[發明專利]探針頭及探針卡

有效

• 申請號: 202010143044.5
• 申請日: 2020-03-04
• 公開（公告）號: CN111751583B
• 公開（公告）日: 2023-05-26
• 發明（設計）人: 林哲緯;吳亭儒;蘇耿民;林進億
• 申請（專利權）人: 旺矽科技股份有限公司
• 主分類號: G01R1/073
• 分類號: G01R1/073;G01R1/04
• 代理公司: 北京律誠同業知識產權代理有限公司 11006
• 代理人: 王玉雙;張燕華

1.一種探針頭，適于組裝于空間轉換器，所述空間轉換器具有多個電接觸點，其特征在于，包含：

一上導板，包含多個凸塊，且所述上導板具有相對的一上表面、一下表面及沿一第一方向垂直貫穿所述上表面與所述下表面的多個針孔，所述凸塊設置于所述上表面，所述凸塊具有一支撐面，在所述第一方向上，所述上表面位于所述支撐面與所述下表面之間；

一下導板，設置于所述上導板并位于所述下表面的一側；以及

多個探針，具有依序銜接的一針尾、一針身及一針尖，所述多個探針設置于所述多個針孔并圍繞所述凸塊或陣列式排列于所述凸塊圍繞的范圍內，在所述第一方向上，所述針尾的端部位于所述支撐面與所述上表面之間，所述多個探針的針尾分別用于面對所述空間轉換器的所述多個電接觸點，且在垂直所述第一方向的第二方向上，所述各針尾的寬度小于所述各凸塊的寬度。

2.根據權利要求1所述的探針頭，其特征在于，還包含一止轉結構，所述止轉結構設置于所述上表面并具有多個非圓形孔，各所述非圓形孔分別與各所述針孔連通，所述多個探針的所述針尾的截面為非圓形，且所述多個探針的所述針尾分別容置于所述非圓形孔內受到所述非圓形孔止轉。

3.根據權利要求2所述的探針頭，其特征在于，所述止轉結構還包含一階面，所述階面鄰接所述多個非圓形孔及所述凸塊，且所述階面與所述支撐面不共平面，在所述第一方向上，所述階面位于所述支撐面與所述上表面之間。

4.根據權利要求1所述的探針頭，其特征在于，所述支撐面的面積占所述上導板在垂直所述第一方向的方向上的截面積的占比大于70％。

5.一種探針卡，其特征在于，包含：

一電路板；

一空間轉換器，設置于所述電路板，所述空間轉換器具有多個電接觸點；以及

如權利要求1至3任一所述的探針頭，設置于所述空間轉換器，所述探針頭的所述多個探針的針尾分別面對所述多個電接觸點，所述支撐面貼靠于所述空間轉換器，所述電接觸點與所述針尾的端部在所述第一方向上具有一間隙。

6.一種探針頭，適于組裝于空間轉換器，所述空間轉換器具有多個電接觸點，其特征在于，包含：

一上導板，包含一凹槽，且所述上導板具有相對的一上表面、一下表面及沿一第一方向垂直貫穿所述上表面與所述下表面的多個針孔，所述凹槽由所述上表面凹陷，所述凹槽具有一槽底面及由所述槽底面凸伸的多個凸起部，在所述第一方向上，所述槽底面位于所述上表面及所述下表面之間，所述凸起部之頂面為所述上表面的一部分，且所述上表面用于保持貼靠于所述空間轉換器；

一下導板，設置于所述上導板并位于所述下表面的一側；以及

多個探針，具有依序銜接的一針尾、一針身及一針尖，所述多個探針設置于所述凹槽內，在所述第一方向上，所述針尾的端部位于所述槽底面與所述上表面之間，所述多個探針的針尾分別用于面對所述空間轉換器的所述多個電接觸點，且在垂直所述第一方向的第二方向上，所述各針尾的寬度小于所述各凸起部的寬度。

7.根據權利要求6所述的探針頭，其特征在于，所述凹槽為矩形，所述多個探針陣列式排列設置于所述凹槽內。

8.根據權利要求6所述的探針頭，其特征在于，所述凹槽為網格形，所述多個探針于所述凹槽內排列為網格形。

9.根據權利要求6所述的探針頭，其特征在于，所述針尾在所述第一方向上的長度小于所述凹槽的高度。

10.根據權利要求9所述的探針頭，其特征在于，所述針尾的截面形狀為非圓形，所述針身的截面形狀為圓形，所述針尾形成一制止部。

11.根據權利要求9所述的探針頭，其特征在于，所述針尾的截面形狀的一部分為非圓形，一部分為圓形，所述針尾的非圓形截面形狀位于所述針尾的圓形截面形狀與針身之間，所述針尾的非圓形截面形狀形成一制止部。