[發(fā)明專利]氣浮軸承裝置、運動臺以及光刻設備

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 202010124737.X
• 申請日: 2020-02-27
• 公開（公告）號: CN113309785B
• 公開（公告）日: 2022-09-02
• 發(fā)明（設計）人: 王昱
• 申請（專利權(quán)）人: 上海微電子裝備（集團）股份有限公司
• 主分類號: F16C32/06
• 分類號: F16C32/06;F16C33/00;G03F7/20
• 代理公司: 上海思捷知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 31295
• 代理人: 王宏婧

本發(fā)明提供一種氣浮軸承裝置、一種運動臺和一種光刻設備。氣浮軸承裝置包括氣浮單元和支撐單元，氣浮單元中軸承主體的安裝面設置有第一調(diào)節(jié)結(jié)構(gòu)，支撐單元中支座主體設置有貫穿表面的安裝孔，調(diào)節(jié)塊從支座主體一側(cè)可拆卸且高度可調(diào)地設置在安裝孔內(nèi)，調(diào)節(jié)塊一端設置有第二調(diào)節(jié)結(jié)構(gòu)。調(diào)整調(diào)節(jié)塊在安裝孔內(nèi)的高度可以調(diào)整氣浮單元，氣浮軸承裝置的各部件間為可拆卸連接，可以實現(xiàn)快速對氣浮單元進行安裝、更換以及調(diào)試。本發(fā)明提供一種運動臺，包括運動臺框架、導軌和氣浮軸承裝置。對運動臺中的氣浮軸承裝置進行安裝和維護時不需要把運動臺框架大幅度提升，可以提升運動臺安裝和維護的效率。本發(fā)明還提供一種光刻設備。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及半導體設備領(lǐng)域，尤其涉及一種氣浮軸承、一種運動臺以及一種光刻設備。

背景技術(shù)

氣浮軸承是采用氣體作為潤滑劑的滑動軸承，是超精密測量與加工系統(tǒng)的關(guān)鍵部件。相較于傳統(tǒng)軸承，氣浮軸承具有摩擦力小，振動傳遞少，以及不會對設備內(nèi)部環(huán)境產(chǎn)生污染等優(yōu)良特點，常被應用于光刻設備等精密機械中。

由于氣浮軸承精密度高，使用條件嚴格，特別是多個氣浮軸承共同使用時需要在安裝過程中進行大量的調(diào)試，才能使得多個氣浮軸承的氣浮面共面。以將氣浮軸承應用于光刻設備的運動臺為例，在氣浮軸承安裝過程中，常依靠修磨墊片和柔性件來對多個氣浮軸承進行共面安裝。但是，由于墊片的修磨精度有限，導致柔性件初始受力也不盡相同，影響柔性件的使用壽命，同時這種方式也缺乏對氣浮軸承安裝位置進行快速調(diào)整的能力。

另外，對于氣浮軸承在一些對安裝空間較為緊湊的運動承載結(jié)構(gòu)的應用，維護氣浮軸承時，需要額外的支撐機構(gòu)將運動承載結(jié)構(gòu)中的運動框架提升一定高度之后，方才能夠?qū)飧≥S承進行拆除以及更換的動作，需要的維護工具較多且延長了維護時間。

因此，現(xiàn)有氣浮軸承的安裝、更換以及調(diào)試過程復雜，耗時長，導致維護效率低下，影響設備產(chǎn)率，有必要對其進行改進。

發(fā)明內(nèi)容

為了實現(xiàn)快速對氣浮軸承進行安裝、更換和調(diào)試，提高安裝和維護效率，本發(fā)明提供一種氣浮軸承裝置。本發(fā)明還提供一種運動臺和一種光刻設備。

為實現(xiàn)上述目的，根據(jù)本發(fā)明的一方面，提供一種氣浮軸承裝置，包括：

氣浮單元，所述氣浮單元包括軸承主體，所述軸承主體具有相對的氣浮面和安裝面，所述安裝面設置有第一調(diào)節(jié)結(jié)構(gòu)；

支撐單元，所述支撐單元包括支座主體和調(diào)節(jié)塊，所述支座主體具有相對的第一表面、第二表面以及貫穿所述第一表面和所述第二表面的安裝孔，所述調(diào)節(jié)塊從所述第一表面一側(cè)可拆卸且高度可調(diào)地設置在所述安裝孔內(nèi)，所述調(diào)節(jié)塊朝向所述第二表面的一端設置有第二調(diào)節(jié)結(jié)構(gòu)；

其中，所述第一調(diào)節(jié)結(jié)構(gòu)和所述第二調(diào)節(jié)結(jié)構(gòu)對應于所述安裝孔形成球副連接。

可選的，所述氣浮軸承裝置還包括連接單元，所述連接單元包括：

第一限位結(jié)構(gòu)，可拆卸地設置于所述調(diào)節(jié)塊和所述支座主體之間；以及

第二限位結(jié)構(gòu)，可拆卸地設置于所述支座主體和所述軸承主體之間。

可選的，所述第一限位結(jié)構(gòu)包括設置于所述調(diào)節(jié)塊和所述支座主體上的螺孔以及與所述螺孔匹配的鎖緊螺釘。

可選的，所述第二限位結(jié)構(gòu)包括貫穿所述支座主體上位于所述安裝孔周圍的第一限位孔、設置在所述第一限位孔內(nèi)的預緊彈簧以及限位螺釘，所述限位螺釘能夠穿過所述預緊彈簧并延伸至所述軸承主體，以連接所述支座主體和所述軸承主體。

可選的，所述連接單元還包括：

第三限位結(jié)構(gòu)，設置于所述安裝孔兩側(cè)，用于在所述調(diào)節(jié)塊拆離后，限定所述支撐單元和所述軸承主體之間的相對位置。