[發(fā)明專利]一種氫氟酸循環(huán)利用洗石墨舟的方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 202010133589.8
• 申請日: 2020-02-28
• 公開（公告）號: CN111354637B
• 公開（公告）日: 2023-07-25
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 姚騫;張忠文;謝毅
• 申請（專利權(quán)）人: 通威太陽能(眉山)有限公司
• 主分類號: H01L21/311
• 分類號: H01L21/311;H01L31/18;H01L21/67
• 代理公司: 北京超凡宏宇專利代理事務(wù)所(特殊普通合伙) 11463
• 代理人: 彭星

1.一種氫氟酸循環(huán)利用洗石墨舟的方法，其特征在于，包括以下步驟：

步驟1：將使用過的舊氫氟酸收集并儲存在廢酸儲存池(10)中；

步驟2：將廢酸儲存池(10)中的舊氫氟酸抽入自配存放池(2)中；

步驟3：測量自配存放池(2)中的舊氫氟酸濃度；

步驟4：根據(jù)測量自配存放池(2)中舊氫氟酸的濃度，向自配存放池(2)中加入新氫氟酸或者清水，直到自配存放池(2)中舊氫氟酸的濃度達到要求為止；

步驟5：將自配存放池(2)中的舊氫氟酸加入石墨舟清洗槽(8)中，并將帶返工片的花籃放入石墨舟清洗槽(8)中浸泡。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種氫氟酸循環(huán)利用洗石墨舟的方法，其特征在于：所述石墨舟清洗槽(8)、廢酸儲存池(10)、自配存放池(2)依次通過導液管(1)連通，所述自配存放池(2)與石墨舟清洗槽(8)間通過連通管(7)連通，所述石墨舟清洗槽(8)與廢酸儲存池(10)間的導液管(1)上、廢酸儲存池(10)與自配存放池(2)間的導液管(1)上、自配存放池(2)與石墨舟清洗槽(8)間的連通管(7)上均安裝有水閥(9)，所述石墨舟清洗槽(8)的下部還安裝有流出管(11)，所述流出管(11)上安裝有水閥(9)。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種氫氟酸循環(huán)利用洗石墨舟的方法，其特征在于：所述新氫氟酸盛裝在新酸存放池(3)中，所述新酸存放池(3)與自配存放池(2)通過加酸管(4)連通，所述加酸管(4)上安裝有水閥(9)。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種氫氟酸循環(huán)利用洗石墨舟的方法，其特征在于：所述清水盛裝在水池(5)中，所述水池(5)與自配存放池(2)間通過加水管(6)連通，所述加水管(6)上安裝有水閥(9)。

5.根據(jù)權(quán)利要求2-4任一項所述的一種氫氟酸循環(huán)利用洗石墨舟的方法，其特征在于：所述自配存放池(2)的內(nèi)壁上安裝有可封閉連通管(7)的過濾罩(12)，所述過濾罩(12)上開有多個過濾孔(121)。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種氫氟酸循環(huán)利用洗石墨舟的方法，其特征在于：所述石墨舟清洗槽(8)中舊氫氟酸的濃度為15％。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的一種氫氟酸循環(huán)利用洗石墨舟的方法，其特征在于：所述返工片在石墨舟清洗槽(8)中浸泡1200秒。