[發明專利]光刻機運動軌跡規劃方法、裝置、計算機設備和存儲介質

有效

• 申請號: 202010152302.6
• 申請日: 2020-03-06
• 公開（公告）號: CN111474825B
• 公開（公告）日: 2023-04-04
• 發明（設計）人: 賈松濤;李猛
• 申請（專利權）人: 固高科技股份有限公司
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20
• 代理公司: 華進聯合專利商標代理有限公司 44224
• 代理人: 方高明

1.一種光刻機運動軌跡規劃方法，其特征在于，所述方法包括：

獲取預設運動軌跡的預設規劃值和約束條件；

根據所述預設規劃值和三階掃描運動軌跡輪廓，確定所述預設運動軌跡中加加速度的初始時長；所述三階掃描階段軌跡輪廓包括加加速運動階段、勻加速運動階段、減加速運動階段和勻速運動階段；

根據所述約束條件，使用梯度下降法對所述初始時長進行處理，得到所述預設運動軌跡中加加速度的目標時長；

根據所述目標時長和所述三階掃描運動軌跡輪廓中加加速度與時間的初始函數關系，確定所述加加速度與時間的目標函數關系式；

通過計算所述目標函數關系式的三重積分，確定所述預設運動軌跡的位移隨時間變化的曲線。

2.根據權利要求1所述的方法，其特征在于，所述預設規劃值包括所述預設運動軌跡的最大加加速度、最大加速度、初始速度、最大速度和目標位移。

3.根據權利要求1所述的方法，其特征在于，所述約束條件包括所述預設運動軌跡對應的最大加加速度約束、勻速段加速度約束、勻速段速度約束、位移約束和振動約束。

4.根據權利要求3所述的方法，其特征在于，

所述最大加加速度約束為所述加加速運動階段的加加速度的絕對值和所述減加速運動階段的加加速度的絕對值小于或等于最大加加速度。

5.根據權利要求2所述的方法，其特征在于，在所述根據所述預設規劃值和三階掃描運動軌跡輪廓，確定所述預設運動軌跡中加加速度的初始時長之前，所述方法還包括：

檢測所述最大速度與所述最大加加速度的乘積值是否大于所述最大加速度的平方值；

當所述最大速度與所述最大加加速度的乘積值大于所述最大加速度的平方值時，所述根據所述預設規劃值和三階掃描運動軌跡輪廓，確定所述預設運動軌跡中加加速度的初始時長，包括：

根據所述最大速度、所述最大加加速度、所述最大加速度和三階掃描運動軌跡輪廓，確定所述預設運動軌跡中加加速度的初始時長；

當所述最大速度與所述最大加加速度的乘積值小于或等于所述最大加速度的平方值時，所述根據所述預設規劃值和三階掃描運動軌跡輪廓，確定所述預設運動軌跡中加加速度的初始時長，包括：

根據所述最大加速度、所述最大加加速度和三階掃描運動軌跡輪廓，確定所述預設運動軌跡中加加速度轉折點的初始時長。

6.根據權利要求5所述的方法，其特征在于，所述根據所述最大速度、所述最大加加速度、所述最大加速度和三階掃描運動軌跡輪廓，確定所述預設運動軌跡中加加速度對應的初始時長，包括：

根據所述最大速度、所述最大加加速度、所述最大加速度和三階掃描運動軌跡輪廓，確定所述預設運動軌跡中加加速運動階段和減加速運動階段的加加速度的初始時長為所述最大加速度與所述最大加加速度的比值；所述預設運動軌跡中勻加速運動階段的加加速度的初始時長為所述最大速度與所述最大加速度之間的比值差，所述預設運動軌跡中勻速運動階段的加加速度的初始時長為零。

7.根據權利要求5所述的方法，其特征在于，所述根據所述最大加速度、所述最大加加速度和三階掃描運動軌跡輪廓，確定所述預設運動軌跡中加加速度的初始時長，包括：

根據所述最大加加速度、所述最大加速度和三階掃描運動軌跡輪廓，確定所述預設運動軌跡中加加速運動階段和減加速運動階段的加加速度的初始時長為所述最大速度與所述最大加加速度的平方根；所述預設運動軌跡中勻加速運動階段和勻速運動階段的加加速度的初始時長為零。