[發(fā)明專利]基板貼合裝置、制造系統(tǒng)及半導(dǎo)體裝置的制造方法

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 202010151876.1
• 申請日: 2020-03-06
• 公開（公告）號: CN112447552A
• 公開（公告）日: 2021-03-05
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 川田原奨
• 申請（專利權(quán)）人: 鎧俠股份有限公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67;H01L21/68;H01L21/683
• 代理公司: 北京律盟知識產(chǎn)權(quán)代理有限責(zé)任公司 11287
• 代理人: 張世俊

1.一種基板貼合裝置，具備：

第1吸附臺，吸附第1基板；

第2吸附臺，與所述第1基板對向配置，吸附第2基板；以及

對準(zhǔn)部，可插入所述第1吸附臺與所述第2吸附臺之間；且

所述對準(zhǔn)部具有：

基座部，具有第1主面及所述第1主面的相反側(cè)的第2主面；

第1檢測元件，配置在所述第1主面；以及

第2檢測元件，配置在所述第2主面。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基板貼合裝置，其中

所述對準(zhǔn)部構(gòu)成為所述第1檢測元件及所述第2檢測元件可相互獨(dú)立地移動。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的基板貼合裝置，還具備：

控制器，將所述第1檢測元件的第1光軸與所述第2檢測元件的第2光軸對準(zhǔn)，并于存在所述第1光軸及所述第2光軸的狀態(tài)下，將所述對準(zhǔn)部插入所述第1吸附臺與所述第2吸附臺之間。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的基板貼合裝置，其中

所述對準(zhǔn)部在插入所述第1吸附臺與所述第2吸附臺之間的狀態(tài)下，通過所述第1檢測元件獲得所述第1基板的圖像，通過所述第2檢測元件獲得所述第2基板的圖像，

所述控制器根據(jù)所述獲得的所述第1基板的圖像及所述第2基板的圖像，來修正所述第1基板與所述第2基板的位置偏移，以此方式控制所述第1吸附臺及所述第2吸附臺。

5.根據(jù)權(quán)利要求2所述的基板貼合裝置，其中

所述對準(zhǔn)部還具有：

第1驅(qū)動機(jī)構(gòu)，可沿著所述第1主面移動所述第1檢測元件；以及

第2驅(qū)動機(jī)構(gòu)，可沿著所述第2主面移動所述第2檢測元件；

所述基板貼合裝置還具有：

第1校準(zhǔn)臺，相對于所述基座部配置在所述第1主面?zhèn)龋野?基準(zhǔn)標(biāo)記；以及

第2校準(zhǔn)臺，相對于所述基座部配置在所述第2主面?zhèn)?，且包含?基準(zhǔn)標(biāo)記。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的基板貼合裝置，其中

所述對準(zhǔn)部還具有：

第1軌道，在所述第1主面?zhèn)冗B接在所述基座部，且可供所述第1檢測元件滑動；以及

第2軌道，在所述第2主面?zhèn)冗B接在所述基座部，且可供所述第2檢測元件滑動；

所述第1驅(qū)動機(jī)構(gòu)使所述第1檢測元件沿著所述第1軌道滑動，

所述第2驅(qū)動機(jī)構(gòu)使所述第2檢測元件沿著所述第2軌道滑動。

7.根據(jù)權(quán)利要求5所述的基板貼合裝置，還具備：

控制器，以如下方式控制所述第1驅(qū)動機(jī)構(gòu)及所述第2驅(qū)動機(jī)構(gòu)：在所述對準(zhǔn)部位于所述第1校準(zhǔn)臺及所述第2校準(zhǔn)臺之間的校準(zhǔn)執(zhí)行位置的狀態(tài)下，將所述第1檢測元件的第1光軸對準(zhǔn)所述第1基準(zhǔn)標(biāo)記，將所述第2檢測元件的第2光軸對準(zhǔn)所述第2基準(zhǔn)標(biāo)記。

8.根據(jù)權(quán)利要求5所述的基板貼合裝置，還具備：

引導(dǎo)部，引導(dǎo)所述對準(zhǔn)部在所述第1校準(zhǔn)臺及所述第2校準(zhǔn)臺之間的校準(zhǔn)執(zhí)行位置、與所述第1吸附臺及所述第2吸附臺之間的對準(zhǔn)執(zhí)行位置之間移動。

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的基板貼合裝置，其中

所述引導(dǎo)部在所述對準(zhǔn)部位于所述校準(zhǔn)執(zhí)行位置時，可將所述對準(zhǔn)部翻轉(zhuǎn)。

10.根據(jù)權(quán)利要求8所述的基板貼合裝置，其中

所述引導(dǎo)部具有：

第1導(dǎo)軌，從所述校準(zhǔn)執(zhí)行位置延伸至所述對準(zhǔn)執(zhí)行位置；

支撐臂，支撐所述基座部，可沿著所述第1導(dǎo)軌滑動；

第3驅(qū)動機(jī)構(gòu)，使所述基座部沿著所述支撐臂滑動；以及

第4驅(qū)動機(jī)構(gòu)，使所述支撐臂沿著所述第1導(dǎo)軌滑動。

11.根據(jù)權(quán)利要求10所述的基板貼合裝置，其中

所述第3驅(qū)動機(jī)構(gòu)使所述基座部繞所述支撐臂的軸旋轉(zhuǎn)。