[發(fā)明專利]一種光伏產(chǎn)業(yè)晶托脫膠的設(shè)備及方法

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• 申請?zhí)枺?/td>: 202010140016.8
• 申請日: 2020-03-03
• 公開（公告）號: CN111216255A
• 公開（公告）日: 2020-06-02
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 張小飛;張紀(jì)堯
• 申請（專利權(quán)）人: 大連威凱特科技有限公司
• 主分類號: B28D5/00
• 分類號: B28D5/00;H01L31/18
• 代理公司: 大連東方專利代理有限責(zé)任公司 21212
• 代理人: 徐華燊;李洪福

本發(fā)明提供一種光伏產(chǎn)業(yè)晶托脫膠的設(shè)備與方法。本發(fā)明包括：傳動機構(gòu)和在傳動機構(gòu)上方依次設(shè)置的加熱前噴淋室、微波加熱裝置、脫膠平臺和脫膠后噴淋室，傳動機構(gòu)的上料段作為清洗脫膠的起點、下料段作為清洗脫膠的終點，加熱前噴淋室用于為粘有塑料板的晶托一次噴淋洗滌，微波加熱裝置用于對噴淋后的粘有塑料板的晶托進行微波加熱，脫膠平臺用于對微波加熱后的晶托脫膠，脫膠后噴淋室用于對脫去塑料板的晶托二次噴淋洗滌。本發(fā)明利用微波可轉(zhuǎn)化能熱能，且不同物質(zhì)對微波吸收轉(zhuǎn)率不同的特點，用微波對塑料板與晶托之間的粘膠進行加熱，使之軟化，易于從晶托剝離，該技術(shù)解決了現(xiàn)有技術(shù)中能耗較高的問題，同時，通過流程化的生產(chǎn)，效率高。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及半導(dǎo)體和光伏產(chǎn)品生產(chǎn)領(lǐng)域，尤其涉及一種光伏產(chǎn)業(yè)晶托脫膠的設(shè)備及方法。

背景技術(shù)

在目前全球常規(guī)能源短缺的情況下，太陽能光伏發(fā)電成為綠色再生能源的重要組成部分，得到各國政府的大力扶持和發(fā)展；與此同時，我國針對目前國內(nèi)的高污染、高能耗工業(yè)現(xiàn)狀，開展了大規(guī)模的節(jié)能降耗行動，硅材料領(lǐng)域也不例外。在光伏產(chǎn)品生產(chǎn)領(lǐng)域，產(chǎn)業(yè)鏈包括硅料、單晶、硅片、電池片、組件和系統(tǒng)應(yīng)用。其中，在硅片制備過程中，一般采用將開方好的硅棒，用特種膠粘在特制的塑料板上，并將塑料板的另一面，用專用環(huán)氧樹脂膠粘在金屬晶托上，再通過線切，將硅棒割成硅晶片。硅晶片從塑料板上脫離后，需要把塑料板從金屬晶托上剝離，金屬晶托清理干凈后重復(fù)利用。

目前，把金屬晶托剝離的工藝一般采用熱水煮的方式，在80-90℃左右，膠軟化，從而使金屬晶托和塑料板剝離。另外，也可采用電熱烘箱烘烤的方式，將塑料板從金屬晶托上剝離。這兩種方式，都需要將晶托和塑料同時加熱，造成能耗較高，效率低。另外，如果采用熱水煮的方式，又會有廢水生成，增加廢水處理的環(huán)節(jié)和成本。

發(fā)明內(nèi)容

根據(jù)上述提出的技術(shù)問題，而提供一種光伏產(chǎn)業(yè)晶托脫膠的設(shè)備及方法。本發(fā)明利用微波可轉(zhuǎn)化能熱能，且不同物質(zhì)對微波吸收轉(zhuǎn)率不同的特點，用微波對粘有塑料板的晶托進行加熱。在加熱過程中，塑料和金屬晶托對微波吸收率很低，而位于兩者之間的環(huán)氧樹脂膠對微波有較高吸收轉(zhuǎn)化率，所以在加熱過程中，只是粘膠本身被加熱，可輕易使塑料板和金屬晶托脫離。而因為塑料板和金屬晶托并不吸收微波，本身溫度較低，這也意味著較低的能耗。同時，這種方法，并不會產(chǎn)生廢水。本發(fā)明采用的技術(shù)手段如下：

一種光伏產(chǎn)業(yè)晶托脫膠的設(shè)備，包括：傳動機構(gòu)和在傳動機構(gòu)上方依次設(shè)置的加熱前噴淋室、微波加熱裝置、脫膠平臺和脫膠后噴淋室，傳動機構(gòu)的上料段作為清洗脫膠的起點，傳動機構(gòu)的下料段作為清洗脫膠的終點，所述加熱前噴淋室用于為粘有塑料板的晶托一次噴淋洗滌，所述微波加熱裝置用于對噴淋后的粘有塑料板的晶托進行微波加熱，所述脫膠平臺用于對微波加熱后的粘有塑料板的晶托脫膠，所述脫膠后噴淋室用于對脫去塑料板的晶托二次噴淋洗滌。

進一步地，所述微波加熱裝置包括微波加熱腔、微波發(fā)射裝置和置于微波加熱腔入口前的前微波抑制段和置于微波加熱腔出口的后微波抑制段，所述微波發(fā)射裝置間隔排布于微波加熱腔上。

進一步地，微波發(fā)射裝置布置在加熱腔頂部，通過加熱腔腔壁的微波饋孔向腔內(nèi)饋入微波。

進一步地，所述前微波抑制段、后微波抑制段、加熱腔腔壁均為金屬，包括碳鋼、不銹鋼、鋁合金。

進一步地，所述微波發(fā)射裝置微波的頻率為2450MHz或915MHz。

進一步地，所述傳動機構(gòu)為履帶，履帶材質(zhì)包括金屬或高分子聚合物，或兩者結(jié)合。

進一步地，晶托在微波加熱裝置內(nèi)運行時間為5-30min，晶托出料溫度在60-120℃。

進一步地，晶托在微波加熱裝置內(nèi)運行時間可優(yōu)選為10-20min，晶托出料溫度可優(yōu)選為75-90℃。

進一步地，各噴淋室的噴淋口均布置在頂部，由上向下噴淋，水由下部水箱收集。