[發明專利]一種曝光鏡頭能量標定方法及其標定裝置

有效

• 申請號: 202010130243.2
• 申請日: 2020-02-28
• 公開（公告）號: CN111273519B
• 公開（公告）日: 2021-02-26
• 發明（設計）人: 劉棟;張柯;張雷
• 申請（專利權）人: 蘇州源卓光電科技有限公司
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

本發明公開了一種曝光鏡頭能量標定方法及其標定裝置，所述標定方法為預先測量曝光鏡頭出光總功率和經收光鏡頭接收的光經光纖傳導光功率的倍率LR；在對曝光鏡頭的進行鏡頭能量標定時，功率計測量收光鏡頭接收曝光鏡頭的光纖傳導光功率LP′，并根據光纖傳導光功率LP′和預先測量的出光總功率和光纖傳導光功率的倍率LR計算曝光鏡頭曝光時的總功率LS′。本發明解決了直寫式光刻機曝光鏡頭能量標定問題，操作簡便，對于多鏡頭直寫式光刻機，能有效簡化機械結構，減低成本。

技術領域

本發明涉及直寫式光刻機曝光技術領域，具體是一種直寫式光刻機曝光鏡頭能量標定方法及其標定裝置。

背景技術

光刻技術是用于在襯底表面上印刷具有特征的構圖。這樣的襯底可包括用于制造半導體器件、多種集成電路、平面顯示器（例如液晶顯示器）、電路板、生物芯片、微機械電子芯片、光電子線路芯片等的基片。

在直寫曝光過程中，襯底放置在精密運動平臺的基底臺上，通過處在光刻設備內的曝光裝置和精密平臺的運動，將特征構圖投射到襯底表面的指定位置，為了實現高精度曝光，對于保證多鏡頭出光功率一致性尤為重要。

目前市場上標定鏡頭能量的方式多為在精密運動平臺上增加移動軸以移動能量檢測裝置對多鏡頭的出光功率進行讀取。這種方法增加精密運動平臺機械結構，操作方法復雜。

發明內容

本發明的目的在于提供一種直寫式光刻機鏡頭能量標定方法，簡化操作方法，并能夠減少精密運動平臺機械結構，降低成本。

本發明的技術方案為：一種直寫式光刻機曝光鏡頭能量標定方法，預先測量曝光鏡頭出光總功率和經收光鏡頭接收的光經光纖傳導光功率的倍率LR；在對曝光鏡頭的進行鏡頭能量標定時，功率計測量收光鏡頭接收曝光鏡頭的光纖傳導光功率LP′，并根據光纖傳導光功率LP′和預先測量的出光總功率和光纖傳導光功率的倍率LR計算曝光鏡頭曝光時的總功率LS′。

進一步的，進行能量標定時所述曝光鏡頭曝光時總功率LS′，通過采用以下公式計算： 。

進一步的，所述出光總功率和光纖傳導光功率的倍率LR通過預先測量曝光鏡頭曝光時的出光總功率LS和預先測量收光鏡頭接收曝光鏡頭曝光的光經光纖傳導光功率LP獲得。

進一步的，所述曝光鏡頭的出光總功率通過將所述功率計置于曝光鏡頭視場下測量獲得。

進一步的，所述收光鏡頭對應于所述直寫光刻機構的曝光鏡頭，將所述收光鏡頭置于所述曝光鏡頭視場下，所述曝光鏡頭曝光，所述功率計測量所述收光鏡頭接收的光經光纖傳導光功率。

一種曝光鏡頭能量標定裝置，包括其固定于所述精密運動平臺前端或者后端的收光鏡頭和通過光纖與所述收光鏡頭連接的功率計。

進一步的，所述功率計可拆卸安裝于所述精密運動平臺。

進一步的，所述收光鏡頭尺寸小于曝光鏡頭尺寸。

進一步的，所述收光鏡頭和所述曝光鏡頭對應設置。

由以上技術方案可知，此種標定方法操作方法簡單，對于多鏡頭直寫式光刻機，只需增加收光鏡頭，不必在移動平臺上安裝移動軸，簡化精密運動平臺機械結構，降低成本。

附圖說明

圖1為測量第1個曝光鏡頭出光總功率，功率計位置示意圖。

圖2為測量第i個曝光鏡頭出光總功率，功率計位置示意圖。

圖3為第1個收光鏡頭位置示意圖。

圖4為第i個收光鏡頭位置示意圖。

具體實施方式

下面結合附圖和具體實施例進一步說明本發明。