明（設計）人: 鄧必龍;鄭利勇
• 申請（專利權）人: 龍鱗（深圳）新材料科技有限公司
• 主分類號: C23C16/505
• 分類號: C23C16/505
• 代理公司: 北京品源專利代理有限公司 11332
• 代理人: 胡彬;潘登

1.一種PECVD射頻饋入電極系統，其特征在于，包括射頻電極片(4)、第一電極、第二電極和兩個通斷控制組件，所述第一電極的延伸方向與所述第二電極的延伸方向呈夾角設置；

所述通斷控制組件包括靜觸端(1)、動觸端(2)和驅動件，兩個所述靜觸端(1)均與所述射頻電極片(4)連接，且兩個所述動觸端(2)分別與所述第一電極和所述第二電極連接，或者兩個所述動觸端(2)均能與所述射頻電極片(4)連接，且兩個所述靜觸端(1)分別與所述第一電極和第二電極連接；

所述動觸端(2)具有第一位置和第二位置，所述驅動件與所述動觸端(2)連接，以驅動所述動觸端(2)在所述第一位置和所述第二位置之間切換，當所述動觸端(2)位于所述第一位置時，所述動觸端(2)與所述靜觸端(1)連接，當所述動觸端(2)位于所述第二位置時，所述動觸端(2)與所述靜觸端(1)分離。

2.根據權利要求1所述的PECVD射頻饋入電極系統，其特征在于，所述通斷控制組件還包括與所述靜觸端(1)連接的饋入電極(5)，兩個所述饋入電極(5)分別與所述第一電極和所述第二電極連接，兩個所述動觸端(2)均與所述射頻電極片(4)連接。

3.根據權利要求2所述的PECVD射頻饋入電極系統，其特征在于，所述PECVD射頻饋入電極系統還包括絕緣材質制成的底座(8)，各個所述饋入電極(5)均固定于所述底座(8)。

4.根據權利要求1所述的PECVD射頻饋入電極系統，其特征在于，所述動觸端(2)與所述靜觸端(1)面接觸。

5.根據權利要求1所述的PECVD射頻饋入電極系統，其特征在于，所述動觸端(2)和所述靜觸端(1)中的一個包括插片(21)，另一個包括插槽(13)，當所述動觸端(2)位于所述第一位置時，所述插片(21)與所述插槽(13)插接，且所述插片(21)與所述插槽(13)的槽壁貼合。

6.根據權利要求5所述的PECVD射頻饋入電極系統，其特征在于，所述插槽(13)由間隔且相對設置的兩個彈性片(12)形成，當所述動觸端(2)位于所述第一位置時，兩個所述彈性片(12)均能夠抵緊所述插片(21)。

7.根據權利要求6所述的PECVD射頻饋入電極系統，其特征在于，所述彈性片(12)包括支撐片(121)，以及連接于所述支撐片(121)的弧形片(122)，兩個所述彈性片(12)的所述弧形片(122)之間形成所述插槽(13)，當所述動觸端(2)位于所述第一位置時，兩個所述弧形片(122)均能夠抵緊所述插片(21)。

8.根據權利要求1所述的PECVD射頻饋入電極系統，其特征在于，兩個所述動觸端(2)均能與所述射頻電極片(4)連接，且兩個所述靜觸端(1)分別與所述第一電極和第二電極連接，所述通斷控制組件還包括彈性連接件(6)，所述彈性連接件(6)分別與所述動觸端(2)連接和所述射頻電極片(4)連接。

9.根據權利要求8所述的PECVD射頻饋入電極系統，其特征在于，所述彈性連接件(6)呈幾字形且由金屬片折彎而成，所述彈性連接件(6)的兩個自由端中的一個與所述射頻電極片(4)，另一個與對應的所述動觸端(2)連接。

10.一種PECVD裝置，其特征在于，包括權利要求1-9任一項所述的PECVD射頻饋入電極系統。