[發明專利]一種老化測試設備

有效

• 申請號: 202010140793.2
• 申請日: 2020-03-03
• 公開（公告）號: CN111289877B
• 公開（公告）日: 2022-07-19
• 發明（設計）人: 杜建;裴敬;鄧標華
• 申請（專利權）人: 武漢精鴻電子技術有限公司
• 主分類號: G01R31/28
• 分類號: G01R31/28
• 代理公司: 武漢東喻專利代理事務所(普通合伙) 42224
• 代理人: 李佑宏

1.一種老化測試設備，其特征在于，包括并排設置的機箱和老化箱，所述機箱與所述老化箱之間以隔熱層隔開；

所述機箱中設置有系統板，用于發送電源信號和測試信號，以及接收測試數據；

所述老化箱中設置有測試板，用于進行芯片的老化測試；

所述隔熱層中設置有轉接部，所述轉接部的兩端分別連接所述系統板和所述測試板，用于傳遞相應的電源信號、測試信號和測試數據；且

對應所述測試板在所述老化箱中設置有由隔熱材料制成的底座，所述底座的頂面上開設有至少一個隔熱腔，且各所述隔熱腔彼此相互獨立；所述測試板設置在所述底座的頂部，并將各所述隔熱腔的開口封閉；所述隔熱腔中設置有進氣管，所述進氣管正對所述測試板的管壁上沿軸向間隔開設有多個噴氣口，用于向所述測試板噴射冷卻氣體，且所述噴氣口的內徑自進氣孔起沿氣體流動方向依次增大；

相應地，所述底座上開設有連通所述進氣管的進氣孔，用于將冷卻氣體通入所述進氣管中；同時，在所述進氣孔兩側的側壁上分別設置有至少一個連通所述隔熱腔的出氣孔，使得隔熱腔中的熱氣從進氣孔的同側導出。

2.根據權利要求1所述的老化測試設備，其中，所述測試板包括老化板和核心測試板；

所述核心測試板連接在所述老化板正對所述隔熱腔的一側板面上，且所述老化板上連接設置的核心測試板為一個或者多個；

所述進氣管從所有的所述核心測試板下方經過，且所述進氣管正對各所述核心測試板的管壁上分別開設有至少一個所述噴氣口。

3.根據權利要求2所述的老化測試設備，其中，所述核心測試板的底部連接設置有散熱器，并在所述散熱器與所述核心測試板之間設置有導熱墊，所述導熱墊以其端面抵緊所述核心測試板。

4.根據權利要求3所述的老化測試設備，其中，所述散熱器上設置有導熱墊壓力控制機構，用于調節所述導熱墊抵緊所述核心測試板的壓力。

5.根據權利要求4所述的老化測試設備，其中，所述導熱墊壓力控制機構包括多組螺釘、彈簧；

所述螺釘依次穿過所述彈簧、所述散熱器，并以端部連接在所述核心測試板上，通過松緊所述螺釘，調節所述彈簧的壓縮量，可對應控制所述導熱墊與所述核心測試板之間的壓力。

6.根據權利要求1所述的老化測試設備，其中，所述底座頂部設置的所述隔熱腔為相互獨立開設的多個。

7.根據權利要求1所述的老化測試設備，其中，依次連接的所述系統板、所述轉接部和所述測試板構成一個老化測試單元；且所述老化測試設備中設置有多個老化測試單元。

8.根據權利要求7所述的老化測試設備，其中，各所述老化測試單元中測試板所處的測試環境相互獨立、部分連通或者全部連通。