[發(fā)明專利]一種LIGA技術(shù)的埋絲光刻膠片及其制備方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202010150760.6
• 申請(qǐng)日: 2020-03-06
• 公開（公告）號(hào): CN111430872B
• 公開（公告）日: 2021-01-01
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 伊福廷;劉靜;張?zhí)鞗_;王波
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 中國(guó)科學(xué)院高能物理研究所
• 主分類號(hào): H01P11/00
• 分類號(hào): H01P11/00;H01P3/10
• 代理公司: 北京君尚知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11200
• 代理人: 司立彬

本發(fā)明公開了一種LIGA技術(shù)的埋絲光刻膠片及其制備方法，其步驟包括：1)選取兩片PMMA光刻膠片和一有機(jī)絲；2)將該有機(jī)絲放在兩片PMMA光刻膠片之間；3)將兩所述PMMA光刻膠片相對(duì)的兩面融合在一起包裹該有機(jī)絲，得到埋絲光刻膠片。本發(fā)明提供了一種全新的埋絲方法，與傳統(tǒng)埋絲方法截然不同，而且埋絲位置易于調(diào)控且效率高，埋絲光刻膠片的成品率高。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及一種光刻膠制備方法，尤其涉及一種LIGA技術(shù)的埋絲光刻膠片及其制備方法。

背景技術(shù)

LIGA技術(shù)是德國(guó)人發(fā)明的，該技術(shù)包括同步輻射X射線光刻、電鑄和塑鑄三個(gè)主要工藝環(huán)節(jié)。同步輻射X射線光刻獲得光刻膠的塑料結(jié)構(gòu)，然后利用電鑄技術(shù)將這一光刻膠的塑料結(jié)構(gòu)轉(zhuǎn)換成所需要的最終金屬結(jié)構(gòu)元件，或者電鑄成金屬注塑模具，塑鑄工藝?yán)秒婅T得到的金屬注塑模具進(jìn)行塑料結(jié)構(gòu)元件的制造。PMMA材料是同步輻射X射線光刻技術(shù)最常規(guī)的光刻膠。PMMA光刻膠通常涂在鈦片等基片表面上，凝固后形成所需要厚度的PMMA光刻膠膜。PMMA光刻膠也可以壓制成一定厚度的薄片，即PMMA光刻膠片。這種PMMA光刻膠片是LIGA技術(shù)最常用的曝光襯底，厚度可精確控制、并且厚度均勻，可以從市場(chǎng)上直接購(gòu)買。

在電子微波器件結(jié)構(gòu)中，經(jīng)常需要在微結(jié)構(gòu)中預(yù)留電子通道，因此在電子微波器件微結(jié)構(gòu)的制造的過程中，需要在曝光襯底內(nèi)部預(yù)埋有機(jī)絲結(jié)構(gòu)作為器件的電子通道結(jié)構(gòu)使用。常用的埋絲方法是在硅片表面攤涂液體SU8光刻膠，將絲預(yù)留在SU8光刻膠中，待光刻膠前烘凝固后，制備得到有埋絲的SU8膠襯底，但SU8膠常用在紫外曝光技術(shù)。在LIGA技術(shù)中，對(duì)于PMMA光刻膠片，還未見到相關(guān)的埋絲技術(shù)報(bào)道。

發(fā)明內(nèi)容

針對(duì)如何在聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)光刻膠片中實(shí)現(xiàn)埋絲的問題，本發(fā)明的目的在于提供一種LIGA技術(shù)的埋絲光刻膠片及其制備方法。

本發(fā)明提出了一種利用有機(jī)絲制備LIGA技術(shù)所用的PMMA光刻膠片方法，該方法利用有機(jī)絲埋在PMMA光刻膠片內(nèi)。

本發(fā)明的技術(shù)方案為：

一種LIGA技術(shù)的埋絲光刻膠片制備方法，其步驟包括：

1)選取兩片PMMA光刻膠片和一有機(jī)絲；

2)將該有機(jī)絲放在兩片PMMA光刻膠片之間；

3)將兩所述PMMA光刻膠片相對(duì)的兩面融合在一起包裹該有機(jī)絲，得到埋絲光刻膠片。

進(jìn)一步的，所述有機(jī)絲的直徑為100～800微米；根據(jù)所述有機(jī)絲在埋絲光刻膠片的位置確定所選所述PMMA光刻膠片的厚度。

進(jìn)一步的，所述PMMA光刻膠片的厚度范圍為0.2～2毫米。

進(jìn)一步的，所述有機(jī)絲為有機(jī)魚線。

進(jìn)一步的，將兩所述PMMA光刻膠片相對(duì)的兩面融合在一起包裹該有機(jī)絲的方法為：

31)將步驟2)處理后的有機(jī)絲和PMMA光刻膠片水平放置在加熱設(shè)備內(nèi)；

32)在該有機(jī)絲兩端施加拉力或重物將該有機(jī)絲拉緊并固定在設(shè)定位置；

33)對(duì)所述PMMA光刻膠片施加壓力，使得兩片所述PMMA光刻膠片相對(duì)的兩面接觸緊密；

34)開啟所述加熱設(shè)備進(jìn)行加熱，使兩片所述PMMA光刻膠片相對(duì)的兩面融合在一起包裹該有機(jī)絲。

進(jìn)一步的，對(duì)所述PMMA光刻膠片施加壓力的方法為：在位于上面的PMMA光刻膠片上放上玻璃蓋板，并在玻璃蓋板上放置重物或使用壓力機(jī)，壓強(qiáng)為0.5～10公斤/厘米²。

進(jìn)一步的，所述加熱設(shè)備為為烘箱；將烘箱升溫，溫度在所述PMMA光刻膠片的軟化點(diǎn)附近，溫度范圍110℃～180℃，加熱時(shí)間范圍8～12小時(shí)。