[發明專利]一種LIGA技術的埋絲光刻膠片及其制備方法有效
| 申請號： | 202010150760.6 | 申請日： | 2020-03-06 |
| 公開（公告）號： | CN111430872B | 公開（公告）日： | 2021-01-01 |
| 發明（設計）人： | 伊福廷;劉靜;張天沖;王波 | 申請（專利權）人： | 中國科學院高能物理研究所 |
| 主分類號： | H01P11/00 | 分類號： | H01P11/00;H01P3/10 |
| 代理公司： | 北京君尚知識產權代理有限公司 11200 | 代理人： | 司立彬 |
| 地址： | 100049 *** | 國省代碼： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 liga 技術 絲光 膠片 及其 制備 方法 | ||
1.一種LIGA技術的埋絲光刻膠片制備方法，其步驟包括：
1)選取兩片PMMA光刻膠片和一有機絲；
2)將該有機絲放在兩片PMMA光刻膠片之間；
3)將兩所述PMMA光刻膠片相對的兩面融合在一起包裹該有機絲，得到埋絲光刻膠片。
2.如權利要求1所述的方法，其特征在于，所述有機絲的直徑為100～800微米；根據所述有機絲在埋絲光刻膠片的位置確定所選所述PMMA光刻膠片的厚度。
3.如權利要求2所述的方法，其特征在于，所述PMMA光刻膠片的厚度范圍為0.2～2毫米。
4.如權利要求1或2或3所述的方法，其特征在于，所述有機絲為有機魚線。
5.如權利要求1所述的方法，其特征在于，將兩所述PMMA光刻膠片相對的兩面融合在一起包裹該有機絲的方法為：
31)將步驟2)處理后的有機絲和PMMA光刻膠片水平放置在加熱設備內；
32)在該有機絲兩端施加拉力或重物將該有機絲拉緊并固定在設定位置；
33)對所述PMMA光刻膠片施加壓力，使得兩片所述PMMA光刻膠片相對的兩面接觸緊密；
34)開啟所述加熱設備進行加熱，使兩片所述PMMA光刻膠片相對的兩面融合在一起包裹該有機絲。
6.如權利要求5所述的方法，其特征在于，對所述PMMA光刻膠片施加壓力的方法為：在位于上面的PMMA光刻膠片上放上玻璃蓋板，并在玻璃蓋板上放置重物或使用壓力機，壓強為0.5～10公斤/厘米2。
7.如權利要求5所述的方法，其特征在于，所述加熱設備為烘箱；將烘箱升溫，溫度在所述PMMA光刻膠片的軟化點附近，溫度范圍110℃～180℃，加熱時間范圍8～12小時。
8.一種埋絲光刻膠片，其特征在于，包括兩片PMMA光刻膠片和一有機絲，兩所述PMMA光刻膠片相對的兩面融合在一起包裹該有機絲。
9.如權利要求8所述的埋絲光刻膠片，其特征在于，通過將該有機絲置于兩所述PMMA光刻膠片相對的兩面 之間，然后對兩所述PMMA光刻膠片加壓加熱，使兩所述PMMA光刻膠片相對的兩面融合在一起包裹該有機絲。
10.如權利要求8或9所述的埋絲光刻膠片，其特征在于，所述有機絲的直徑為100～800微米；根據所述有機絲在埋絲光刻膠片的位置確定所選所述PMMA光刻膠片的厚度。
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