[發明專利]探針頭及探針卡

有效

• 申請號: 202010143044.5
• 申請日: 2020-03-04
• 公開（公告）號: CN111751583B
• 公開（公告）日: 2023-05-26
• 發明（設計）人: 林哲緯;吳亭儒;蘇耿民;林進億
• 申請（專利權）人: 旺矽科技股份有限公司
• 主分類號: G01R1/073
• 分類號: G01R1/073;G01R1/04
• 代理公司: 北京律誠同業知識產權代理有限公司 11006
• 代理人: 王玉雙;張燕華

本發明公開了一種探針頭，包含上導板、下導板及多個探針。上導板包含凹槽，上導板具有相對的上表面、下表面及沿第一方向垂直貫穿上表面與下表面的多個針孔，凹槽由上表面凹陷，凹槽具有槽底面，在第一方向上，槽底面位于上表面及下表面之間。下導板設置于上導板并位于下表面的一側。探針具有依序銜接的針尾、針身及針尖，探針設置于凹槽內，在第一方向上，針尾的端部位于槽底面與上表面之間。本發明另外公開了一種探針卡，包含電路板、空間轉換器及前述探針頭。

技術領域

本發明涉及一種探針頭及探針卡。

背景技術

半導體集成電路芯片通常采用探針卡來進行電性測試。探針卡包括印刷電路板、空間轉換器(Space?Transformer,ST)以及探針頭(Probe?Head,PH)。探針頭主要包含上導板、下導板以及多個探針。各探針分別包含依序銜接的針尾、針身及針尖。探針穿過上導板及下導板，探針的針尾穿出于上導板以與空間轉換器接觸以形成電性連接，探針的針尖穿出下導板以與待測物接觸以形成電性連接。

隨著探針頭應用的面積越來越大，探針頭的上導板的平行度也產生差異。因此，在將探針頭設置在空間轉換器時，由于上導板的平行度差異，各探針的針尾與空間轉換器之間的受壓力也產生變化，部分的探針在組裝過程中可能受到過壓。而當探針受到過壓時，將可能使得探針穿過上導板之處產生裂損，甚至是使得各探針沉入上導板而形成卡針的狀況。如此都將導致探針卡在后續使用上產生測試良率不如預期的缺失。

發明內容

本發明揭示一種探針頭，包含上導板、下導板及多個探針。上導板包含凸塊，且上導板具有相對的上表面、下表面及沿第一方向垂直貫穿上表面與下表面的多個針孔，凸塊設置于上表面，凸塊具有支撐面，在第一方向上，上表面位于支撐面與下表面之間。下導板設置于上導板并位于下表面的一側。探針具有依序銜接的針尾、針身及針尖，探針設置于針孔并圍繞凸塊，且在第一方向上，針尾的端部位于支撐面與上表面之間。

在一實施例中，還包含止轉結構，止轉結構設置于上表面并具有多個非圓形孔，各非圓形孔分別與各針孔連通，多個探針的針尾的截面為非圓形，且多個探針的針尾分別容置于非圓形孔內受到非圓形孔止轉。

在一實施例中，止轉結構還包含階面，階面鄰接多個非圓形孔及凸塊，且階面與支撐面不共平面，在第一方向上，階面位于支撐面與上表面之間。

在一實施例中，支撐面的面積占上導板在垂直第一方向的方向上的截面積的占比大于70％。

本發明另外揭示一種探針卡，包含電路板、空間轉換器及前述探針頭。空間轉換器具有多個電接觸點并設置于電路板。探針頭設置于空間轉換器，探針頭的探針的針尾分別面對電接觸點，支撐面貼靠于空間轉換器，電接觸點與針尾的端部在第一方向上具有間隙。

本發明揭示一種探針頭，包含上導板、下導板及多個探針。上導板包含凹槽，上導板具有相對的上表面、下表面及沿第一方向垂直貫穿上表面與下表面的多個針孔，凹槽由上表面凹陷，凹槽具有槽底面，在第一方向上，槽底面位于上表面及下表面之間。下導板設置于上導板并位于下表面的一側。探針具有依序銜接的針尾、針身及針尖，探針設置于凹槽內，在第一方向上，針尾的端部位于槽底面與上表面之間。

在一實施例中，前述凹槽為矩形，且多個探針陣列式排列設置于凹槽內。

在一實施例中，前述凹槽為網格形，多個探針于凹槽內排列為網格形。

在一實施例中，前述針尾在第一方向上的長度小于凹槽的高度。

在一實施例中，前述針尾的截面形狀為非圓形，針身的截面形狀為圓形，針尾形成制止部。

在一實施例中，針尾的截面形狀的一部分為非圓形，一部分為圓形，針尾的非圓形截面形狀位于針尾的圓形截面形狀與針身之間，針尾的非圓形截面形狀形成制止部。