[發(fā)明專利]一種曝光鏡頭能量標(biāo)定方法及其標(biāo)定裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202010130243.2
• 申請(qǐng)日: 2020-02-28
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN111273519B
• 公開(kāi)（公告）日: 2021-02-26
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 劉棟;張柯;張雷
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 蘇州源卓光電科技有限公司
• 主分類號(hào): G03F7/20
• 分類號(hào): G03F7/20
• 代理公司: 暫無(wú)信息
• 代理人: 暫無(wú)信息

1.一種直寫式光刻機(jī)曝光鏡頭能量標(biāo)定方法，其特征在于：

預(yù)先測(cè)量曝光鏡頭曝光時(shí)的出光總功率LS和收光鏡頭接收曝光鏡頭曝光的光經(jīng)光纖傳導(dǎo)后的光功率LP以獲得所述出光總功率和光纖傳導(dǎo)后的光功率的倍率LR；

在對(duì)曝光鏡頭進(jìn)行能量標(biāo)定時(shí)，功率計(jì)測(cè)量收光鏡頭接收曝光鏡頭曝光的光經(jīng)光纖傳導(dǎo)后的光功率LP′，并根據(jù)光纖傳導(dǎo)后的光功率LP′結(jié)合預(yù)先測(cè)量的出光總功率和光纖傳導(dǎo)后的光功率的倍率LR計(jì)算曝光鏡頭曝光時(shí)的總功率LS′，采用以下公式計(jì)算：；

其中，所述收光鏡頭設(shè)置有多個(gè)并與多個(gè)曝光鏡頭一一對(duì)應(yīng)，所述曝光鏡頭曝光時(shí)，所述收光鏡頭置于所述曝光鏡頭視場(chǎng)下，所述功率計(jì)測(cè)量所述收光鏡頭接收的光經(jīng)光纖傳導(dǎo)后的光功率。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的曝光鏡頭能量標(biāo)定方法，其特征在于：所述曝光鏡頭的出光總功率通過(guò)將所述功率計(jì)置于曝光鏡頭視場(chǎng)下測(cè)量獲得。

3.一種曝光鏡頭能量標(biāo)定裝置，其特征在于：其包括固定于精密運(yùn)動(dòng)平臺(tái)前端或者后端的收光鏡頭和通過(guò)光纖與所述收光鏡頭連接的功率計(jì)，所述收光鏡頭設(shè)置有多個(gè)并與多個(gè)曝光鏡頭一一對(duì)應(yīng)，所述功率計(jì)可拆卸安裝于所述精密運(yùn)動(dòng)平臺(tái)，用于測(cè)量曝光鏡頭曝光時(shí)的出光總功率以及測(cè)量收光鏡頭接收曝光鏡頭曝光的光再經(jīng)光纖傳導(dǎo)后的光功率，通過(guò)采用如權(quán)利要求1或2中任一項(xiàng)所述的曝光鏡頭能量標(biāo)定方法對(duì)所述曝光鏡頭進(jìn)行能量標(biāo)定。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的曝光鏡頭能量標(biāo)定裝置，其特征在于：所述收光鏡頭尺寸小于曝光鏡頭尺寸。