[發明專利]一種氣懸浮運輸裝置

在審

• 申請號: 202010143992.9
• 申請日: 2020-03-04
• 公開（公告）號: CN111170013A
• 公開（公告）日: 2020-05-19
• 發明（設計）人: 尉世卓
• 申請（專利權）人: 上海睿范自動化設備有限公司
• 主分類號: B65G54/00
• 分類號: B65G54/00
• 代理公司: 北京盛凡智榮知識產權代理有限公司 11616
• 代理人: 李青

1.一種氣懸浮運輸裝置，其特征在于，包括長條形載板(1)，所述載板(1)的長度方向即為硅片的傳輸方向；所述載板(1)頂面上等間距設置若干個出氣機構，所述載板(1)內部設有向上述出氣機構供氣的供氣管路；

其中，出氣機構包括圓形凹盤(2)，所述凹盤(2)通過一豎直穿過凹盤(2)圓心的側擋板(3)被分為相同構造的兩側，該側擋板(3)與載板(1)的長度方向垂直，所述側擋板(3)頂端水平固定有與凹盤(2)同圓心設置的圓形壓氣板(4)，位于側擋板(3)兩側的所述壓氣板(4)底面均設有內凹的導氣槽(5)，導氣槽頂面(51)為一半圓平面、導氣槽側面(52)為向外傾斜的平直面；

供氣管路包括第一進氣口(6)、第二進氣口(7)，第一進氣口(6)通過第一總管(8)連通有數量對應于出氣機構個數的第一支管(9)，上述各第一支管(9)均分布于側擋板(3)同一側的凹盤(2)下方；第二進氣口(7)通過第二總管(10)連通有數量對應于出氣機構個數的第二支管(11)，上述各第二支管(11)均分布于側擋板(3)另一側的凹盤(2)下方；上述第一支管(9)、第二支管(11)分別通過豎直向上的通氣管(12)向上排氣，上述通氣管(12)分別正對著相應一側的導氣槽(5)。

2.如權利要求1所述的一種氣懸浮運輸裝置，其特征在于，位于側擋板(3)兩側的所述凹盤(2)，凹盤底面(21)也為一半圓平面、凹盤側面(22)為向上翻起的圓弧形曲面。

3.如權利要求2所述的一種氣懸浮運輸裝置，其特征在于，圓弧形曲面與載板(1)頂面相交的點的斜率在tan15°—tan30°之間。

4.如權利要求1所述的一種氣懸浮運輸裝置，其特征在于，所述壓氣板(4)的最底端不高于載板(1)頂面。