[發明專利]開放式晶圓盒用治具

在審

• 申請號: 202010142716.0
• 申請日: 2020-03-04
• 公開（公告）號: CN111370359A
• 公開（公告）日: 2020-07-03
• 發明（設計）人: 葉欣;汪輝;張江水;余錦祥
• 申請（專利權）人: 杭州中為光電技術有限公司
• 主分類號: H01L21/68
• 分類號: H01L21/68;H01L21/673
• 代理公司: 浙江英普律師事務所 33238
• 代理人: 陳小良

1.一種開放式晶圓盒用治具，其特征在于：包括治具底座(1)、定位組織、傳感器(3)、智能調整安全機構(4)，所述定位組織、傳感器(3)、智能調整安全機構(4)均安裝于治具底座(1)上；

治具底座(1)由立板(11)、下底板(12)、上底板(13)組成，上底板(13)通過多塊立板(11)傾斜固定于下底板(12)上；

所述定位組織由上部定位機構(21)、側部定心機構(22)、下部定位機構(23)組成，上部定位機構(21)安裝于上底板(13)最高端，側部定心機構(22)安裝于上底板(13)的中部，下部定位機構(23)安裝于上底板(13)最低端；

智能調整安全機構(4)由調整安全機構座(41)、對射傳感器(42)組成，調整安全機構座(41)活動設置于上底板(13)的四角，在每個調整安全機構座(41)上均設置有對射傳感器(42)，且同一高度上的兩個對射傳感器(42)發射端相對。

2.如權利要求1所述的開放式晶圓盒用治具，其特征在于：上部定位機構(21)由上部定位座(211)、彈簧一(212)、導向塊(213)、旋轉軸(214)組成，上部定位座(211)固定于上底板(13)上，導向塊(213)通過旋轉軸(214)安裝于上部定位座(211)上，且上部定位座(211)與導向塊(213)之間形成第一彈性空間，所述第一彈性空間內安裝有彈簧一(212)，彈簧一(212)的兩端分別連接上部定位座(211)與導向塊(213)。

3.如權利要求2所述的開放式晶圓盒用治具，其特征在于：側部定心機構(22)由側部定心座(221)、擋板(222)、軸承(223)、彈性件(224)，側部定心座(221)固定于上底板(13)上，擋板(222)設置于側部定心座(221)的側面，軸承(223)通過彈性件(224)橫向固定于側部定心座(221)內，擋板(222)上開設有通孔(2221)，軸承(223)穿過通孔(2221)。

4.如權利要求1所述的開放式晶圓盒用治具，其特征在于：下部定位機構(23)由固定板(231)、定位板(232)、彈簧二(233)、導向桿(234)，固定板(231)固定于上底板(13)上，導向桿(234)固定于固定板(231)上，定位板(232)活動固定于導向桿(234)上，定位板(232)與固定板(231)之間形成第二彈性空間，所述第二彈性空間內設有彈簧二(233)，彈簧二(233)的兩端分別連接定位板(232)與固定板(231)。

5.如權利要求1所述的開放式晶圓盒用治具，其特征在于：彈簧二(233)的最小彈力大于等于彈簧一(212)最大彈力加晶圓盒與上底板(13)之間的靜摩擦力，且彈簧一(212)的最小彈力大于等于晶圓盒與上底板(13)之間的靜摩擦力。

6.如權利要求1所述的開放式晶圓盒用治具，其特征在于：彈性件(224)的最小彈力大于等于軸承(223)與晶圓盒之間的摩擦力加晶圓盒與上底板(13)之間的靜摩擦力。

7.如權利要求1所述的開放式晶圓盒用治具，其特征在于：兩個側部定心機構(22)之間的距離大于晶圓盒盒寬。

8.如權利要求1所述的開放式晶圓盒用治具，其特征在于：一個定位組織由兩個上部定位機構(21)、兩個側部定心機構(22)、一個下部定位機構(23)組成。

9.如權利要求1所述的開放式晶圓盒用治具，其特征在于：導向塊(213)呈凹形結構。