[發明專利]一種光伏產業晶托脫膠的設備及方法

在審

• 申請號: 202010140016.8
• 申請日: 2020-03-03
• 公開（公告）號: CN111216255A
• 公開（公告）日: 2020-06-02
• 發明（設計）人: 張小飛;張紀堯
• 申請（專利權）人: 大連威凱特科技有限公司
• 主分類號: B28D5/00
• 分類號: B28D5/00;H01L31/18
• 代理公司: 大連東方專利代理有限責任公司 21212
• 代理人: 徐華燊;李洪福

1.一種光伏產業晶托脫膠的設備，其特征在于，包括：傳動機構和在傳動機構上方依次設置的加熱前噴淋室、微波加熱裝置、脫膠平臺和脫膠后噴淋室，傳動機構的上料段作為清洗脫膠的起點，傳動機構的下料段作為清洗脫膠的終點，所述加熱前噴淋室用于為粘有塑料板的晶托一次噴淋洗滌，所述微波加熱裝置用于對噴淋后的粘有塑料板的晶托進行微波加熱，所述脫膠平臺用于對微波加熱后的粘有塑料板的晶托脫膠，所述脫膠后噴淋室用于對脫去塑料板的晶托二次噴淋洗滌。

2.根據權利要求1所述的光伏產業晶托脫膠的設備，其特征在于，所述微波加熱裝置包括微波加熱腔、微波發射裝置和置于微波加熱腔入口前的前微波抑制段和置于微波加熱腔出口的后微波抑制段，所述微波發射裝置間隔排布于微波加熱腔上。

3.根據權利要求2所述的光伏產業晶托脫膠的設備，其特征在于，微波發射裝置布置在加熱腔頂部，通過加熱腔腔壁的微波饋孔向腔內饋入微波。

4.根據權利要求2所述的光伏產業晶托脫膠的設備，其特征在于，所述前微波抑制段、后微波抑制段、加熱腔腔壁均為金屬，包括碳鋼、不銹鋼、鋁合金。

5.根據權利要求2所述的光伏產業晶托脫膠的設備，其特征在于，所述微波發射裝置微波的頻率為2450MHz或915MHz。

6.根據權利要求1所述的光伏產業晶托脫膠的設備，其特征在于，所述傳動機構為履帶，履帶材質包括金屬或高分子聚合物，或兩者結合。

7.根據權利要求1所述的光伏產業晶托脫膠的設備，其特征在于，晶托在微波加熱裝置內運行時間為5-30min，優選10-20min；晶托出料溫度在60-120℃，優選75-90℃。

8.根據權利要求1所述的光伏產業晶托脫膠的設備，其特征在于，各噴淋室的噴淋口均布置在頂部，由上向下噴淋，水由下部水箱收集。

9.根據權利要求1～8任一項所述光伏產業晶托脫膠設備的脫膠方法，其特征在于，包括如下步驟：

步驟1、取下晶托上的硅片，將粘有塑料板的金屬晶托放置在上料段上，其中，塑料板側向上放置；

步驟2、粘有塑料板的金屬晶托行進至加熱前噴淋室，清洗其上殘留的硅粉；

步驟3、粘有塑料板的金屬晶托行進至微波加熱裝置的微波加熱腔中，在連續運動過程中，被布置在設備腔體上的微波發生裝置饋入的微波加熱；

步驟4、粘有塑料板的金屬晶托從微波加熱裝置的出口運出后，在脫膠平臺上，由人工或機械手將塑料板剝離，并清理金屬晶托表面殘膠；

步驟5、金屬晶托行進至脫膠后噴淋室，完成清洗后運至后續的粘膠工段，循環使用。