[發明專利]一種碳板結構、分析磁場以及離子注入設備有效
| 申請號： | 202010135765.1 | 申請日： | 2020-03-02 |
| 公開（公告）號： | CN111341632B | 公開（公告）日： | 2023-03-14 |
| 發明（設計）人： | 柴驊;黎韜;楊亞雄;余陳;姜東誠;譚超;劉晨亮;羅康 | 申請（專利權）人： | 京東方科技集團股份有限公司;成都京東方光電科技有限公司 |
| 主分類號： | H01J37/02 | 分類號： | H01J37/02;H01J37/14;H01J37/317 |
| 代理公司： | 北京風雅頌專利代理有限公司 11403 | 代理人： | 李弘 |
| 地址： | 100015 *** | 國省代碼： | 北京;11 |
| 權利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 板結 分析 磁場 以及 離子 注入 設備 | ||
【權利要求書】：
1.一種碳板結構，其特征在于，應用于離子注入設備的分析磁場中，包括：
碳板主體，被配置為弧形結構，用于設置在所述分析磁場底部；以及，
至少一個碳制擋板，沿與離子束注入方向垂直的方向設置于所述碳板主體上，且面向離子束注入方向的一側與所述碳板主體之間設置有預設角度，其中，所述預設角度的范圍包括：大于0°并小于90°，以使剝落物沉積時沉積在所述分析磁場的底部以及所述碳制擋板背離離子束注入的方向；
所述碳板主體設置有擋板安裝底座，所述碳制擋板以及所述擋板安裝底座上均設置有與螺絲配合的螺絲孔，所述碳制擋板通過所述螺絲固定在所述擋板安裝底座上；所述碳制擋板面向離子束注入方向的一側設置用于遮擋所述螺絲的碳帽。
2.根據權利要求1所述的碳板結構，其特征在于，與所述擋板安裝底座連接的一側設置有與所述擋板安裝底座配合的安裝槽口。
3.根據權利要求1所述的碳板結構，其特征在于，所述螺絲的材質包括鉬。
4.根據權利要求1所述的碳板結構，其特征在于，所述預設角度的范圍包括30°~60°。
5.一種分析磁場，其特征在于，應用于離子注入設備，包括如權利要求1-4任一項所述的碳板結構，且所述碳板結構設置于所述分析磁場的底部。
6.一種離子注入設備，其特征在于，包括如權利要求5所述的分析磁場。
下載完整專利技術內容需要扣除積分，VIP會員可以免費下載。
該專利技術資料僅供研究查看技術是否侵權等信息，商用須獲得專利權人授權。該專利全部權利屬于京東方科技集團股份有限公司;成都京東方光電科技有限公司，未經京東方科技集團股份有限公司;成都京東方光電科技有限公司許可，擅自商用是侵權行為。如果您想購買此專利、獲得商業授權和技術合作，請聯系【客服】
本文鏈接：http://www.szxzyx.cn/pat/books/202010135765.1/1.html，轉載請聲明來源鉆瓜專利網。
- 上一篇：基于卷積神經網絡的自編碼算法
- 下一篇：一種催化層轉印設備
